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公开(公告)号：CN119574384A
公开(公告)日：2025-03-07
申请号：CN202411846956.3
申请日：2024-12-16
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种基于干涉测量的缝隙流场内3D动态接触角实时测量方法。包括：搭建3D动态接触角实时测量光学平台，采集参考干涉图像，根据参考干涉图像得到参考干涉图像相位分布；实时采集待测缝隙流场的干涉图像，根据当前时刻的干涉图像得到干涉图像相位分布，根据当前时刻的干涉图像相位分布和参考干涉图像相位分布得到当前时刻的液面高度分布；根据当前时刻的液面高度分布得到气液固轮廓线；根据当前时刻的液面高度分布和气液固轮廓线得到当前时刻的接触角。本发明可以同时实现接触角的3D测量与实时测量，克服了以往测试方法无法兼顾3D测量与实时测量的问题，同时也适用于非规则形态液滴或流场气液界面的接触角测量。
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公开(公告)号：CN119285036A
公开(公告)日：2025-01-10
申请号：CN202411573827.1
申请日：2024-11-06
Applicant: 浙江大学
IPC: C02F1/32 , C02F101/30
Abstract: 本发明公开了一种采用纵向涡发生器的紧凑型紫外反应器。此纵向涡发生器包括底板和若干纵向涡发生板；底板为圆环形结构或者螺旋形结构，纵向涡发生板采用五面体、六面体或者多面体板状结构；纵向涡发生板沿底板的周向间隔均匀排布，纵向涡发生板相对于底板的径向平面倾斜布置；此紧凑型紫外反应器包括同轴布置的紫外辐射光源、透光石英管、纵向涡反应器以及反应器腔体；反应器腔体与透光石英管之间的环形流道形成反应区。本发明纵向涡发生器加强了反应器内部流体介质的传质能力，能够提高流体介质接受紫外辐照的时间，由此提高处理效率，且占据的流道空间小，产生的压差阻力小，适用于各类紧凑型紫外反应器。
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公开(公告)号：CN118904307A
公开(公告)日：2024-11-08
申请号：CN202411407856.0
申请日：2024-10-10
Applicant: 浙江大学
IPC: B01J20/26 , B01J20/28 , B01J20/30 , B01D69/02 , B01D71/68 , B01D71/26 , B01D71/56 , B01D71/48 , B01D71/36 , B01D61/14 , B01D67/00 , C02F1/28 , C02F1/44 , C02F101/20
Abstract: 本发明公开了一种多酚固化修饰的金属离子吸附膜及其制备方法。本发明中的金属离子吸附膜主要由微孔膜经表面沉积单宁和聚乙烯亚胺共聚物，再经交联处理而得；其中，通过将微孔膜在单宁‑聚乙烯亚胺混合溶液中浸泡处理实现表面沉积单宁和聚乙烯亚胺共聚物；通过将表面沉积后的微孔膜在交联剂溶液浸泡处理实现交联处理；本发明中的金属离子吸附膜用于水中金属离子的吸收和/或回收。本发明中的金属离子吸附膜不仅能够像传统膜基于孔径对大直径的细菌、颗粒进行物理隔离，还能够与重金属离子发生络合吸附，实现了集物理过滤与化学吸附为一体的多功能吸附。
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公开(公告)号：CN119002193B
公开(公告)日：2025-03-25
申请号：CN202411430565.3
申请日：2024-10-14
Applicant: 浙江大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种基于级联系统的温度波动衰减器及优化制造方法。温度波动衰减器包括主壳体和多个多孔板，主壳体内部为空心，形成空腔结构，每个多孔板为布有小孔的圆板，多个多孔板沿流体的流通方向平行间隔布置，每个多孔板垂直于流体的流通方向，用于对流体进行挡流和波动衰减；优化制造方法包括获取空腔结构的体积V、多孔板的直径D、超洁净流体的密度ρ、流体的流速v和时滞时间τ，然后构建温度波动衰减器的时滞模型G(s)，最终针对时滞模型G(s)进行优化求解，求解出多孔板的数量N，多孔板上的小孔数量n，多孔板上的小孔孔径d，进而制造得到优化后的温度波动衰减器。本发明提高了衰减器在高频温度扰动下的衰减性能，有利于提高光刻机的温度控制精度。
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公开(公告)号：CN119657362A
公开(公告)日：2025-03-21
申请号：CN202411788685.0
申请日：2024-12-06
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种射流形态和卫星液滴行为尺寸控制装置及方法。装置的液滴发生器的喷嘴产生不同形态的射流，射流中的主液滴和卫星液滴的运动状态不同；液滴控制组件位于液滴发生器的正下方并对射流的形态调整及卫星液滴的行为尺寸的控制；液滴图像采集组件位于液滴控制组件的侧方，对射流的形态以及卫星液滴的行为尺寸进行动态获取。本发明能精确控制射流形态和卫星液滴的生成过程，实现了卫星液滴的稳定分离和尺寸可调，能够实时监测射流和液滴行为，确保卫星液滴在和主液滴分离之前与主液滴保持相对稳定，能够对液滴尺寸进行二次调控，还使用微米级电极精确干预射流局部区域，形成更小卫星液滴尺寸的突破，可广泛应用于高精度液滴控制需求。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118483879B
公开(公告)日：2025-03-14
申请号：CN202410707632.5
申请日：2024-06-03
Applicant: 浙江大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种基于有机介质的IC光刻设备浸没边界流场收束及撤除方法。将超疏油涂层均匀喷涂在IC光刻设备的基底上的浸没液回收不充分处，然后进行加热处理；通过浸没供给系统将浸没液填充浸没边界流场，完成收束；同时将浸没液流出进行回收；通过浸没供给系统回收浸没液直至完全流出，完成撤除。本发明通对浸没液回收不充分处喷涂超疏油涂层，能够在不影响曝光条件与流体特性的基础上增大流体在基底表面上的接触角，改善了流体于基底上的流动特性，消除了流体残余，实现了有机介质均匀完全填充以及完全回收等效果；本发明无需改变基底自身结构，提高了有机介质的使用效率，降低成本的同时提高了生产效率，最终提高了曝光质量。
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公开(公告)号：CN119207596A
公开(公告)日：2024-12-27
申请号：CN202411234320.3
申请日：2024-09-04
Applicant: 浙江大学
IPC: G16C10/00
Abstract: 本发明公开了一种基于分子动力学模拟聚四氟乙烯结晶度和力学性能的方法。包括：构建无定型聚四氟乙烯全原子模型；对无定型聚四氟乙烯全原子模型进行烧结模拟，根据烧结模拟得到的键序信息构建聚四氟乙烯粗粒化模型；对聚四氟乙烯粗粒化模型进行降温结晶模拟，根据降温结晶模拟得到的粒子坐标信息计算聚四氟乙烯结晶度；对降温结晶模拟后的聚四氟乙烯粗粒化模型进行单轴拉伸模拟，根据单轴拉伸模拟的结果评估聚四氟乙烯力学性能。本发明方法通过模拟得到不同分子量聚四氟乙烯的结晶度和力学性能并且与实际结果吻合良好，可节约试验时间和金钱成本，为实际生产提供一定指导作用。
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公开(公告)号：CN118483879A
公开(公告)日：2024-08-13
申请号：CN202410707632.5
申请日：2024-06-03
Applicant: 浙江大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种基于有机介质的IC光刻设备浸没边界流场收束及撤除方法。将超疏油涂层均匀喷涂在IC光刻设备的基底上的浸没液回收不充分处，然后进行加热处理；通过浸没供给系统将浸没液填充浸没边界流场，完成收束；同时将浸没液流出进行回收；通过浸没供给系统回收浸没液直至完全流出，完成撤除。本发明通对浸没液回收不充分处喷涂超疏油涂层，能够在不影响曝光条件与流体特性的基础上增大流体在基底表面上的接触角，改善了流体于基底上的流动特性，消除了流体残余，实现了有机介质均匀完全填充以及完全回收等效果；本发明无需改变基底自身结构，提高了有机介质的使用效率，降低成本的同时提高了生产效率，最终提高了曝光质量。
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公开(公告)号：CN119406593A
公开(公告)日：2025-02-11
申请号：CN202411498859.X
申请日：2024-10-25
Applicant: 浙江大学
IPC: B03D1/24 , C02F1/24 , C02F1/00 , B03D1/14 , C02F103/34 , B03D103/00
Abstract: 本发明公开了一种半导体级微纳颗粒的无膜水过滤分离器。包括气泵组件和浮选柱，浮选柱的一侧面处开设有上下间隔布置的废水出口和待处理水进口，浮选柱的另一侧面处开设有净水出口，废水出口与废水收集区连通，待处理水进口与待处理水箱连通，净水出口与净水收集区连通，浮选柱的底部开设有进气口，气泵组件的出气端与浮选柱的进气口连通。气泵组件产生气体向浮选柱鼓入，浮选柱内管为刚玉烧结的过滤芯，气体经过微纳米级透气孔产生微纳米级气泡。气泡沿管径扩散的同时吸附微纳米级杂质颗粒，并上升带出杂质，最后安装气泡和杂质收集装置，从而实现半导体的超洁净。与现有技术相比，本发明能够提高半导体级微纳颗粒分离的经济效益。
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公开(公告)号：CN119002193A
公开(公告)日：2024-11-22
申请号：CN202411430565.3
申请日：2024-10-14
Applicant: 浙江大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种基于级联系统的温度波动衰减器及优化制造方法。温度波动衰减器包括主壳体和多个多孔板，主壳体内部为空心，形成空腔结构，每个多孔板为布有小孔的圆板，多个多孔板沿流体的流通方向平行间隔布置，每个多孔板垂直于流体的流通方向，用于对流体进行挡流和波动衰减；优化制造方法包括获取空腔结构的体积V、多孔板的直径D、超洁净流体的密度ρ、流体的流速v和时滞时间τ，然后构建温度波动衰减器的时滞模型G(s)，最终针对时滞模型G(s)进行优化求解，求解出多孔板的数量N，多孔板上的小孔数量n，多孔板上的小孔孔径d，进而制造得到优化后的温度波动衰减器。本发明提高了衰减器在高频温度扰动下的衰减性能，有利于提高光刻机的温度控制精度。
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