公开(公告)号：CN1656594A

公开(公告)日：2005-08-17

申请号：CN03811610.3

申请日：2003-05-21

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 可野泰行 ,  永井俊光 ,  长谷川宽

IPC: H01J40/06 ,  H01J1/34 ,  H01J7/18 ,  H01J9/12

CPC classification number: H01J43/08 ,  H01J1/34 ,  H01J9/12 ,  H01J40/06

Abstract: 本发明的半导体光电面具有：支承基板(10)；在该支承基板(10)上，层叠多个半导体层而形成，响应被测光的入射，从光电子放出面(341)放出光电子的光电面(30)，和形成为膜状以覆盖上述支承基板(10)的至少一部分和上述光电面(30)的一部分的、与上述光电面欧姆接触的膜状金属电极(35)。上述膜状金属电极(30)包含钛，作为上述膜状金属电极(35)上没有被覆盖的上述光电面30的露出部分的上述电子放出面(341)，成为电子亲和力为负的状态。