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公开(公告)号：CN110031741A
公开(公告)日：2019-07-19
申请号：CN201910445634.0
申请日：2019-05-27
Applicant: 江南大学
IPC: G01R31/26
Abstract: 本发明公开了一种基于LabVIEW的半导体器件的阶梯脉冲测试方法，属于半导体器件测试领域。该方法应用于半导体器件阶梯脉冲测试系统该，包括：在上位机上安装LabVIEW、NI VISA及基于LabVIEW的用于控制Keithley 2461数字源表的上位机软件；将待测半导体器件放置在探针台底座，探针与待测半导体器件连接；在上位机上一次性设置所有脉冲源相关参数和相关功能；触发运行按键，所述半导体器件阶梯脉冲测试系统运行，软件前面板的数据输出区域显示扫描结果数据；简化了仪器操作，令数据分析更加便捷有效，克服了传统脉冲测试的易用性低、速度慢、效率低的缺点。
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