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公开(公告)号：CN112272426A
公开(公告)日：2021-01-26
申请号：CN202011162486.0
申请日：2020-10-27
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明涉及一种EUV光源锡靶液滴发生装置。本发明熔池容纳于腔体内，熔池内容纳锡料；向熔池内供给压力气体使腔内压力保持对外部环境的正压；所述的腔体底部设置喷孔，喷孔的直径在1微米至1000微米范围内；所述的微波源设置于腔体内部和熔池外部；所述的激振元件设置在熔池内，用于对喷孔附近的锡料施加振动扰动；在熔池内部设置红外温度传感器监测锡料的温度。具有加热速度快，加热均匀，能耗低的优点；不需要额外配备锡料预熔和输送装置，同时降低了污染锡料的风险；避免了热电偶等传感器在微波环境中可能出现的打火风险；避免微波作用于锡料产生打火现象。
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公开(公告)号：CN113499927A
公开(公告)日：2021-10-15
申请号：CN202110704943.2
申请日：2021-06-24
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种粒径可调的液滴发生系统。本发明包括液滴发生装置、供液排气组件和控制组件；控制组件分别与液滴发生装置和供液排气组件电连接，液滴发生装置通过导管与供液组件相连；控制组件分别控制液滴发生装置和供液排气组件使得液滴发生装置中产生液滴，同时控制组件也监测供液排气组件的运行状态。本发明在激励频率控制和喷射液体压力控制的基础上，无需拆装喷嘴，通过转动喷嘴上的孔板底座，即可改变出液口处的微孔尺寸，能精准实现10μm‑570μm甚至更大范围粒径的液滴产生。
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公开(公告)号：CN112286011A
公开(公告)日：2021-01-29
申请号：CN202011163837.X
申请日：2020-10-27
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明涉及一种EUV光源靶滴发生装置及方法。本发明液滴发生组件、液滴分离组件及液体回收组件；液滴发生组件包括储罐、容腔、加热装置、压力源、激振模块、扰动杆和微孔喷嘴；液滴分离组件包括带孔电极板和偏转电极板；液体回收组件包括集液器。本发明利用瑞利失稳原理产生液滴，并分选出适当尺寸的液滴作为EUV光刻机光源系统激光轰击的靶滴。能够获得极小尺寸的靶滴，提高激光轰击靶滴的能量转化效率；可以使用尺寸较大的射流喷孔，降低制造成本；靶滴材质重复回收利用，提高使用效率，降低成本。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116273535A
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202310273224.9
申请日：2023-03-17
Applicant: 浙江大学
IPC: B05B5/053
Abstract: 本发明公开了一种EUV光源靶滴的运动形态控制存储装置及控制方法。锡靶滴喷射腔体连通液滴存储组件，液滴感应带电组件安装在喷嘴和液滴存储组件的连接处；液滴偏置组件安装在液滴存储组件内。方法包括：通过液滴偏置组件控制装置处于液滴存储模式、液滴使用模式和液滴频率变换模式下，实现带电液滴的存储、使用及频率变换。本发明实现了对靶滴带电后的缓冲与状态调整，实现对靶滴的暂时存取，更加精确地调整液滴的空间位置和运动状态，实现原材料加热期间靶滴的不间断供应及停机后的快速起动。实现液滴频率变换，可满足因低频液滴发生缺陷而实现高频液滴的发生，提高光源能量转换效率和输出功率，降低碎片污染，提高光源系统可靠性。
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公开(公告)号：CN115733384A
公开(公告)日：2023-03-03
申请号：CN202211433326.4
申请日：2022-11-16
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种电场方向可调节式局部电场生成装置。电场发生装置主体安装在位移架上，第一电极板、第二电极板、第三电极板和第四电极板均安装在主体板架内，主体板架安装在位移架上；第一电极板、第二电极板、第三电极板和第四电极板分别电连接外部的双通道直流电压源，双通道直流电压源电连接外部的两个直流连续可调升压模块。本发明装置方便组装移动拆装，局部电场产生电场大小、位置和方向可按实际工程需要灵活调节，可在带电体的运动方向施加电场方向可调节式局部电场，满足在不同时间域内产生不同的局部电场的工作要求且非常易于操作和调整，避免电场发生装置元件对带电体运动造成干涉，并可以实现对带电体的形态速度和位置等的精确控制。
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公开(公告)号：CN114849587A
公开(公告)日：2022-08-05
申请号：CN202210592223.6
申请日：2022-05-27
Applicant: 浙江大学
IPC: B01J2/02
Abstract: 本发明公开了一种基于气流加速的微小液滴发生装置。本发明包括液滴发生机构、气体控制组件、液体控制组件和激励信号发生组件，液滴发生机构分别与气体控制组件、液体控制组件和激励信号发生组件相连；液滴发生机构产生稳定的射流，并最终断裂成小液滴；气体控制组件通过气体压力控制器能调节液滴发生机构中的加速气流压力；液体控制组件通过流量控制器和溢流阀能调节液滴发生机构中的射流流量；激励信号发生组件提供不同频率的正弦波形激励信号改变液滴发生机构中的射流受到的扰动大小。本发明通过气流加速压缩可以使大孔产生相比孔尺寸更小的微小尺寸射流，从而产生微小尺寸的液滴，解决了传统装置使用小孔产生微小尺寸液滴而容易堵塞的问题。
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公开(公告)号：CN113499927B
公开(公告)日：2022-05-03
申请号：CN202110704943.2
申请日：2021-06-24
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种粒径可调的液滴发生系统。本发明包括液滴发生装置、供液排气组件和控制组件；控制组件分别与液滴发生装置和供液排气组件电连接，液滴发生装置通过导管与供液组件相连；控制组件分别控制液滴发生装置和供液排气组件使得液滴发生装置中产生液滴，同时控制组件也监测供液排气组件的运行状态。本发明在激励频率控制和喷射液体压力控制的基础上，无需拆装喷嘴，通过转动喷嘴上的孔板底座，即可改变出液口处的微孔尺寸，能精准实现10μm‑570μm甚至更大范围粒径的液滴产生。
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公开(公告)号：CN112286011B
公开(公告)日：2021-11-23
申请号：CN202011163837.X
申请日：2020-10-27
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明涉及一种EUV光源靶滴发生装置及方法。本发明液滴发生组件、液滴分离组件及液体回收组件；液滴发生组件包括储罐、容腔、加热装置、压力源、激振模块、扰动杆和微孔喷嘴；液滴分离组件包括带孔电极板和偏转电极板；液体回收组件包括集液器。本发明利用瑞利失稳原理产生液滴，并分选出适当尺寸的液滴作为EUV光刻机光源系统激光轰击的靶滴。能够获得极小尺寸的靶滴，提高激光轰击靶滴的能量转化效率；可以使用尺寸较大的射流喷孔，降低制造成本；靶滴材质重复回收利用，提高使用效率，降低成本。
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