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公开(公告)号：CN119639353A
公开(公告)日：2025-03-18
申请号：CN202411919268.5
申请日：2024-12-25
Applicant: 河北工业大学创新研究院(石家庄) , 河北工业大学
IPC: C09G1/02 , H01L21/768 , B81C1/00 , C23F3/04
Abstract: 本发明为一种用于TSV钛阻挡层的碱性抛光液及其制备方法。该抛光液组成包括如下，硅溶胶：2‑20wt％、络合剂：0.2‑2wt％、氧化剂：0.2‑1.2wt％、抑制剂：0.01‑0.1wt％、表面活性剂：0.01‑0.1wt％、去离子水：余量；碱性抛光液的pH值范围为8.0‑10.0；络合剂采用了有机膦酸类，抑制剂为肟酸类。本发明的抛光液在铜、钛、TEOS抛光速率、选择性和表面质量上均表现出显著的优势。此外，本发明的制备方法简单，适合规模化工业生产的需要，具有重要的实际应用价值。
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公开(公告)号：CN113740391B
公开(公告)日：2023-12-05
申请号：CN202111127151.X
申请日：2021-09-26
Applicant: 河北工业大学
IPC: G01N27/12
Abstract: 本发明为一种MOF衍生的NiO‑Co3O4丙酮气体传感器的制备方法。该方法采用沸石咪唑酯骨架结构材料(ZIF‑67)，通过退火得到纯Co3O4材料，以该材料作为基底材料，利用醋酸镍为复合剂，反应后经过焙烧，涂覆到陶瓷管表面经烤干灯烤干，得到气体传感器。本发明得到的材料粉体具有比表面积大、晶粒分布均匀等特点。所制得的传感器对丙酮具有选择性好，工作温度低，灵敏度高等优点。
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公开(公告)号：CN114506873A
公开(公告)日：2022-05-17
申请号：CN202210041923.6
申请日：2022-01-14
Applicant: 河北工业大学
Abstract: 本发明提供了一种金属有机框架衍生的CuO/ZnO纳米材料及其制备方法与应用，该制备方法包括：(1)将ZIF‑8粉体进行退火处理，得到ZnO粉体；(2)将所述ZnO粉体、硝酸铜和2‑甲基咪唑加入至N,N‑二甲基甲酰胺中混匀后并进行反应，得到铜锌复合材料；(3)对所述铜锌复合材料进行退火处理，得到所述金属有机框架衍生的CuO/ZnO纳米材料。本发明制备得到的CuO/ZnO纳米材料对硫化氢具有优异的灵敏度和选择性，在150℃时对浓度为10ppm的硫化氢的响应灵敏度能达到900，且制备方法简单、周期短、成本低，适用于大批量生产。
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公开(公告)号：CN119797414A
公开(公告)日：2025-04-11
申请号：CN202411943394.4
申请日：2024-12-27
Applicant: 河北工业大学
Abstract: 本发明公开了一种CuO/In2O3二维多孔纳米薄片气敏材料、气敏元件及其应用。以去离子水、乙醇、乙二醇的混合作为溶剂，硝酸铟为前驱体，水热加煅烧处理，获得了二维多孔薄片状氧化铟。然后以氧化铟为基体，表面复合氧化铜纳米颗粒，得到了CuO/In2O3复合气敏材料。该复合气敏材料为二维多孔薄片，二维多孔薄片具有较大的有效表面积，多孔结构提供了快速、连续的电荷传输通道和气体扩散通道，且CuO为酸性H2S气体的吸附提供了碱性位点，使得CuO/In2O3的气体传感器对H2S气体在室温下具有高灵敏度、高选择性、快响应和低检测限。本发明制备的CuO/In2O3复合气敏材料，在检测H2S气体方面具有广阔的应用前景，且其合成工艺精简，合成时间短，成本低，适于大批量生产。
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公开(公告)号：CN115290707A
公开(公告)日：2022-11-04
申请号：CN202210914348.6
申请日：2022-08-01
Applicant: 河北工业大学
Abstract: 本发明为一种Au负载锌锡氧化物复合材料三乙胺气体传感器的制备方法。该方法首先通过一步水热法制备基底材料Zn2SnO4/SnO2/ZnO，成功构筑异质结构；在此基底材料基础上，通过浸渍法负载Au纳米颗粒。在负载的工艺中，硼氢化钠能够将金还原，使Au纳米颗粒成功的附着在该材料表面，形成肖特基接触。本发明得到的元件克服了现有器件工作温度高，灵敏度低，响应/恢复时间长，检测下限高，选择性差等问题，实现了在较低工作温度下对三乙胺的快速响应。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115290707B
公开(公告)日：2025-02-07
申请号：CN202210914348.6
申请日：2022-08-01
Applicant: 河北工业大学
Abstract: 本发明为一种Au负载锌锡氧化物复合材料三乙胺气体传感器的制备方法。该方法首先通过一步水热法制备基底材料Zn2SnO4/SnO2/ZnO，成功构筑异质结构；在此基底材料基础上，通过浸渍法负载Au纳米颗粒。在负载的工艺中，硼氢化钠能够将金还原，使Au纳米颗粒成功的附着在该材料表面，形成肖特基接触。本发明得到的元件克服了现有器件工作温度高，灵敏度低，响应/恢复时间长，检测下限高，选择性差等问题，实现了在较低工作温度下对三乙胺的快速响应。
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公开(公告)号：CN114506873B
公开(公告)日：2024-01-16
申请号：CN202210041923.6
申请日：2022-01-14
Applicant: 河北工业大学
Abstract: 本发明提供了一种金属有机框架衍生的CuO/ZnO纳米材料及其制备方法与应用，该制备方法包括：(1)将ZIF‑8粉体进行退火处理，得到ZnO粉体；(2)将所述ZnO粉体、硝酸铜和2‑甲基咪唑加入至N,N‑二甲基甲酰胺中混匀后并进行反应，得到铜锌复合材料；(3)对所述铜锌复合材料进行退火处理，得到所述金属有机框架衍生的CuO/ZnO纳米材料。本发明制备得到的CuO/ZnO纳米材料对硫化氢具有优异的灵敏度和选择性，在150℃时对浓度为10ppm的硫化氢的响应灵敏度能达到900，且制备方法简单、周期短、成本低，适用于大批量生产。
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公开(公告)号：CN115326888A
公开(公告)日：2022-11-11
申请号：CN202210915725.8
申请日：2022-08-01
Applicant: 河北工业大学
Abstract: 本发明为一种液相合成的正丁醇气体传感器的制备方法。该方法采用简便的一步水热法，利用柠檬酸根离子同时起到络合剂和还原剂的作用，再通过氯金酸的加入，提供Au源，生成纳米Au颗粒，进而纳米颗粒会附着在结晶的LaFeO3晶体表面，抑制晶核进一步的生长从而使得LaFeO3发育成核壳结构，并退火。通过控制负载比例、反应温度、退火温度、搅拌速率等参数，在核壳结构的多孔LaFeO3表面负载了0价态的Au纳米粒子，形成肖特基结，得到Au‑LaFeO3复合材料，经涂覆后制得气敏元件。本发明克服了现有器件选择性差、工作温度高等问题，提高了对正丁醇的灵敏度，检测下限达到500ppb，长期稳定性和重复性良好。
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公开(公告)号：CN118852991A
公开(公告)日：2024-10-29
申请号：CN202411018919.3
申请日：2024-07-29
Applicant: 河北工业大学
Abstract: 本发明公开了一种光催化辅助化学机械抛光液及其制备方法和应用。该化学机械抛光液由磨料、氧化剂、表面活性剂、pH调节剂和去离子水组成。该制备方法包括以下步骤：S1、在搅拌的条件下，将磨料、氧化剂和表面活性剂加入到去离子水中，搅拌均匀后，制得混合液；S2、在搅拌的条件下，将pH调节剂加入到混合液中，搅拌均匀后，得到pH为8～11.5的化学机械抛光液。所述光催化辅助化学机械抛光液的应用，将该化学机械抛光液与光源配合，用于化学机械抛光的精抛过程。本发明研制的化学机械抛光液极大地提高了化学机械抛光效率，能够获得高效低损伤、光滑平坦化的抛光材料表面。本发明采用二氧化铈作为化学机械抛光的磨料。
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