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公开(公告)号：CN120065639A
公开(公告)日：2025-05-30
申请号：CN202510077806.9
申请日：2025-01-17
Applicant: 浙江大学杭州国际科创中心
Abstract: 本发明公开了一种人工智能抗扰动的光刻物镜波像差测量方法，在光刻物镜波像差测量算法上，本发明使用基于物理信息的U型神经网络结构，在通用的U‑NET神经网络模型，保留了其整体编码器‑解码器结构，同时去除了池化层。与传统四步移相（或者五步移相）相比，本申请创新点包括：（1）硬件上，压电移相器只需要移动一次，只需获得两步移相。与传统移相波像差测量系统，本发明测量速度更快。（2）硬件上，传统波像差测量系统需要超高精度的压电移相器，而本发明只需低精度标准（精度优于50nm）的压电移相器。（3）算法上，本发明两幅干涉图可精确测量得到光刻物镜波像差。（4）波像差重构精度上，由于降低了环境干扰，本发明的精度更高。
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公开(公告)号：CN119714111A
公开(公告)日：2025-03-28
申请号：CN202411714730.8
申请日：2024-11-27
Applicant: 浙江大学杭州国际科创中心
IPC: G01B11/24 , G01B9/02017 , G01B9/02055 , G06F17/10
Abstract: 本发明公开了一种CGH和反射镜综合检测凸非球面的系统及方法。本发明基于CGH和辅助反射镜结合子孔径拼接技术提出了一种面向大口径凸非球面的高精度检测装置及方法，本发明中仅需辅助反射镜的一次反射，降低了对辅助反射镜面形精度的要求，提高了反射镜制造的可能性。辅助反射镜倾斜放置避免了全口径光学元件中心区域无法测量的问题，传统Hindle球辅助检测时需要中心开孔的问题。并且辅助反射镜可以是平面反射镜能够避免辅助hindle球难以制作的问题。除此之外，采用子孔径拼接技术减小了CGH和辅助反射镜的制作难度。本发明为大口径凸非球面的高精度检测提供了一种易于操作的检测装置和数据处理方法。
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公开(公告)号：CN118778380B
公开(公告)日：2025-03-07
申请号：CN202411280459.1
申请日：2024-09-13
Applicant: 浙江大学杭州国际科创中心
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种基于可控多点阵灰度刻写的双光子高通量直写装置和方法，该装置通过对微透镜阵列和数字微镜阵列的协同调控得到强度均一的焦点阵列，还通过像旋模块控制并行直写光斑阵列的旋向角度，通过控制旋向角度和刻线间距实现高精度的灰度刻写。该方法能够根据实际的灰度刻写需求调整设备的刻写策略，且刻写曝光过程位移台仅需保持匀速扫描，节省了平台重复加减速的时间，同时充分利用了飞秒激光光斑的入瞳能量，使得该方法兼具高通量大面积与2.5D高精度灰度刻写的优势，具有广阔的应用前景。
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公开(公告)号：CN119395899A
公开(公告)日：2025-02-07
申请号：CN202411841259.9
申请日：2024-12-13
Applicant: 浙江大学杭州国际科创中心
Abstract: 本发明公开一种复用SLM实现菲涅尔非相干相关全息超分辨显微系统及方法，系统包括：显微镜模块、起偏模块、空间光调制模块、全息探测模块及图像处理模块；显微镜模块使用光源照射样品并将样品光收集；起偏模块包括透镜及偏振单元，形成偏振样品光；空间光调制模块包括空间光调制器及转换单元，将第二调制样品光输入至全息探测模块中；全息探测模块包括第二四分之一波片、成像透镜单元及偏振相机，图像处理模块获取偏振图像集并进行处理，得到再现图像。本方法保持了波带片图案的完整性，解决了现有菲涅尔非相干相关全息技术中随机误差及像质减弱的问题，同时提高系统的灵活性。
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公开(公告)号：CN118348751A
公开(公告)日：2024-07-16
申请号：CN202410774633.1
申请日：2024-06-17
Applicant: 浙江大学杭州国际科创中心
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种光刻环形光瞳照明系统装调方法，优化了全息版图中的主全息相位分布。本发明光刻环形光瞳照明系统装调方法，能够实现纳米级位移、秒级角度的圆锥透镜的光轴定心装调。圆锥透镜的光轴定心误差精度由标准干涉仪的测量精度、标准自准直反射镜的平整度和全息图精度三项保证。本发明的精度误差来源更少，误差更小。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117392025B
公开(公告)日：2024-02-23
申请号：CN202311684036.1
申请日：2023-12-11
Applicant: 浙江大学杭州国际科创中心
Abstract: 本发明公开一种X射线锥束CT位姿矫正方法、系统及装置，方法包括：获取多张X射线投影图像；对多张X射线投影图像进行分割预处理得到多张标定小球图像，基于多张标定小球图像得到所有标定小球的球心位置；得到矫正几何位姿参量，基于第三标定小球的球心位置得到摆放位置及旋转角，基于第二标定小球的球心位置与第一标定小球的球心位置之间的距离得到扭转角及倾斜角；基于矫正几何位姿参量对探测器的实际摆放位置及实际摆放角度进行矫正。本发明操作简单，几何位姿参量矫正只需一块几何位姿矫正标定板就可以实现对几何位姿参量的矫正，使得锥束CT系统后续的应用数据更加准确，同时对(56)对比文件韩玉;闫镔;李磊;李永丽;李建新.一种迭代的锥束CT螺旋轨迹几何参数标定算法.仪器仪表学报.2013,(第07期),全文.
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公开(公告)号：CN117575901A
公开(公告)日：2024-02-20
申请号：CN202410043209.X
申请日：2024-01-11
Applicant: 浙江大学杭州国际科创中心
IPC: G06T3/4038 , G06T7/73 , G01N23/041 , G01N23/04 , G01N23/083
Abstract: 本发明公开一种基于多层膜劳厄透镜的X射线相衬显微拼接方法及系统，系统包括：X射线处理模块限制入射X射线的发射角并进行预聚焦，得到预聚焦X射线；光源聚焦模块对预聚焦X射线实现二维聚焦，得到X射线聚焦光源；探测器模块包括吸收光栅、闪烁体及成像单元，闪烁体位于吸收光栅后方，X射线聚焦光源经吸收光栅叠加，闪烁体转换为可见光波段，在成像单元中形成样品图像及背景图像；图像获取单元获得多幅多模态显微图像，图像拼接单元对不同区域的样品图像及背景图像形成的任意两幅多模态显微图像进行拼接处理，得到拼接显微图像。通过本方法解决了菲涅尔波带片系统成像分辨率低的问题，可以得到高分辨率大视场的显微图像。
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公开(公告)号：CN117289563A
公开(公告)日：2023-12-26
申请号：CN202311592943.3
申请日：2023-11-27
Applicant: 浙江大学杭州国际科创中心
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种振幅型计算全息图实现装置及方法。本发明利用边缘光抑制的超分辨激光直写实现用于极紫外光刻物镜装调的大面积振幅型计算全息图克服了激光直写技术刻写精度的不足，对比电子束直写有着更高的效率，有着操作简便、成本低廉等优势。通过补偿模块在刻写中实时进行光功率与相位调制补偿，保证了刻写系统在刻写大面积振幅型计算全息图长时间工作的稳定性与刻写精度。
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公开(公告)号：CN116843596B
公开(公告)日：2023-11-14
申请号：CN202311083848.0
申请日：2023-08-28
Applicant: 浙江大学杭州国际科创中心
IPC: G06T5/50
Abstract: 本发明公开一种X射线光栅多模态图像自适应融合方法、系统与装置，方法包括：获取被测样品的吸收衬度图像、暗场衬度图像及微分相位衬度图像；并进行分解，得到对应的第一分解分量、第二分解分量及第三分解分量；分别进行融合前预处理，得到预处理后的结果；将预处理后的结果分别进行融合，得到第二融合经验模态分量和第二融合残差分量；进行细节增强处理得到第二增强经验模态分量，进行对比度增强处理得到第二增强残差分量；进行重建，并进行图像清晰度处理，得到重建图像。本发明解决了三种特征图像所反映的特征信息无法直接反映到统一结果之内的问题，融合后图像数据不受影响，具有直接在分解重建过程中进行图像降噪和增强的优势。
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公开(公告)号：CN116009017A
公开(公告)日：2023-04-25
申请号：CN202211624120.X
申请日：2022-12-15
Applicant: 浙江大学杭州国际科创中心
IPC: G01S17/89 , G01S17/894 , G01S7/481 , G02B27/42 , G02B27/44
Abstract: 本发明涉及光电探测技术领域，公开了一种基于光谱时空双编码的非视域成像系统与方法，宽谱脉冲激光器发射激光经过处理输出离散脉冲序列；将离散脉冲序列经过处理得到反射方向的线偏光，将反射方向的线偏光进行色散输出多个光束，多个光束在中继墙表面发生漫反射照射在被遮挡的隐藏物体表面，后又通过反射回到中继墙表面，在中继墙表面再次漫反射后的非视域三次回波光束经过空间色散元件被探测器进行采集；再由处理单元计算得到所需成像信息；本发明引入光谱时空双编码，利用时间编码和空间编码将照射点的空间位置信息与光子飞行时间信息同时编码在非视域三次回波的时间域中，实现非视域成像；具有快速无扫描、集成度高、重构精度高的优势。
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