公开(公告)号：CN118392951A

公开(公告)日：2024-07-26

申请号：CN202410466788.9

申请日：2024-04-18

Applicant: 江南大学

Inventor： 李莹莹 ,  李杨 ,  钮蔓萱 ,  黄韧频 ,  邵波 ,  李淼涛 ,  刘彭博 ,  敖金平 ,  王霄 ,  陈治伟

IPC: G01N27/22 ,  G01N27/02

Abstract: 本发明公开了一种MEMS高灵敏度湿度传感器及其制备方法，属于MEMS传感器技术领域。本发明的高灵敏度湿度传感器，在两块衬底上刻蚀形成凹槽，分别在两个凹槽内设置立体螺旋线圈电感和平面螺旋电感，并分别填充体积随湿度增加而增大的湿敏材料和介电常数随湿度增加而增大的湿敏材料，当湿度变化时，立体螺旋线圈电感的电感值和等效电容的电容值，且电容值变化量比传统方式更高，因此，当湿度变化量相同时，本发明湿度传感器的谐振点具有更大的偏移量，在很大程度上提高了湿度传感器的灵敏度。