公开(公告)号：CN101645430B

公开(公告)日：2011-07-27

申请号：CN200910102204.5

申请日：2009-09-03

Applicant: 浙江大学

Inventor： 应济 ,  李俊 ,  徐亮 ,  林谢昭

IPC: H01L23/427 ,  H01L23/367 ,  H01L21/48

Abstract: 本发明公开了一种芯片冷却装置，包括位于该装置底部且与芯片相匹配的冷却室、存储有冷却液的冷却液池、第一微流道、第一微泵、第二微流道、微喷嘴、第三微流道、第二微泵、第四微流道、冷凝器和微孔；第一微泵的一端通过第一微流道与冷却液池相连通，另一端通过第二微流道与微喷嘴相连通；微喷嘴设于冷却室的上方且与冷却室相连通；第二微泵的一端通过第三微流道与冷却室相连通，另一端通过第四微流道与冷凝器相连通；冷凝器位于冷却液池的上方，冷凝器的内部设有冷凝流道，冷凝流道的顶部设有散热片，冷凝流道与冷却液池通过微孔相连通。本发明体积小、散热效率高，具有很高的可控性和工作柔性，可满足芯片在不同工况下的冷却要求。

公开(公告)号：CN101645430A

公开(公告)日：2010-02-10

申请号：CN200910102204.5

申请日：2009-09-03

Applicant: 浙江大学

Inventor： 应济 ,  李俊 ,  徐亮 ,  林谢昭

IPC: H01L23/427 ,  H01L23/367 ,  H01L21/48

Abstract: 本发明公开了一种芯片冷却装置，包括位于该装置底部且与芯片相匹配的冷却室、存储有冷却液的冷却液池、第一微流道、第一微泵、第二微流道、微喷嘴、第三微流道、第二微泵、第四微流道、冷凝器和微孔；第一微泵的一端通过第一微流道与冷却液池相连通，另一端通过第二微流道与微喷嘴相连通；微喷嘴设于冷却室的上方且与冷却室相连通；第二微泵的一端通过第三微流道与冷却室相连通，另一端通过第四微流道与冷凝器相连通；冷凝器位于冷却液池的上方，冷凝器的内部设有冷凝流道，冷凝流道的顶部设有散热片，冷凝流道与冷却液池通过微孔相连通。本发明体积小、散热效率高，具有很高的可控性和工作柔性，可满足芯片在不同工况下的冷却要求。

公开(公告)号：CN201490185U

公开(公告)日：2010-05-26

申请号：CN200920192484.9

申请日：2009-09-03

Applicant: 浙江大学

Inventor： 应济 ,  李俊 ,  徐亮 ,  林谢昭

IPC: H01L23/473

Abstract: 本实用新型公开了一种芯片冷却装置，包括位于该装置底部且与芯片相匹配的冷却室、存储有冷却液的冷却液池、第一微流道、第一微泵、第二微流道、微喷嘴、第三微流道、第二微泵、第四微流道、冷凝器和微孔；第一微泵的一端通过第一微流道与冷却液池相连通，另一端通过第二微流道与微喷嘴相连通；微喷嘴设于冷却室的上方且与冷却室相连通；第二微泵的一端通过第三微流道与冷却室相连通，另一端通过第四微流道与冷凝器相连通；冷凝器位于冷却液池的上方，冷凝器的内部设有冷凝流道，冷凝流道的顶部设有散热片，冷凝流道与冷却液池通过微孔相连通。本实用新型体积小、散热效率高，具有很高的可控性和工作柔性，可满足芯片在不同工况下的冷却要求。