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公开(公告)号：CN116487467A
公开(公告)日：2023-07-25
申请号：CN202310479723.3
申请日：2023-04-28
Applicant: 江苏大学
IPC: H01L31/109 , H01L31/0336 , H01L31/0224 , H01L31/18
Abstract: 本发明提供了一种硅基铁电异质结光电探测器及其制备方法和应用，属于信息技术领域；本发明通过在Si硅衬底表面上制备铁电薄膜材料，然后在Si硅衬底和铁电薄膜材料上沉积薄金属电极来构建硅基铁电异质结光电探测器；所述硅基铁电异质结光电探测器能够实现紫外‑可见‑近红外宽光谱和波长可选择光探测的目的，其在300‑900nm宽光谱和300‑340nm紫外/380‑900nm可见光‑近红外波长下均可进行可选择光探测，具有很强的工业实用性。
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