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公开(公告)号:CN118960535A
公开(公告)日:2024-11-15
申请号:CN202411021875.X
申请日:2024-07-29
Applicant: 浙江大学
IPC: G01B7/02
Abstract: 本发明公开了一种面向桥梁微形变监测的基于微流道技术的平面电容型微位移传感器,其中器件包括具有连通器结构的液压位移放大机构、多层微流道结构和平面电容。本发明通过液压放大机构将主流道的微位移信号转化为微流道中的液位变化后,利用平面电容检测原理实现液位变化的测量,从而计算得到被测微位移的变化。此外,本发明还根据电场强弱布置流道,确保待测流体位于传感器的敏感区域,实现传感器灵敏度的显著增强。