公开(公告)号：CN210546660U

公开(公告)日：2020-05-19

申请号：CN201921596128.3

申请日：2019-09-24

Applicant: 江苏芯梦半导体设备有限公司

Inventor： 何婷婷 ,  陈素荣 ,  王福亮 ,  何虎 ,  赵芹 ,  陈利锋

IPC: B08B3/02 ,  B08B3/08 ,  B08B13/00

Abstract: 本实用新型揭示了一种全自动立式钟罩清洗机，包括机壳，机壳中形成有清洗腔室，机壳中设有上喷淋机构、下喷淋机构，上喷淋机构包括气缸、上夹板、喷淋管，上夹板内部形成有第一混合腔，第一进液管、第一进气管与第一混合腔联通，下喷淋机构包括下夹板和喷淋座，下夹板内部形成有第二混合腔，第二进液管、第二进气管与第二混合腔联通。本实用新型在清洗时通过上、下夹板夹持扁平式钟罩，通过第一、二密封圈密封，喷淋管、喷淋座伸入扁平式钟罩内部喷洗并通过排废管路排废，有效将金层与酸液隔开，金层不易损坏，同时，清洗过程无需手工操作，安全性强，上、下喷淋机构以二流体形式进行酸喷洗、水喷洗，喷洗均匀且范围大、距离远，清洗品质高。

公开(公告)号：CN210325718U

公开(公告)日：2020-04-14

申请号：CN201921594983.0

申请日：2019-09-24

Applicant: 江苏芯梦半导体设备有限公司

Inventor： 陈利锋 ,  陈素荣 ,  何婷婷 ,  王福亮 ,  何虎 ,  赵芹

IPC: H01L21/67

Abstract: 本实用新型揭示了一种晶圆化镀设备快排清洗槽装置，包括槽体和设置在槽体底部的溢流机构，溢流机构包括竖直设置的进水管和水平设置在进水管顶端的分布头，进水管的底端内壁上凸起设有台面，分布头包括圆弧板、连接座、导流板、分流柱、侧挡板，圆弧板上沿周向间隔均匀设有多排溢流孔，多排溢流孔孔径由圆弧板顶部向两侧底部逐渐加大，分流柱与连接座固定连接且贯穿分布空间设置，分流柱底面为圆弧面，圆弧面轴线垂直于圆弧板和进水管的轴线。本实用新型进水管从分布头中部进水，进水管底端管径小于顶端管径，分布空间中间大两头小的空间构造，圆弧板上溢流孔的孔径变化设计，以及分流柱结构，使得各个溢流孔喷出的水流均匀，清洗效果好。

公开(公告)号：CN210546830U

公开(公告)日：2020-05-19

申请号：CN201921594959.7

申请日：2019-09-24

Applicant: 江苏芯梦半导体设备有限公司

Inventor： 王福亮 ,  何虎 ,  赵芹 ,  陈利锋 ,  陈素荣 ,  何婷婷

IPC: B08B9/032 ,  B08B13/00

Abstract: 本实用新型揭示了一种全自动立式石英管清洗机，包括机壳，机壳中形成有容纳石英管的腔室，腔室中设有转盘以及位于转盘下方的底座，机壳上还固定设有电机。本实用新型的转盘和电机通过齿轮组传动，运行顺畅、平稳，通过定位块定位石英管底部，可以防止石英管在随转盘转动过程中大幅晃动，甚至倾倒，通过限位块与转盘底部凸缘配合，转盘转动过程中不易晃动，通过推力球轴承承托、抬高转盘，转盘转动摩擦力小，喷淋管在喷射酸液或水或气体时，在喷射推力下与石英管反向旋转，能够均匀喷洒在石英管表面上，喷淋座的混合腔、第一孔路、第二孔路设计，使得酸液、水能够与高压气体混合为二流体，高压雾化喷洗，喷射距离长、范围大，清洗效果好。

公开(公告)号：CN210325747U

公开(公告)日：2020-04-14

申请号：CN201921594975.6

申请日：2019-09-24

Applicant: 江苏芯梦半导体设备有限公司

Inventor： 陈素荣 ,  何婷婷 ,  王福亮 ,  何虎 ,  赵芹 ,  陈利锋

IPC: H01L21/687 ,  H01L21/67 ,  B25J9/12 ,  B25J15/02 ,  B25J15/00 ,  B25J19/00

Abstract: 本实用新型揭示了一种晶圆化镀设备多功能机械手，包括升降机构、抓取动力机构、两根相互平行设置的横杆、在横杆上成对设置的抓钩，升降机构包括电机、丝杠、立管，抓取动力机构包括底座，横杆的后端可旋转的穿设在底座上，横杆的后端上固定连接有转动块，转动块上设有连接柱，两转动块上的连接柱之间设有拉力弹簧，底座上设有气缸、梯形块，还包括防撞保护机构、抓取检测机构。本实用新型的升降机构、抓取动力机构结构紧凑，需要占用的安装位置小，丝杠穿设在立管内部，提高了机械手整体的强度，设有防撞保护机构，可以减少机械手运行过程之中碰撞事故的发生概率，设有抓取检测机构，能够减少重复抓取物料或漏抓物料造成的损失。

公开(公告)号：CN210566232U

公开(公告)日：2020-05-19

申请号：CN201921596150.8

申请日：2019-09-24

Applicant: 江苏芯梦半导体设备有限公司

Inventor： 赵芹 ,  陈利锋 ,  陈素荣 ,  何婷婷 ,  王福亮 ,  何虎

IPC: F16J15/16

Abstract: 本实用新型揭示了一种晶圆蚀刻设备移动机构密封装置，包括至少两块挡片，挡片相互层叠设置，位于最内层的挡片与晶圆蚀刻设备的机壳外壁固定连接，每块挡片上均设有条形孔，最内层挡片上的条形孔长度不小于升降杆的移动距离，最外层挡片上的条形孔与升降杆的形状适应设置，各层挡片的长度以及挡片上条形孔的长度在由内至外的方向上依次递减，以使随升降杆上下移动的过程中外层挡片始终完全遮挡相邻内层挡片上的条形孔，最内层的挡片底部还固定设有承托片；除最内层挡片外的所有挡片内侧面上均沿边缘设有磁条，以使相邻的挡片紧贴吸合。本实用新型结构简单，制造成本低，具有占用空间小，无易损件，使用寿命长，运行平稳，安装方便的优点。