公开(公告)号：CN101324785B

公开(公告)日：2010-06-09

申请号：CN200810062984.0

申请日：2008-07-17

Applicant: 浙江大学

Inventor： 居冰峰 ,  杨运海 ,  陈烨 ,  高阵雨 ,  朱海科 ,  伏明明

IPC: G05B15/02 ,  C25F3/08

Abstract: 本发明公开了一种用于扫描隧道显微镜的纯钨材质微纳探针制备控制系统。处理器分别与伺服电机驱动器、增量旋转编码器、计算机、AD采集器、电解回路控制模块相连接，伺服电机分别与伺服电机驱动器、增量编码器、钨电极相连接，高速精密电流传感器与AD采集器相连接，电解回路分别与电解回路控制模块、高速精密电流传感器、钨电极相连接。本发明具有高度自动化，用户只需要预先设定好相关参数，剩余的自动完成，包括钨丝的定位，电流的控制，针尖形成点检测及断电等，生产效率、探针品质和探针的成功率都得到很好的保障。

公开(公告)号：CN101324785A

公开(公告)日：2008-12-17

申请号：CN200810062984.0

申请日：2008-07-17

Applicant: 浙江大学

Inventor： 居冰峰 ,  杨运海 ,  陈烨 ,  高阵雨 ,  朱海科 ,  伏明明

IPC: G05B15/02 ,  C25F3/08

Abstract: 本发明公开了一种用于扫描隧道显微镜的纯钨材质微纳探针制备控制系统。处理器分别与伺服电机驱动器、增量旋转编码器、计算机、AD采集器、电解回路控制模块相连接，伺服电机分别与伺服电机驱动器、增量编码器、钨电极相连接，高速精密电流传感器与AD采集器相连接，电解回路分别与电解回路控制模块、高速精密电流传感器、钨电极相连接。本发明具有高度自动化，用户只需要预先设定好相关参数，剩余的自动完成，包括钨丝的定位，电流的控制，针尖形成点检测及断电等，生产效率、探针品质和探针的成功率都得到很好的保障。