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公开(公告)号：CN110513395A
公开(公告)日：2019-11-29
申请号：CN201910795841.9
申请日：2019-08-27
Applicant: 武汉科技大学
Abstract: 一种狭缝节流式主动气浮支承装置，包括：气浮支承本体，包括相连通的进气口和腔室，该腔室位于所述气浮支承本体的上端部分和中段部分，所述气浮支承本体下端部分具有狭缝式阻尼腔，所述中段部分的底部具有延伸到所述狭缝式阻尼腔内的延伸部，所述腔室通过所述延伸部内的节流孔与所述狭缝式阻尼腔连通，所述延伸部包括调节所述节流孔的出气口相对于其下方基座之间距离的压电陶瓷作动器；位移传感器，用于检测所述气浮支承本体相对于气浮支承方向的位置变化值；控制单元，连接所述位移传感器、所述检测单元和所述压电陶瓷作动器。本公开利用压电控制系统驱动压电陶瓷，改变气浮支承的节流高度，显著提高了气浮支承的承载能力和静刚度。
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公开(公告)号：CN110578750A
公开(公告)日：2019-12-17
申请号：CN201810583779.2
申请日：2018-06-08
Applicant: 武汉科技大学
IPC: F16C32/06
Abstract: 本发明公开了一种复合节流主动调控的气浮轴承装置，包括气浮轴承本体和复合节流控制单元，其中气浮轴承本体由上本体、中本体和下本体三部分构成，复合节流控制单元主要由位移传感器、控制单元、驱动单元和检测单元四部分组成，控制单元根据检测单元和位移传感器的信号生成控制信号，驱动单元依据控制信号产生伸缩运动，动态调节气浮轴承复合节流的节流高度和节流面积，达到改变气膜间隙压强分布的目的，从而提高气浮轴承承载力和动刚度特性。本发明不仅可以有效抑制气浮轴承的微幅振动，而且可以显著提高气浮轴承承载力和动刚度等动力学特性，实现气浮轴承的高稳定性；此外，按照本发明的主动式气浮轴承具有结构紧凑，易于控制和高精度等优点，因此尤其适用于超精密制造和微电子制造等领域。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108744477B
公开(公告)日：2024-01-09
申请号：CN201810588776.8
申请日：2018-06-08
Applicant: 武汉科技大学
Abstract: 本发明涉及一种公路漂移板。其技术方案是：支架（2）的前部和后部对应地装有前轮组（5）和后轮组（4），踏板（1）和减振片（3）通过螺栓由上往下依次固定在支架（2）的上平面。所述踏板1）的中心位置处相互平行的开有2排安装孔11），4个安装孔（11）以踏板（1）的形心为中心对称设置，每排安装孔（11）的孔心连线与矩形板的中心线的夹角α＝14～16°。所述支架（2）是由平板和平板两侧对称地侧板组成的整体，侧板下端开有三组轴孔；支架（2）的平板开有三组通孔13），与踏板（1）中的四个安装孔（11）能同时对应连接的四个通孔为同一组。本发明具有使用寿命长、性能稳定、续航能力强和体力消耗小的特点。
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公开(公告)号：CN110925308A
公开(公告)日：2020-03-27
申请号：CN201811094713.3
申请日：2018-09-19
Applicant: 武汉科技大学
IPC: F16C32/06
Abstract: 本发明公开了一种气膜形状可变的主动气浮轴承装置，包括气浮轴承本体和压力控制单元，其中气浮轴承本体主要由上本体和下本体两部分组成，压力控制单元主要由作动单元和检测单元两部分组成，作动单元根据检测单元的检测的压力信号生成控制信号改变腔室内的压力，柔性铰链结构在上下压力差作用下变形改变气浮轴承气膜形状，达到控制气膜间隙压强分布的目的，从而改善气浮轴承动力学特性。本发明不仅可以显著改善气浮轴承动力学特性，而且可以有效衰减气浮轴承的微振动，实现气浮轴承的高稳定性；此外，按照本发明的气膜形状可变的主动气浮轴承具有高稳定性和高精度等优点，因此尤其适用于半导体设备和微/纳机电系统等领域。
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公开(公告)号：CN108744477A
公开(公告)日：2018-11-06
申请号：CN201810588776.8
申请日：2018-06-08
Applicant: 武汉科技大学
CPC classification number: A63C17/01 , A63C17/0006 , A63C17/006 , A63C17/016 , A63C17/26
Abstract: 本发明涉及一种公路漂移板。其技术方案是：支架2的前部和后部对应地装有前轮组5和后轮组4，踏板1和减振片3通过螺栓由上往下依次固定在支架2的上平面。所述踏板1的中心位置处相互平行的开有2排安装孔11，4个安装孔11以踏板1的形心为中心对称设置，每排安装孔11的孔心连线与矩形板的中心线的夹角α＝14～16°。所述支架2是由平板和平板两侧对称地侧板组成的整体，侧板下端开有三组轴孔；支架2的平板开有三组通孔13，与踏板1中的四个安装孔11能同时对应连接的四个通孔为同一组。本发明具有使用寿命长、性能稳定、续航能力强和体力消耗小的特点。
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公开(公告)号：CN208340074U
公开(公告)日：2019-01-08
申请号：CN201820888083.6
申请日：2018-06-08
Applicant: 武汉科技大学
IPC: A63C17/06
Abstract: 本实用新型涉及一种续航能力强的公路漂移板。其技术方案是：支架（2）的前部和后部对应地装有前轮组（5）和后轮组（4），踏板（1）和减振片（3）通过螺栓由上往下依次固定在支架（2）的上平面。所述踏板（1）的中心位置处相互平行的开有2排安装孔（11），4个安装孔（11）以踏板（1）的形心为中心对称设置，每排安装孔（11）的孔心连线与矩形板的中心线的夹角α＝14～16°。所述支架（2）是由平板和平板两侧对称地侧板组成的整体，侧板下端开有三组轴孔；支架（2）的平板开有三组通孔（13），与踏板（1）中的四个安装孔（11）能同时对应连接的四个通孔为同一组。本实用新型具有使用寿命长、性能稳定、续航能力强和体力消耗小的特点。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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