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公开(公告)号：CN101324785B
公开(公告)日：2010-06-09
申请号：CN200810062984.0
申请日：2008-07-17
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种用于扫描隧道显微镜的纯钨材质微纳探针制备控制系统。处理器分别与伺服电机驱动器、增量旋转编码器、计算机、AD采集器、电解回路控制模块相连接，伺服电机分别与伺服电机驱动器、增量编码器、钨电极相连接，高速精密电流传感器与AD采集器相连接，电解回路分别与电解回路控制模块、高速精密电流传感器、钨电极相连接。本发明具有高度自动化，用户只需要预先设定好相关参数，剩余的自动完成，包括钨丝的定位，电流的控制，针尖形成点检测及断电等，生产效率、探针品质和探针的成功率都得到很好的保障。
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公开(公告)号：CN101308079B
公开(公告)日：2010-09-08
申请号：CN200810062982.1
申请日：2008-07-17
Applicant: 浙江大学
IPC: G01Q10/00
Abstract: 本发明公开了一种用于扫描探针显微镜的螺旋式扫描方法。旋转空气轴承高速旋转，从旋转编码器获得旋转的角度，气浮导轨沿着待测工件的径向运动，从线性编码器获得气浮导轨的位移，旋转空气轴承和气浮导轨从而构成扫描模块，利用DSP综合控制系统模块驱动SPM测量头获得待测工件表面的高度信息，再利用高速数据采集与处理模块将SPM测量头和扫描模块关联在同一个坐标系中，实现扫描频率和形貌测量速度匹配、极坐标和直角坐标之间的数据快速实时转换，从而实现微纳结构三维形貌的高速、大面积超精密测量。本发明可以实现对微纳结构三维形貌的快速、大面积扫描，进而快速构建微纳结构三维形貌，彻底解决传统SPM测量速度慢、测量范围小等瓶颈问题。
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公开(公告)号：CN101308079A
公开(公告)日：2008-11-19
申请号：CN200810062982.1
申请日：2008-07-17
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种用于扫描探针显微镜的螺旋式扫描方法。旋转空气轴承高速旋转，从旋转编码器获得旋转的角度，气浮导轨沿着待测工件的径向运动，从线性编码器获得气浮导轨的位移，旋转空气轴承和气浮导轨从而构成扫描模块，利用DSP综合控制系统模块驱动SPM测量头获得待测工件表面的高度信息，再利用高速数据采集与处理模块将SPM测量头和扫描模块关联在同一个坐标系中，实现扫描频率和形貌测量速度匹配、极坐标和直角坐标之间的数据快速实时转换，从而实现微纳结构三维形貌的高速、大面积超精密测量。本发明可以实现对微纳结构三维形貌的快速、大面积扫描，进而快速构建微纳结构三维形貌，彻底解决传统SPM测量速度慢、测量范围小等瓶颈问题。
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公开(公告)号：CN101318298A
公开(公告)日：2008-12-10
申请号：CN200810062983.6
申请日：2008-07-17
Applicant: 浙江大学
IPC: B23Q15/013 , G02B3/00
Abstract: 本发明公开了一种在回转件上快速加工出大面积三维微纳结构的方法。具有测力模块的快速刀具伺服控制系统使用压电致动器伺服控制微金刚石刀具的进给运动，具有测力模块的快速刀具伺服控制系统使用微小力传感器检测金刚石刀具尖端与工件表面的接触力和切削力，当切削刀具与工件接触时，压电致动器开始振荡，微小力传感器输出稳定信号，使用PID控制器对微小力传感器输出的信号和输入的切削深度参数进行运算，将运算结果输出到压电致动器控制切削刀具对工件表面进行加工，实现了在回转件的表面快速加工出大面积三维微纳结构。本发明避免了传统的微镜头阵列等三维微纳结构加工方法的小面积和耗时长的缺点，具有高精度、快速、大面积的优点。
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公开(公告)号：CN101324785A
公开(公告)日：2008-12-17
申请号：CN200810062984.0
申请日：2008-07-17
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种用于扫描隧道显微镜的纯钨材质微纳探针制备控制系统。处理器分别与伺服电机驱动器、增量旋转编码器、计算机、AD采集器、电解回路控制模块相连接，伺服电机分别与伺服电机驱动器、增量编码器、钨电极相连接，高速精密电流传感器与AD采集器相连接，电解回路分别与电解回路控制模块、高速精密电流传感器、钨电极相连接。本发明具有高度自动化，用户只需要预先设定好相关参数，剩余的自动完成，包括钨丝的定位，电流的控制，针尖形成点检测及断电等，生产效率、探针品质和探针的成功率都得到很好的保障。
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