公开(公告)号：CN114868314A

公开(公告)日：2022-08-05

申请号：CN202080089595.6

申请日：2020-11-26

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 武田昂 ,  大石真吾 ,  福冈大岳

IPC: H01S3/10 ,  B23K26/0622 ,  H01S3/00

Abstract: 激光加工用光源具备：激光振荡部，其出射第1脉冲光列；第1光产生部，其通过对第1脉冲光列实施分波、多个光路上的传播及合波，而产生包含多个第2脉冲光列的第3脉冲光列；第2光产生部，其在第3脉冲光列中，自多个第2脉冲光列选择至少1个第2脉冲光列，而产生包含至少1个第2脉冲光列的第4脉冲光列；及控制部，其控制第2光产生部；控制部将用于在第3脉冲光列中自多个第2脉冲光列选择至少1个第2脉冲光列的控制信号发送至第2光产生部。

公开(公告)号：CN117615874A

公开(公告)日：2024-02-27

申请号：CN202280047756.4

申请日：2022-03-17

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 武田昂 ,  福冈大岳

IPC: B23K26/00 ,  G02B26/10 ,  B23K26/082 ,  B23K26/064

Abstract: 一实施方式的激光加工装置具备：激光光源；载台；fθ透镜；检流扫描仪，其通过使电介质镜动作并调整激光相对于fθ透镜的入射角，而在加工对象物的加工面上扫描激光；偏光分束器，其在激光的光路上配置于激光光源与检流扫描仪之间；1/4波长板，其在光路上配置于偏光分束器与检流扫描仪之间；及光检测部，其检测来自经激光照射的加工面的激光的返回光、即依序经由fθ透镜、检流扫描仪、1/4波长板、及偏光分束器的返回光。