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公开(公告)号：CN111524831A
公开(公告)日：2020-08-11
申请号：CN202010331491.3
申请日：2020-04-24
Applicant: 江苏芯梦半导体设备有限公司
IPC: H01L21/67 , H01L21/677 , B08B13/00
Abstract: 本发明揭示了一种清洗机花篮运送机构，包括一个用于承载待清洗晶圆片的花篮以及一个用于带动花篮进行圆周方向摆动的驱动组件，还包括用于限制花篮垂直方向行程的垂直限位组件以及用于限制花篮水平方向行程的水平限位组件，水平限位组件与垂直限位组件二者活动连接、花篮与垂直限位组件二者活动连接；在水平限位组件与垂直限位组件二者的配合作用下，花篮在圆周方向的摆动被分解和转化为在水平、垂直两个方向上的移动。本发明通过增加水平和垂直两个方向上的机械限位结构，将摆臂摆动过程中花篮的圆弧运动转化为两个方向上的直线运动，从而改进了机构整体的机械关系，显著地提升了机构使用的稳定性。
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公开(公告)号：CN111508873A
公开(公告)日：2020-08-07
申请号：CN202010332033.1
申请日：2020-04-24
Applicant: 江苏芯梦半导体设备有限公司
IPC: H01L21/67
Abstract: 本发明揭示了一种晶圆片腐蚀清洗笼，包括笼体框架及驱动组件两部分组成；笼体框架由多块晶圆片隔板及多根开齿连接轴组成，多块晶圆片隔板上均开设有一条相同的滑动限位槽，多块晶圆片隔板间平行设置并连接形成一个整体，其中一根开齿连接轴可活动地按序依次穿设于多块晶圆片隔板上的滑动限位槽内；驱动组件包括至少一组传动齿轮组，每组传动齿轮组均包括一个主动齿轮及多个从动齿轮，每个从动齿轮均固定设置于一根开齿连接轴的端部，主动齿轮与从动齿轮间啮合传动。本发明通过带动晶圆片整体旋转的方式，完成了对晶圆片的腐蚀清洗，整个操作过程中晶圆片与药液接触充分，产品腐蚀均匀，有效避免了产品的二次返工、提升了产品的良率。
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公开(公告)号：CN111403322B
公开(公告)日：2022-04-15
申请号：CN202010331526.3
申请日：2020-04-24
Applicant: 江苏芯梦半导体设备有限公司
IPC: H01L21/67
Abstract: 本发明揭示了一种晶圆片剥离装置，与外部设备框架固定连接，包括整体可活动地设置于外部设备框架上、用于完成晶圆片剥离操作的剥离执行机构以及整体固定连接于外部设备框架上、用于完成晶圆片输送的传输执行机构；剥离执行机构内包括晶圆片吸取组件以及晶圆片翻转组件；在晶圆片吸取组件及晶圆片翻转组件的配合运作下，外部晶圆片承托机构上所承载的晶圆片被逐一剥离、移动至传输执行机构上。本发明通过机械化、自动化的方式，完成了晶圆片加工过程中的晶圆片剥离下料，在满足操作要求的同时提升了操作的效率、节约了人力资源、减轻了加工企业的负担。
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公开(公告)号：CN111524831B
公开(公告)日：2022-04-15
申请号：CN202010331491.3
申请日：2020-04-24
Applicant: 江苏芯梦半导体设备有限公司
IPC: H01L21/67 , H01L21/677 , B08B13/00
Abstract: 本发明揭示了一种清洗机花篮运送机构，包括一个用于承载待清洗晶圆片的花篮以及一个用于带动花篮进行圆周方向摆动的驱动组件，还包括用于限制花篮垂直方向行程的垂直限位组件以及用于限制花篮水平方向行程的水平限位组件，水平限位组件与垂直限位组件二者活动连接、花篮与垂直限位组件二者活动连接；在水平限位组件与垂直限位组件二者的配合作用下，花篮在圆周方向的摆动被分解和转化为在水平、垂直两个方向上的移动。本发明通过增加水平和垂直两个方向上的机械限位结构，将摆臂摆动过程中花篮的圆弧运动转化为两个方向上的直线运动，从而改进了机构整体的机械关系，显著地提升了机构使用的稳定性。
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公开(公告)号：CN111403322A
公开(公告)日：2020-07-10
申请号：CN202010331526.3
申请日：2020-04-24
Applicant: 江苏芯梦半导体设备有限公司
IPC: H01L21/67
Abstract: 本发明揭示了一种晶圆片剥离装置，与外部设备框架固定连接，包括整体可活动地设置于外部设备框架上、用于完成晶圆片剥离操作的剥离执行机构以及整体固定连接于外部设备框架上、用于完成晶圆片输送的传输执行机构；剥离执行机构内包括晶圆片吸取组件以及晶圆片翻转组件；在晶圆片吸取组件及晶圆片翻转组件的配合运作下，外部晶圆片承托机构上所承载的晶圆片被逐一剥离、移动至传输执行机构上。本发明通过机械化、自动化的方式，完成了晶圆片加工过程中的晶圆片剥离下料，在满足操作要求的同时提升了操作的效率、节约了人力资源、减轻了加工企业的负担。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN214168179U
公开(公告)日：2021-09-10
申请号：CN202023284771.8
申请日：2020-12-30
Applicant: 江苏芯梦半导体设备有限公司
Abstract: 本实用新型揭示了一种TSV电镀设备真空槽装置，包括槽体、第一管路、第二管路，槽体一侧设有真空泵、储液罐，第一管路两端分别与真空泵、槽体连接，第二管路一端伸入储液罐中，第二管路另一端伸入槽体，储液罐一侧设有压力机构，压力机构与储液罐通过第三管路连接；槽体内设有料架，槽体外侧设有旋转动力机构，旋转动力机构通过传动机构与料架传动连接。本实用新型可以通过旋转料架使半导体工件呈倾斜状，然后由槽体底部导入电镀液，电镀液液位上升过程中慢慢浸没半导体工件，半导体工件上的孔洞倾斜，电镀液可以平滑的进入孔洞中，防止残留气泡，同时，通过真空泵抽取槽体内空气，使槽体内气压降低，电镀液更容易进入槽体中，也更容易填满孔洞。
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公开(公告)号：CN212733309U
公开(公告)日：2021-03-19
申请号：CN202020636079.8
申请日：2020-04-24
Applicant: 江苏芯梦半导体设备有限公司
Abstract: 本实用新型揭示了一种硅芯料棒定位夹持机构，包括一根用于构成机构主体的支撑圆管以及至少两个嵌套设置于支撑圆管外周、用于完成对硅芯料棒定位夹持的固定组件；多个固定组件间平行且对称设置；每个固定组件均包括一块卡板主体以及多块可活动地设置于卡板主体周围的活动卡板，卡板主体与活动卡板的边沿位置均开设有卡齿，卡板主体与活动卡板二者上的卡齿成对设置，每对卡齿相咬合形成一个闭合的料棒卡槽，在硅芯料棒的定位夹持状态下、硅芯料棒被限位于料棒卡槽中。本实用新型以间隔式、卡扣式的形式完成了对硅芯料棒的夹持固定，保证了每根硅芯料棒均能够与药液充分接触、腐蚀均匀，有效地提升了加工的良率。
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公开(公告)号：CN210546660U
公开(公告)日：2020-05-19
申请号：CN201921596128.3
申请日：2019-09-24
Applicant: 江苏芯梦半导体设备有限公司
Abstract: 本实用新型揭示了一种全自动立式钟罩清洗机，包括机壳，机壳中形成有清洗腔室，机壳中设有上喷淋机构、下喷淋机构，上喷淋机构包括气缸、上夹板、喷淋管，上夹板内部形成有第一混合腔，第一进液管、第一进气管与第一混合腔联通，下喷淋机构包括下夹板和喷淋座，下夹板内部形成有第二混合腔，第二进液管、第二进气管与第二混合腔联通。本实用新型在清洗时通过上、下夹板夹持扁平式钟罩，通过第一、二密封圈密封，喷淋管、喷淋座伸入扁平式钟罩内部喷洗并通过排废管路排废，有效将金层与酸液隔开，金层不易损坏，同时，清洗过程无需手工操作，安全性强，上、下喷淋机构以二流体形式进行酸喷洗、水喷洗，喷洗均匀且范围大、距离远，清洗品质高。
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公开(公告)号：CN210546830U
公开(公告)日：2020-05-19
申请号：CN201921594959.7
申请日：2019-09-24
Applicant: 江苏芯梦半导体设备有限公司
Abstract: 本实用新型揭示了一种全自动立式石英管清洗机，包括机壳，机壳中形成有容纳石英管的腔室，腔室中设有转盘以及位于转盘下方的底座，机壳上还固定设有电机。本实用新型的转盘和电机通过齿轮组传动，运行顺畅、平稳，通过定位块定位石英管底部，可以防止石英管在随转盘转动过程中大幅晃动，甚至倾倒，通过限位块与转盘底部凸缘配合，转盘转动过程中不易晃动，通过推力球轴承承托、抬高转盘，转盘转动摩擦力小，喷淋管在喷射酸液或水或气体时，在喷射推力下与石英管反向旋转，能够均匀喷洒在石英管表面上，喷淋座的混合腔、第一孔路、第二孔路设计，使得酸液、水能够与高压气体混合为二流体，高压雾化喷洗，喷射距离长、范围大，清洗效果好。
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公开(公告)号：CN210325747U
公开(公告)日：2020-04-14
申请号：CN201921594975.6
申请日：2019-09-24
Applicant: 江苏芯梦半导体设备有限公司
Abstract: 本实用新型揭示了一种晶圆化镀设备多功能机械手，包括升降机构、抓取动力机构、两根相互平行设置的横杆、在横杆上成对设置的抓钩，升降机构包括电机、丝杠、立管，抓取动力机构包括底座，横杆的后端可旋转的穿设在底座上，横杆的后端上固定连接有转动块，转动块上设有连接柱，两转动块上的连接柱之间设有拉力弹簧，底座上设有气缸、梯形块，还包括防撞保护机构、抓取检测机构。本实用新型的升降机构、抓取动力机构结构紧凑，需要占用的安装位置小，丝杠穿设在立管内部，提高了机械手整体的强度，设有防撞保护机构，可以减少机械手运行过程之中碰撞事故的发生概率，设有抓取检测机构，能够减少重复抓取物料或漏抓物料造成的损失。
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