卷到卷系统的基板张力和横向偏移状态反馈解耦控制方法

    公开(公告)号:CN112947085A

    公开(公告)日:2021-06-11

    申请号:CN202110185143.4

    申请日:2021-02-10

    Abstract: 本发明提供了卷到卷系统的基板张力和横向偏移状态反馈解耦控制方法,首先通过基板动力学的分析,建立包含基板张力、速度和横向偏移的非线性多变量耦合模型。然后,将非线性模型基于稳态工作点做线性化处理。进一步,基于状态反馈解耦方法设计解耦控制律,对线性化模型进行解耦。最后,为保证解耦后控制系统的动态性能,应用ITAE最优极点配置方法对解耦控制律进行优化。实现了卷到卷系统中基板张力和横向偏移的动态解耦,且张力和横向偏移能达到期望的动态特性。

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