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公开(公告)号：CN116297471A
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202310028247.3
申请日：2023-01-09
Applicant: 浙江大学湖州研究院
Abstract: 本发明公开一种无接触式检测大样品超微小缺陷的装置，包括一套高准直，高均匀度的线光发射系统和一套大视场高灵敏度的接收光学系统；线光发射系统包括依次设置的激光器、鲍威尔棱镜、平凸柱面镜，即激光出射后经过鲍威尔棱镜形成一束发散的线激光光源，然后经过平凸柱面镜进行准直得到高准直、高均匀度的线激光光源；大视场高灵敏度的接收光学系统包括一个高质量的接收物镜和阵列式光电探测器。本发明适用于大尺寸、存在um级的微小缺点的产品检测，实现无接触、快速、准确的自动化检测。
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公开(公告)号：CN117369101A
公开(公告)日：2024-01-09
申请号：CN202311300810.4
申请日：2023-10-10
Applicant: 浙江大学湖州研究院
Abstract: 本发明公开一种抗背景光干扰的小面元大视场高聚光接收光学系统，包括大视场像方远心透镜系统、微透镜阵列和非球面聚焦透镜；大视场像方远心透镜系统，其将不同视场的接收光束汇聚点在同一焦平面上，且回波光束的主光线都与光轴平行；微透镜阵列和回波光束聚焦平面的距离为微透镜阵列的子透镜焦距，该微透镜阵列对于不同视场的回波光束进行准直和矫正，使出射光束为平行光束，矫正后的平行光束再经非球面聚焦透镜进行聚焦，最终通过小光敏面元探测器实现大视场高聚光的信号接收。本发明克服了探测器小面元视场受限的问题，同时保证高聚光接收，以及克服系统受背景光干扰的影响，可扩展性强。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116243496A
公开(公告)日：2023-06-09
申请号：CN202211732615.4
申请日：2022-12-30
Applicant: 浙江大学湖州研究院
Abstract: 本发明公开一种大面元高亮度均匀照明结构及其均匀照明方法，该结构包括依次放置的白激光器，粗糙匀光板，扩束透镜，准直透镜，第一柱面镜，第二柱面镜，分光元件，样品，线扫成像镜头和线阵相机，扩束透镜和准直透镜共同构成一组伽利略系统，第一柱面镜和第二柱面镜组成光学透镜组；所述分光元件与所述白激光器发出的光束呈45°角。本发明中线扫同轴光源可作为机器视觉光源，用于极低曝光，高速运动物体的在线检测；在此情况下，可有效改善图像质量，提升图像分辨率。
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公开(公告)号：CN115931880A
公开(公告)日：2023-04-07
申请号：CN202310028250.5
申请日：2023-01-09
Applicant: 浙江大学湖州研究院
Abstract: 本发明公开一种线扫光学检测结构及同轴线扫光源的主光轴校准方法，该线扫光学检测结构包括线阵相机，光学镜头，同轴线扫光源和电动直线位移台，线阵相机、光学镜头和阶梯状样品调节至同轴且阶梯状样品处于光学镜头的前焦面上；同轴线扫光源固定于电动直线位移台上，并且移动电动直线位移台改变同轴线扫光源位置进行成像；量化成像所得图片的伪影宽度，并进一步得到光源发散角的正弦值；找到正弦值最小的地方，即为光源发散角最小的位置，该处就是同轴线扫光源的主轴。本发明可用于提高线扫光学检测系统的检测精度，有效改善图像质量，提升图像分辨率，避免产生伪影。
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公开(公告)号：CN116338970A
公开(公告)日：2023-06-27
申请号：CN202211741169.3
申请日：2022-12-30
Applicant: 浙江大学湖州研究院
IPC: G02B27/09
Abstract: 本发明公开了一种获得高功率、高均匀度、高准直、超窄带线光源的方法，包括以下步骤：系统光源输出一个平行的激光光束；光束入射至鲍威尔棱镜，实现在垂直方向上扩展；扩展后的光束入射至柱面镜，对扩展后的光束进行准直，使得输出光束为平行光；输出的长条平行光出射至另一长焦柱面镜，将长条平行光进行汇聚；汇聚光束出射至短焦柱面镜，将出射光束校正为平行光束，从而获得高功率、高均匀度、高准直、超窄带的线光源；在不同位置放置探测器，查看在系统不同位置处的出射光束质量和照。本发明利用了鲍威尔棱镜和不同焦距的非球面平凸柱面镜合理的组合，得到了一束高功率、高均匀度、高准直、超窄带的线光源，可应用于高精度的光学元件以及芯片的检测。
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