一种共焦显微拉曼光谱光学缺陷检测系统

    公开(公告)号:CN114894772A

    公开(公告)日:2022-08-12

    申请号:CN202210517608.6

    申请日:2022-05-13

    Abstract: 本发明公开了一种共焦显微拉曼光谱光学缺陷检测系统,涉及拉曼光谱分析技术领域,通过两种过滤:其一是利用显微共焦技术控制系统的微区扫描位置,并滤除非焦区域的散射光信号;其二是利用拉曼散射光频率改变的性质,滤除强反射光以及背景杂散光。最后通过分析样品不同位置的拉曼光谱变化情况,进而间接实现对表面缺陷的表征。采用了扫描振镜进行光束控制,速度快、控制精度高,解决了大口径光学元件的快速检测问题。

    一种光学表面缺陷检测方法及系统

    公开(公告)号:CN118362581B

    公开(公告)日:2024-09-10

    申请号:CN202410777111.7

    申请日:2024-06-17

    Abstract: 本发明适用于偏振光学检测领域,提供了一种光学表面缺陷检测方法及系统。所述光学表面缺陷检测方法包括如下步骤:获取透射入光学元件表面的偏振态参数;利用所述偏振态参数的斯托克斯矢量计算出光学元件表面的透射穆勒矩阵散射分布曲线;依据所述透射穆勒矩阵散射分布曲线判断光学元件表面是否存在缺陷。本发明以偏振光入射至待测样品表面,通过入射和透射的36种偏振态组合,计算出光学元件待测区域穆勒矩阵,利用穆勒矩阵散射分布曲线实现对光学元件表面缺陷进行检测及分类。该方法检测灵敏度高,能够准确识别元件表面微米缺陷,同时具备出色的定量检测能力,包括缺陷的类别判定和尺寸测量。

    一种人造石材加工过程石料布料均匀性在线检测装置

    公开(公告)号:CN106959146B

    公开(公告)日:2022-11-22

    申请号:CN201610036620.X

    申请日:2016-01-12

    Abstract: 本发明公开了一种人造石材加工过程石料布料均匀性在线检测装置,包括:物料输送装置、重力检测装置、信号收发装置、主控装置、显示装置、标记装置,基于称重传感器,结合板式输送机为装置主体,实现人造石材加工过程石料布料均匀性的快速在线检测。本发明的一种人造石材加工过程石料布料均匀性在线检测装置,对人造石材加工过程压制前的物料布料均匀性进行在线检测,具有实时检测、速度快、准确性高、精度能满足生产要求、显示方式直观、便于观察及时对物料量分布进行调整等优点。

    一种人造石材加工过程石料布料均匀性在线检测装置

    公开(公告)号:CN106959146A

    公开(公告)日:2017-07-18

    申请号:CN201610036620.X

    申请日:2016-01-12

    CPC classification number: G01G3/14

    Abstract: 本发明公开了一种人造石材加工过程石料布料均匀性在线检测装置,包括:物料输送装置、重力检测装置、信号收发装置、主控装置、显示装置、标记装置,基于称重传感器,结合板式输送机为装置主体,实现人造石材加工过程石料布料均匀性的快速在线检测。本发明的一种人造石材加工过程石料布料均匀性在线检测装置,对人造石材加工过程压制前的物料布料均匀性进行在线检测,具有实时检测、速度快、准确性高、精度能满足生产要求、显示方式直观、便于观察及时对物料量分布进行调整等优点。

    一种造纸法再造烟叶涂布均匀性在线检测系统及检测方法

    公开(公告)号:CN105661617B

    公开(公告)日:2017-06-16

    申请号:CN201610001618.9

    申请日:2016-01-05

    Abstract: 本发明公开了一种造纸法再造烟叶涂布均匀性在线检测系统,所述的检测系统包括:近红外光谱检测装置、机械运动扫查装置、再造烟叶传送装置、涂布均匀性智能控制装置和计算机,探测器交错运动获取被测再造烟叶不同位置的光谱数据,结合数据处理和分析算法,实现涂布均匀性的在线快速检测。本发明一种造纸法再造烟叶涂布均匀性在线检测系统,对生产过程中的再造烟叶涂布均匀性进行实时在线检测,检测速度快、精度高;当检测结果不符合均匀性生产要求时会反馈信息,便于对涂布均匀性进行控制,保证造纸法再造烟叶的生产质量,提高生产效率。

    一种再造烟叶涂布率及其均匀性在线检测装置及方法

    公开(公告)号:CN105842191A

    公开(公告)日:2016-08-10

    申请号:CN201610428989.5

    申请日:2016-06-16

    CPC classification number: G01N21/359 G01N5/04 G01N5/045

    Abstract: 本发明公开了一种再造烟叶涂布率及其均匀性在线检测装置及方法,所述的检测装置包括:近红外水分仪检测模块、机械运动扫查装置、再造烟叶薄片传送装置、主控制中心和信号收发装置,采用近红外光谱检测原理,结合数据处理和分析算法,实现涂布率及其均匀性的在线快速检测;本发明一种再造烟叶涂布率及其均匀性在线检测装置及方法,对生产过程中的再造烟叶涂布率及其均匀性进行实时在线检测,当检测结果不符合均匀性生产要求时会反馈信息,便于及时调整控制,检测速度快、精度高,稳定性好,无需重复标定。

    一种光学元件表面微观缺陷检测方法、系统、设备及介质

    公开(公告)号:CN116482123A

    公开(公告)日:2023-07-25

    申请号:CN202310727596.4

    申请日:2023-06-20

    Abstract: 本发明适用于精密光学元件缺陷检测技术,提供了一种光学元件表面微观缺陷检测方法、系统、设备及介质。一种光学元件表面微观缺陷检测方法,所述光学元件表面微观缺陷检测方法包括:获取光学元件表面的空间散射参数;根据所述空间散射参数建构琼斯矩阵,将所述琼斯矩阵转换为穆勒矩阵;根据所述穆勒矩阵判断光学元件表面是否存在缺陷。本发明采用的入射光为偏振光,用琼斯矩阵来描述偏振光,再将琼斯矩阵转换为穆勒矩阵就能表现出散射场的散射分布和偏振状态,对光学元件表面目标的探测和检验更加准确,检测精度可达纳米级别,并且检测范围更广,可以分辨不同种类的缺陷。

    一种光散射角分辨检测分析系统
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN115561220A

    公开(公告)日:2023-01-03

    申请号:CN202210537525.3

    申请日:2022-05-18

    Abstract: 本发明涉及光学元件表面质量检测技术领域,公开了一种光散射角分辨检测分析系统,沿着光线传播的方向依次是光源(1)、传输光纤(2)、光纤准直镜组(3)、第一旋转平台(4)、被测光学元件(5)、第二旋转平台(6)、三维运动控制平台(7)、物镜系统(8)、分光器(9)、二维光电传感器(10)、拉曼光谱仪(11)、数据处理与分析模块(12)、控制器模块(13),本发明采用角分辨散射法对探测器在每个角度位置接收到的散射光强度分布曲线进行分析来实现对元件表面质量的评价。本发明设计成本低,整个算法由精准控制平移角度,数据样本有效率高,分辨率和鲁棒性大大提高,能够实现光学元器件缺陷的快速检测成像。

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