公开(公告)号：CN119657362A

公开(公告)日：2025-03-21

申请号：CN202411788685.0

申请日：2024-12-06

Applicant: 浙江大学

Inventor： 胡亮 ,  杨宏辉 ,  申英男 ,  苏芮 ,  阮晓东 ,  付新

IPC: B05B5/025 ,  B05B5/053 ,  B05B12/08

Abstract: 本发明公开了一种射流形态和卫星液滴行为尺寸控制装置及方法。装置的液滴发生器的喷嘴产生不同形态的射流，射流中的主液滴和卫星液滴的运动状态不同；液滴控制组件位于液滴发生器的正下方并对射流的形态调整及卫星液滴的行为尺寸的控制；液滴图像采集组件位于液滴控制组件的侧方，对射流的形态以及卫星液滴的行为尺寸进行动态获取。本发明能精确控制射流形态和卫星液滴的生成过程，实现了卫星液滴的稳定分离和尺寸可调，能够实时监测射流和液滴行为，确保卫星液滴在和主液滴分离之前与主液滴保持相对稳定，能够对液滴尺寸进行二次调控，还使用微米级电极精确干预射流局部区域，形成更小卫星液滴尺寸的突破，可广泛应用于高精度液滴控制需求。

公开(公告)号：CN116273535A

公开(公告)日：2023-06-23

申请号：CN202310273224.9

申请日：2023-03-17

Applicant: 浙江大学

Inventor： 胡亮 ,  杨宏辉 ,  姜学斌 ,  方言燊 ,  佘垒 ,  苏芮

IPC: B05B5/053

Abstract: 本发明公开了一种EUV光源靶滴的运动形态控制存储装置及控制方法。锡靶滴喷射腔体连通液滴存储组件，液滴感应带电组件安装在喷嘴和液滴存储组件的连接处；液滴偏置组件安装在液滴存储组件内。方法包括：通过液滴偏置组件控制装置处于液滴存储模式、液滴使用模式和液滴频率变换模式下，实现带电液滴的存储、使用及频率变换。本发明实现了对靶滴带电后的缓冲与状态调整，实现对靶滴的暂时存取，更加精确地调整液滴的空间位置和运动状态，实现原材料加热期间靶滴的不间断供应及停机后的快速起动。实现液滴频率变换，可满足因低频液滴发生缺陷而实现高频液滴的发生，提高光源能量转换效率和输出功率，降低碎片污染，提高光源系统可靠性。

公开(公告)号：CN115733384A

公开(公告)日：2023-03-03

申请号：CN202211433326.4

申请日：2022-11-16

Applicant: 浙江大学

Inventor： 胡亮 ,  姜学斌 ,  佘磊 ,  方言燊 ,  苏芮 ,  杨宏辉

IPC: H02N1/00 ,  G09B23/18

Abstract: 本发明公开了一种电场方向可调节式局部电场生成装置。电场发生装置主体安装在位移架上，第一电极板、第二电极板、第三电极板和第四电极板均安装在主体板架内，主体板架安装在位移架上；第一电极板、第二电极板、第三电极板和第四电极板分别电连接外部的双通道直流电压源，双通道直流电压源电连接外部的两个直流连续可调升压模块。本发明装置方便组装移动拆装，局部电场产生电场大小、位置和方向可按实际工程需要灵活调节，可在带电体的运动方向施加电场方向可调节式局部电场，满足在不同时间域内产生不同的局部电场的工作要求且非常易于操作和调整，避免电场发生装置元件对带电体运动造成干涉，并可以实现对带电体的形态速度和位置等的精确控制。