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公开(公告)号：CN119985620A
公开(公告)日：2025-05-13
申请号：CN202510047491.3
申请日：2025-01-13
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种用于聚四氟乙烯材料的空蚀监测与抑制装置及方法。空蚀监测与抑制装置包括安装在聚四氟乙烯材料中的至少一组正负极导电贴片，以及电压测量设备和电源；当正负极导电贴片与电压测量设备电连接时，用于根据电压信号对聚四氟乙烯材料的目标表面进行空蚀监测；当正负极导电贴片与电源电连接时，用于对聚四氟乙烯材料的目标表面进行空蚀抑制。本发明提供了一种简便且高效的解决方案，用于聚四氟乙烯材料过流表面的空蚀监测和抑制。
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公开(公告)号：CN118483879B
公开(公告)日：2025-03-14
申请号：CN202410707632.5
申请日：2024-06-03
Applicant: 浙江大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种基于有机介质的IC光刻设备浸没边界流场收束及撤除方法。将超疏油涂层均匀喷涂在IC光刻设备的基底上的浸没液回收不充分处，然后进行加热处理；通过浸没供给系统将浸没液填充浸没边界流场，完成收束；同时将浸没液流出进行回收；通过浸没供给系统回收浸没液直至完全流出，完成撤除。本发明通对浸没液回收不充分处喷涂超疏油涂层，能够在不影响曝光条件与流体特性的基础上增大流体在基底表面上的接触角，改善了流体于基底上的流动特性，消除了流体残余，实现了有机介质均匀完全填充以及完全回收等效果；本发明无需改变基底自身结构，提高了有机介质的使用效率，降低成本的同时提高了生产效率，最终提高了曝光质量。
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公开(公告)号：CN118483879A
公开(公告)日：2024-08-13
申请号：CN202410707632.5
申请日：2024-06-03
Applicant: 浙江大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种基于有机介质的IC光刻设备浸没边界流场收束及撤除方法。将超疏油涂层均匀喷涂在IC光刻设备的基底上的浸没液回收不充分处，然后进行加热处理；通过浸没供给系统将浸没液填充浸没边界流场，完成收束；同时将浸没液流出进行回收；通过浸没供给系统回收浸没液直至完全流出，完成撤除。本发明通对浸没液回收不充分处喷涂超疏油涂层，能够在不影响曝光条件与流体特性的基础上增大流体在基底表面上的接触角，改善了流体于基底上的流动特性，消除了流体残余，实现了有机介质均匀完全填充以及完全回收等效果；本发明无需改变基底自身结构，提高了有机介质的使用效率，降低成本的同时提高了生产效率，最终提高了曝光质量。
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公开(公告)号：CN109708971A
公开(公告)日：2019-05-03
申请号：CN201910037869.6
申请日：2019-01-16
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种霍普金森拉压一体试验装置，包括发射装置、入射杆、压缩透射杆、拉伸透射杆、缓冲装置、转接头和信号处理系统。试验前将转接头与带外螺纹端的入射杆螺纹连接，将发射装置中的进气软管插入入射杆的进气孔中，在进行动态压缩试验时，将试件夹持在入射杆与压缩透射杆之间，通过发射装置产生气压差推动放置于入射杆空腔中的子弹撞击入射杆，产生的入射脉冲对试件进行动态压缩加载，在进行动态拉伸试验时，将两端带有外螺纹的试件与拉伸透射杆和转接头上的内螺纹进行螺纹连接，通过发射装置产生气压差推动放置于入射杆空腔中的子弹撞击入射杆，利用产生的脉冲对试件进行动态拉伸加载。每次试验结束后可利用环形电磁铁产生的磁力将子弹回归初始发射位置。本发明操作方便，可靠性好，能显著提高实验效率。
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公开(公告)号：CN118165518A
公开(公告)日：2024-06-11
申请号：CN202410278256.2
申请日：2024-03-12
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种检测激光空化冲击波的荧光聚二甲基硅氧烷及其制备方法。荧光聚二甲基硅氧烷是将荧光聚苯乙烯颗粒和聚二甲基硅氧烷凝胶混合制备得到，荧光聚苯乙烯颗粒和聚二甲基硅氧烷凝胶的质量比为1:1000～5000；方法包括：将荧光聚苯乙烯颗粒混入聚二甲基硅氧烷凝胶中，得到荧光聚二甲基硅氧烷凝胶混合物，再通过磁力搅拌器充分搅拌后，通过真空干燥箱进行抽空处理，然后在烘箱中90℃加热固化得到荧光聚二甲基硅氧烷。本发明利用聚苯乙烯的荧光激发，间接检测空泡溃灭冲击波的动态信息，为系统研究聚合物材料在水环境下的微观空泡溃灭机制及空蚀特性提供了更为便捷的实验方法。
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