公开(公告)号：CN118971824A

公开(公告)日：2024-11-15

申请号：CN202310544439.X

申请日：2023-05-15

Applicant: 江苏鲁汶仪器股份有限公司

Inventor： 晁洁方 ,  刘小波 ,  王想 ,  李晓磊 ,  谢丹 ,  王智超 ,  苏炜 ,  胡冬冬 ,  许开东

IPC: H03H7/01 ,  H05B1/00

Abstract: 本申请公开了一种射频滤波装置及射频连接装置，射频滤波装置包括：射频滤波器、第一阻抗元件和第二阻抗元件；射频滤波器包括第一电感和第二电感，第一电感和第二电感为共模电感；第一电感的第一端通过第一导线连接第一加热丝的第一端；第二电感的第一端通过第二导线连接第一加热丝的第二端；第一电感的第二端和第二电感的第二端用于连接加热电源；第一阻抗元件，用于调节第一导线的阻抗；第二阻抗元件，用于调节第二导线的阻抗。可以通过第一阻抗元件和第二阻抗元件调节射频电流从加热丝至射频滤波器的输入端所产生的压降，从而使得射频滤波器的多个输入端之间的电压和相位一致，射频滤波器可以阻挡射频功率损耗。

公开(公告)号：CN118280798A

公开(公告)日：2024-07-02

申请号：CN202211727242.1

申请日：2022-12-30

Applicant: 江苏鲁汶仪器股份有限公司

Inventor： 王想 ,  刘小波 ,  王智超 ,  晁洁方 ,  窦阳 ,  胡冬冬 ,  陈璐 ,  许开东

IPC: H01J37/317 ,  H01J37/32

Abstract: 本发明提供了一种离子束刻蚀的均匀性调节装置及方法，通过均匀性调节电容组件和安装在放电腔预设位置上的均匀性调节线圈组件，实现对均匀性调节线圈组件中平面线圈和/或筒形线圈上功率的调节，最终实现对所述放电腔内等离子体密度分布的调节，并且还可以对平面线圈和/或筒形线圈在安装位置上的排布进一步优化(例如使平面线圈和/或筒形线圈呈非中心对称性排布或呈中心对称性排布)，还可以进一步精确的对所述放电腔内等离子体密度分布进行再次优化调节，以达到放电腔内预期的等离子体密度分布，从而实现离子束蚀刻的均匀性调节。

公开(公告)号：CN118039439A

公开(公告)日：2024-05-14

申请号：CN202211372007.7

申请日：2022-11-03

Applicant: 江苏鲁汶仪器股份有限公司

Inventor： 王想 ,  刘小波 ,  李晓磊 ,  王智超 ,  晁洁方 ,  胡冬冬 ,  陈璐 ,  许开东

IPC: H01J37/32 ,  H01J37/08

Abstract: 本申请公开了一种射频中和器及启辉方法；射频中和器包括：匹配器、放电腔、射频线圈、第一射频电容和开关电路；射频线圈绕在放电腔外，射频线圈用于通过匹配器连接射频电源；匹配器包括串联的电感和电容；开关电路包括至少一个开关；开关电路中的所有开关的第一端均通过第一射频电容连接放电腔内的阴极，开关电路中的所有开关的第二端连接匹配器；射频中和器启辉时，至少一个开关闭合；射频中和器启辉完成，开关电路中的所有开关断开。本申请在不升高启辉功率和放电腔的腔体压力情况下，能够解决感应耦合的射频中和器启辉困难的问题，提高了射频中和器的效率。