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公开(公告)号:CN114622235B
公开(公告)日:2024-02-02
申请号:CN202210199071.3
申请日:2022-03-02
Applicant: 浙江工业大学
IPC: C25B11/061 , C25B11/091 , C25B1/04
Abstract: 本发明公开了一种稳定的高纯1T相二硫化钼电极的制备方法。该制备方法包括如下步骤:一、将硫源和表面附着有氧化钼或氧化钼前驱体的电极基体分别置于等离子体气相沉积设备内的不同位置。二、通过等离子体气相沉积设备将氧化钼还原为MoO3‑X。硫源被气化为硫蒸气,与MoO3‑X反应生成硫化钼;同时,向等离子体气相沉积设备中通入气相的碳源,使得碳元素掺杂到硫化钼中,得到二硫化钼电极。本发明通过PCVD的方式在电极基体上原位生成硫化钼层并掺杂碳元素,快捷地获得了表面以1T相二硫化钼为主的电极,制备过程中不需要分别控制碳源、硫源、三氧化钼源材料的温度,简化了制备工艺。
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公开(公告)号:CN114622235A
公开(公告)日:2022-06-14
申请号:CN202210199071.3
申请日:2022-03-02
Applicant: 浙江工业大学
IPC: C25B11/061 , C25B11/091 , C25B1/04
Abstract: 本发明公开了一种稳定的高纯1T相二硫化钼电极的制备方法。该制备方法包括如下步骤:一、将硫源和表面附着有氧化钼或氧化钼前驱体的电极基体分别置于等离子体气相沉积设备内的不同位置。二、通过等离子体气相沉积设备将氧化钼还原为MoO3‑X。硫源被气化为硫蒸气,与MoO3‑X反应生成硫化钼;同时,向等离子体气相沉积设备中通入气相的碳源,使得碳元素掺杂到硫化钼中,得到二硫化钼电极。本发明通过PCVD的方式在电极基体上原位生成硫化钼层并掺杂碳元素,快捷地获得了表面以1T相二硫化钼为主的电极,制备过程中不需要分别控制碳源、硫源、三氧化钼源材料的温度,简化了制备工艺。
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