-
公开(公告)号：CN113375799B
公开(公告)日：2024-05-28
申请号：CN202110425090.9
申请日：2021-04-20
Applicant: 浙江大学 , 青岛鲲腾量子应用技术有限公司
Abstract: 本发明公开了一种高灵敏度‑图像式自相关‑FROG一体仪，输入的超快信号光场通过光纤或者空间耦合的方式输入到干涉仪中，通过调节干涉仪一端的几何距离，实现信号场和带有延时信号场的自我干涉；之后经过一块BBO非线性晶体实现二型和频过程；上转换后的信号通过整形、滤波、准直、最终采用CCD实现信号的探测。通过修改干涉仪的延时，可以实现输入信号场的自相关、FROG等高精度测量。本发明通过采用共线型的Type‑II BBO晶体，实现信号光的自相关过程。FROG测量后的结果采用非线性约束多变量优化算法进行重构。整个光路简洁高效、硬件十分容易集成化，在保证低成本的情况下达到甚至超过目前商用主流产品的灵敏度。
-
公开(公告)号：CN107302179B
公开(公告)日：2019-08-20
申请号：CN201710302907.7
申请日：2017-05-03
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种结构紧凑的全光纤亚百飞秒超短脉冲产生装置，该装置包括通过单模光纤依次连接的耗散孤子振荡器、输出隔离部分、预压缩部分、放大和非线性压缩部分；预压缩部分引入负色散，预压缩部分提供的负啁啾量小于输入脉冲的正啁啾量；耗散孤子振荡器产生具有较大能量和正啁啾的脉冲，通过输出隔离部分进入预压缩部分，将脉冲宽度压缩，提高脉冲峰值功率，最后在放大和非线性压缩部分中提高脉冲能量，利用非线性过程使脉冲光谱展宽、脉宽压缩，得到亚百飞秒超短脉冲。该装置具有全光纤结构，基于单壁碳纳米管锁模的耗散孤子光纤激光器对外界环境的扰动具有较强的抵抗力，能够长时间稳定的输出亚百飞秒脉冲。
-
公开(公告)号：CN119901754A
公开(公告)日：2025-04-29
申请号：CN202510345084.0
申请日：2025-03-24
Applicant: 浙江大学杭州国际科创中心
IPC: G01N21/95 , G06T7/00 , G06V10/764 , G06V10/82 , G06N3/0464 , G06N3/096 , G06N3/045
Abstract: 本发明公开一种基于双光梳时空编码的图案化晶圆缺陷检测系统及方法，系统包括：双光梳光源模块、空间编码照明模块、时间编程控制模块、信号采集处理模块及数据分析处理模块，数据分析处理模块接收待测晶圆表面的复原三维形貌信息并进行分析，提取缺陷相关特征，建立光谱特征与缺陷之间的映射关系，对晶圆表面缺陷进行识别得到相应的缺陷种类和位置信息。本发明采用基于双光梳时空编码的晶圆缺陷检测技术，利用双光梳干涉技术实现快速扫描和并行探测，大幅提高检测效率，本发明能够获得晶圆表面的绝对距离信息，将此结果反馈给精密气浮运动平台可以省去自动对焦光路系统及反馈控制部分，提高检测效率，降低整个晶圆检测系统的体积、复杂度和成本。
-
公开(公告)号：CN107800034A
公开(公告)日：2018-03-13
申请号：CN201711150793.5
申请日：2017-11-18
Applicant: 浙江大学
CPC classification number: H01S3/1109 , H01S3/06716 , H01S3/06791 , H01S3/094053
Abstract: 本发明公开了一种应用光纤集成器件的耗散孤子锁模光纤激光器，光纤集成器件包括对准放置的两个双纤准直器以及放置于它们之间的隔离器和滤波器；锁模光纤激光器的谐振腔包括光纤集成器件和增益光纤，谐振腔光纤上夹持有偏振控制器。偏振相关光纤集成器件和偏振控制器构成的结构可以使激光器采用非线性偏振旋转锁模技术；光纤激光器谐振腔内净色散为正，同时光纤集成器件可以提供滤波效应，使锁模光纤激光器内支持耗散孤子的形成。本发明利用光纤集成器件极大简化了锁模光纤激光器的结构设计，有利于激光器的封装和小型化，并有助于高重复频率光纤激光器的实现。
-
公开(公告)号：CN117928370A
公开(公告)日：2024-04-26
申请号：CN202311755923.3
申请日：2023-12-19
Applicant: 浙江大学杭州国际科创中心
Abstract: 本发明公开了一种扫频干涉表面结构检测系统和方法，涉及面型检测和扫频激光领域。该系统主要包括扫频激光产生单元、干涉单元、扫描探测单元和信号处理单元。本发明与现有技术相比，本发明中采用单点光电探测器采集干涉光信号，通过单点计算的方式进行相位解算，通过解算光电探测系统每个位置获得的干涉信息获得待测表面每个位置的距离信息，实现高精度的表面结构检测，可以达到纳米量级。使用位移台扫描的方式移动探测器探测扫频干涉光，可以实现大范围、高精度的测量。由于单点探测器接收速度远高于面阵探测器，在扫描范围较小时本发明可以实现快速探测。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117687037A
公开(公告)日：2024-03-12
申请号：CN202311797027.3
申请日：2023-12-26
Applicant: 浙江大学杭州国际科创中心
Abstract: 本发明公开了一种基于时域光谱干涉的距离测量装置，该装置采用了时域拉伸技术与光谱干涉技术相结合，通过色散傅里叶变换将频域干涉信号映射到时域上，从而可以使用光电探测器来采集干涉信号，可以实现MHz水平的高速距离测量。还通过余弦拟合方法，极大程度上抑制了光电探测器电学噪声、色散傅里叶变换中的高阶色散、光谱形状不规则等因素对测量的影响，实现了亚纳米量级的超高精度距离测量。
-
公开(公告)号：CN111769428A
公开(公告)日：2020-10-13
申请号：CN202010484763.3
申请日：2020-06-01
Applicant: 浙江大学
IPC: H01S3/067 , H01S3/0941 , H01S3/127 , H01S3/00
Abstract: 本发明公开了一种基于2×3光开关的全光纤高能量脉冲再生放大装置，该装置包括通过包括2×3光开关以及由其构成的全光纤再生放大谐振腔、超短脉冲激光种子源、脉冲展宽装置、脉冲压缩装置、探测和反馈控制装置；2×3光开关将选择输入再生放大谐振腔的脉冲并从不同端口输出；全光纤再生放大谐振腔输入脉冲在谐振腔内多次循环放大，利用探测和反馈控制装置保证超短脉冲激光种子源和全光纤再生放大谐振腔重复频率的锁定，以及2×3光开关控制信号与超短脉冲激光种子源间的同步。高能量脉冲再生放大装置能够有效地替代了传统高功率光纤激光放大中多级放大和降频的结构，降低了高能量超快激光的成本，能够促进超快激光的研究和应用。
-
公开(公告)号：CN107302179A
公开(公告)日：2017-10-27
申请号：CN201710302907.7
申请日：2017-05-03
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种结构紧凑的全光纤亚百飞秒超短脉冲产生装置，该装置包括通过单模光纤依次连接的耗散孤子振荡器、输出隔离部分、预压缩部分、放大和非线性压缩部分；预压缩部分引入负色散，预压缩部分提供的负啁啾量小于输入脉冲的正啁啾量；耗散孤子振荡器产生具有较大能量和正啁啾的脉冲，通过输出隔离部分进入预压缩部分，将脉冲宽度压缩，提高脉冲峰值功率，最后在放大和非线性压缩部分中提高脉冲能量，利用非线性过程使脉冲光谱展宽、脉宽压缩，得到亚百飞秒超短脉冲。该装置具有全光纤结构，基于单壁碳纳米管锁模的耗散孤子光纤激光器对外界环境的扰动具有较强的抵抗力，能够长时间稳定的输出亚百飞秒脉冲。
-
公开(公告)号：CN115452835A
公开(公告)日：2022-12-09
申请号：CN202210990663.7
申请日：2022-08-18
Applicant: 浙江大学
IPC: G01N21/88 , G01N21/95 , G01N21/956 , G01N21/01
Abstract: 本发明公开了一种基于超快激光时空变换的掩膜版或晶圆缺陷高速检测装置及方法，包括激光依次通过的超快光源产生装置、时空域色散装置、样品照明与扫描检测装置和信号探测与处理装置，超快光源产生装置包括相连的超快脉冲种子源和放大装置；时空域色散装置包括激光依次通过的时域色散元件、损耗补偿和放大装置和空域色散元件；采用超快激光脉冲作为照明光源，利用时间‑光谱‑空间映射实现对样品的照明，通过单点探测器高速获取信号，每一个激光脉冲可以实现对样品的一次照明和检测，通过对样品的快速移动，可以实现对样品的高速检测，其数据通量可达1010/s以上，极大地提升了缺陷检测的速度，是对传统缺陷检测技术的有力补充。
-
公开(公告)号：CN115236043A
公开(公告)日：2022-10-25
申请号：CN202210773978.6
申请日：2022-07-01
Applicant: 浙江大学
IPC: G01N21/64
Abstract: 本发明公开了一种可见光双光梳高分辨超快显微成像装置及方法，该成像装置包括双光梳光源、移频器、波分复用器、二维色散元件、显微成像系统、双光梳探测器、以及数据采集和处理部分。采用双光梳作为光源，利用二维色散元件将光频梳展开为波长‑空间编码点阵光场进行照明，采用双光梳探测器开展双光梳光谱测量获取波长所包含的信息，利用移频器改变光频频率实现照结构光照明，实现高分辨超快显微成像。本发明克服传统超快测量技术中时域拉伸对可见光超快显微成像的限制，有效减小了照明光束的光斑大小，提高成像的空间分辨率，利用光学频率梳实现一种点阵结构光照明无标记超分辨显微成像，可以进一步提高超快显微成像的分辨率。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
12
records
(took 0.015 seconds)
