公开(公告)号：CN115452835A

公开(公告)日：2022-12-09

申请号：CN202210990663.7

申请日：2022-08-18

Applicant: 浙江大学

Inventor： 崔玉栋 ,  王海威 ,  张嘉润 ,  郝翔 ,  路天畅 ,  匡翠方 ,  刘旭

IPC: G01N21/88 ,  G01N21/95 ,  G01N21/956 ,  G01N21/01

Abstract: 本发明公开了一种基于超快激光时空变换的掩膜版或晶圆缺陷高速检测装置及方法，包括激光依次通过的超快光源产生装置、时空域色散装置、样品照明与扫描检测装置和信号探测与处理装置，超快光源产生装置包括相连的超快脉冲种子源和放大装置；时空域色散装置包括激光依次通过的时域色散元件、损耗补偿和放大装置和空域色散元件；采用超快激光脉冲作为照明光源，利用时间‑光谱‑空间映射实现对样品的照明，通过单点探测器高速获取信号，每一个激光脉冲可以实现对样品的一次照明和检测，通过对样品的快速移动，可以实现对样品的高速检测，其数据通量可达1010/s以上，极大地提升了缺陷检测的速度，是对传统缺陷检测技术的有力补充。

公开(公告)号：CN119901754A

公开(公告)日：2025-04-29

申请号：CN202510345084.0

申请日：2025-03-24

Applicant: 浙江大学杭州国际科创中心

Inventor： 杨青 ,  胡慧琴 ,  路天畅 ,  金伟正 ,  徐月暑 ,  崔玉栋 ,  匡翠方 ,  刘旭

IPC: G01N21/95 ,  G06T7/00 ,  G06V10/764 ,  G06V10/82 ,  G06N3/0464 ,  G06N3/096 ,  G06N3/045

Abstract: 本发明公开一种基于双光梳时空编码的图案化晶圆缺陷检测系统及方法，系统包括：双光梳光源模块、空间编码照明模块、时间编程控制模块、信号采集处理模块及数据分析处理模块，数据分析处理模块接收待测晶圆表面的复原三维形貌信息并进行分析，提取缺陷相关特征，建立光谱特征与缺陷之间的映射关系，对晶圆表面缺陷进行识别得到相应的缺陷种类和位置信息。本发明采用基于双光梳时空编码的晶圆缺陷检测技术，利用双光梳干涉技术实现快速扫描和并行探测，大幅提高检测效率，本发明能够获得晶圆表面的绝对距离信息，将此结果反馈给精密气浮运动平台可以省去自动对焦光路系统及反馈控制部分，提高检测效率，降低整个晶圆检测系统的体积、复杂度和成本。

公开(公告)号：CN117928370A

公开(公告)日：2024-04-26

申请号：CN202311755923.3

申请日：2023-12-19

Applicant: 浙江大学杭州国际科创中心

Inventor： 崔玉栋 ,  张嘉润 ,  路天畅 ,  郝翔 ,  卞殷旭 ,  匡翠芳 ,  刘旭

IPC: G01B9/02 ,  G01B11/24 ,  G01S17/08 ,  G01S7/481

Abstract: 本发明公开了一种扫频干涉表面结构检测系统和方法，涉及面型检测和扫频激光领域。该系统主要包括扫频激光产生单元、干涉单元、扫描探测单元和信号处理单元。本发明与现有技术相比，本发明中采用单点光电探测器采集干涉光信号，通过单点计算的方式进行相位解算，通过解算光电探测系统每个位置获得的干涉信息获得待测表面每个位置的距离信息，实现高精度的表面结构检测，可以达到纳米量级。使用位移台扫描的方式移动探测器探测扫频干涉光，可以实现大范围、高精度的测量。由于单点探测器接收速度远高于面阵探测器，在扫描范围较小时本发明可以实现快速探测。

公开(公告)号：CN117687037A

公开(公告)日：2024-03-12

申请号：CN202311797027.3

申请日：2023-12-26

Applicant: 浙江大学杭州国际科创中心

Inventor： 崔玉栋 ,  路天畅 ,  张嘉润 ,  徐月暑 ,  张爱国 ,  匡翠方 ,  刘旭

IPC: G01S17/08 ,  G01S7/481

Abstract: 本发明公开了一种基于时域光谱干涉的距离测量装置，该装置采用了时域拉伸技术与光谱干涉技术相结合，通过色散傅里叶变换将频域干涉信号映射到时域上，从而可以使用光电探测器来采集干涉信号，可以实现MHz水平的高速距离测量。还通过余弦拟合方法，极大程度上抑制了光电探测器电学噪声、色散傅里叶变换中的高阶色散、光谱形状不规则等因素对测量的影响，实现了亚纳米量级的超高精度距离测量。