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公开(公告)号:CN115452076A
公开(公告)日:2022-12-09
申请号:CN202211202622.3
申请日:2022-09-28
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种基于相变材料的高灵敏度热式微流量传感器,包括单晶衬底、流体层和两组设置有传感单元的固支梁。单晶衬底选用单晶硅材料,致密的隔热介质膜沉积在单晶硅衬底上,两组固支梁分别悬空架设在微流道的上游和下游;由加热电阻与热敏电阻组成的传感单元位于固支梁二氧化硅隔离层的上表面。本发明通过改善敏感材料,利用具有高绝对值电阻温度系数的相变材料层作为热敏电阻,提升了传感器检测灵敏度,并且两个加热电阻分别由外部供电电路独立控制,可实现各自热敏电阻的独立温度控制,避免热敏电阻相变材料的滞回特性对传感器性能的影响,使其能满足测量极低流量的工程需求。
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公开(公告)号:CN118960535A
公开(公告)日:2024-11-15
申请号:CN202411021875.X
申请日:2024-07-29
Applicant: 浙江大学
IPC: G01B7/02
Abstract: 本发明公开了一种面向桥梁微形变监测的基于微流道技术的平面电容型微位移传感器,其中器件包括具有连通器结构的液压位移放大机构、多层微流道结构和平面电容。本发明通过液压放大机构将主流道的微位移信号转化为微流道中的液位变化后,利用平面电容检测原理实现液位变化的测量,从而计算得到被测微位移的变化。此外,本发明还根据电场强弱布置流道,确保待测流体位于传感器的敏感区域,实现传感器灵敏度的显著增强。
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公开(公告)号:CN115452076B
公开(公告)日:2024-10-01
申请号:CN202211202622.3
申请日:2022-09-28
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种基于相变材料的高灵敏度热式微流量传感器,包括单晶衬底、流体层和两组设置有传感单元的固支梁。单晶衬底选用单晶硅材料,致密的隔热介质膜沉积在单晶硅衬底上,两组固支梁分别悬空架设在微流道的上游和下游;由加热电阻与热敏电阻组成的传感单元位于固支梁二氧化硅隔离层的上表面。本发明通过改善敏感材料,利用具有高绝对值电阻温度系数的相变材料层作为热敏电阻,提升了传感器检测灵敏度,并且两个加热电阻分别由外部供电电路独立控制,可实现各自热敏电阻的独立温度控制,避免热敏电阻相变材料的滞回特性对传感器性能的影响,使其能满足测量极低流量的工程需求。
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公开(公告)号:CN218205271U
公开(公告)日:2023-01-03
申请号:CN202221892854.1
申请日:2022-07-21
Applicant: 浙江大学建筑设计研究院有限公司
Abstract: 本发明公开了一种适用于装配式钢结构的屋面楼板防水构造,其特征在于,应用于出屋面钢柱与屋面楼板的交接界面,包括:钢筋混凝土翻边,所述钢筋混凝土翻边设置在所述屋面楼板的边缘,通过若干连接钢筋与所述屋面楼板相连,且通过若干抗剪栓钉与所述出屋面钢柱相连;挡水钢盖板,所述挡水钢盖板设置于所述现浇混凝土翻边的上方且固定在所述出屋面钢柱的周侧。
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