一种基于相变材料的高灵敏度热式微流量传感器

    公开(公告)号:CN115452076A

    公开(公告)日:2022-12-09

    申请号:CN202211202622.3

    申请日:2022-09-28

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明公开了一种基于相变材料的高灵敏度热式微流量传感器,包括单晶衬底、流体层和两组设置有传感单元的固支梁。单晶衬底选用单晶硅材料,致密的隔热介质膜沉积在单晶硅衬底上,两组固支梁分别悬空架设在微流道的上游和下游;由加热电阻与热敏电阻组成的传感单元位于固支梁二氧化硅隔离层的上表面。本发明通过改善敏感材料,利用具有高绝对值电阻温度系数的相变材料层作为热敏电阻,提升了传感器检测灵敏度,并且两个加热电阻分别由外部供电电路独立控制,可实现各自热敏电阻的独立温度控制,避免热敏电阻相变材料的滞回特性对传感器性能的影响,使其能满足测量极低流量的工程需求。

    一种基于相变材料的高灵敏度热式微流量传感器

    公开(公告)号:CN115452076B

    公开(公告)日:2024-10-01

    申请号:CN202211202622.3

    申请日:2022-09-28

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明公开了一种基于相变材料的高灵敏度热式微流量传感器,包括单晶衬底、流体层和两组设置有传感单元的固支梁。单晶衬底选用单晶硅材料,致密的隔热介质膜沉积在单晶硅衬底上,两组固支梁分别悬空架设在微流道的上游和下游;由加热电阻与热敏电阻组成的传感单元位于固支梁二氧化硅隔离层的上表面。本发明通过改善敏感材料,利用具有高绝对值电阻温度系数的相变材料层作为热敏电阻,提升了传感器检测灵敏度,并且两个加热电阻分别由外部供电电路独立控制,可实现各自热敏电阻的独立温度控制,避免热敏电阻相变材料的滞回特性对传感器性能的影响,使其能满足测量极低流量的工程需求。

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