一种高灵敏性的光学温度传感材料及其制备方法和应用

    公开(公告)号:CN117567034B

    公开(公告)日:2024-04-23

    申请号:CN202410061816.9

    申请日:2024-01-16

    Abstract: 本发明涉及玻璃合成技术领域,具体涉及一种高灵敏性的光学温度传感材料及其制备方法和应用。该光学温度传感材料由La2O3、TiO2、Ga2O3、ZrO2、Er2O3、Yb2O3按照物质的量之比(12~14):(60~70):(13~17):(3~7):0.5:(2~4)组成。该材料具有非常高的折射率、良好的透过率、极佳的热稳定性和良好的机械性能,是一种理想的上转换发光玻璃材料。通过表征样品的光学温度传感特性,该重金属氧化物玻璃具有宽测温范围、高灵敏性;通过强磁场实验,证明了其具有非常优异的抗干扰性能,材料的灵敏度分别为1.2%(样品厚度:1.0mm)和2.4%(样品厚度:0.5mm),高于目前大部分荧光测温材料,是一种可用于航空航天等极端条件,且灵敏度高的光学温度传感材料。

    一种高灵敏性的光学温度传感材料及其制备方法和应用

    公开(公告)号:CN117567034A

    公开(公告)日:2024-02-20

    申请号:CN202410061816.9

    申请日:2024-01-16

    Abstract: 本发明涉及玻璃合成技术领域,具体涉及一种高灵敏性的光学温度传感材料及其制备方法和应用。该光学温度传感材料由La2O3、TiO2、Ga2O3、ZrO2、Er2O3、Yb2O3按照物质的量之比(12~14):(60~70):(13~17):(3~7):0.5:(2~4)组成。该材料具有非常高的折射率、良好的透过率、极佳的热稳定性和良好的机械性能,是一种理想的上转换发光玻璃材料。通过表征样品的光学温度传感特性,该重金属氧化物玻璃具有宽测温范围、高灵敏性;通过强磁场实验,证明了其具有非常优异的抗干扰性能,材料的灵敏度分别为1.2%(样品厚度:1.0mm)和2.4%(样品厚度:0.5mm),高于目前大部分荧光测温材料,是一种可用于航空航天等极端条件,且灵敏度高的光学温度传感材料。

    一种无损检测复合膜表面功能层厚度的方法

    公开(公告)号:CN103994736A

    公开(公告)日:2014-08-20

    申请号:CN201410233629.0

    申请日:2014-05-29

    Abstract: 本发明公开了一种无损检测复合膜表面功能层厚度的方法,包括如下步骤:将样品放置于样品室;将不同能量的正电子分别入射至薄膜发生湮没并分别搜集湮没产生的伽马射线能谱;根据伽马能谱计算正电子湮没参数;根据正电子湮没参数与入射正电子能量的关系,可拟合计算薄膜厚度。本发明运用正电子湮没手段,根据不同能量的正电子在薄膜不同深度湮没所得到的参数,可定量分析复合膜表面层的厚度,此方法可不破坏样品,属于无损检测。

    一种适用于刻蚀机零部件的Y2O3-BZO复合涂层的制备方法

    公开(公告)号:CN119663213B

    公开(公告)日:2025-05-16

    申请号:CN202510183071.8

    申请日:2025-02-19

    Abstract: 本发明提供一种适用于刻蚀机零部件的Y2O3‑BZO复合涂层的制备方法,包括以下步骤:S1、取衬底进行清洗,吹干,UV光清洗机二次清洁;S2、将步骤S1中衬底置于磁控溅射镀膜机内,边抽真空边加热,达到本底真空后通入氩气,对Y2O3和BZO靶材进行预溅射;S3、预溅射完成后打开挡板,调节腔体气压,正式溅射开始,正式溅射采用交替溅射形式分别对Y2O3和BZO靶材进行溅射形成堆叠复合涂层,溅射完毕后取出衬底;S4、将步骤S3中的衬底进行真空退火,自然降温,即得Y2O3‑BZO堆叠复合涂层。改复合涂层采取交替溅射形式形成堆叠复合涂层,具备良好的耐刻蚀性能,能大幅提高刻蚀机的使用寿命,减少对晶圆造成的污染。

    一种无损检测复合膜表面功能层厚度的方法

    公开(公告)号:CN103994736B

    公开(公告)日:2016-05-25

    申请号:CN201410233629.0

    申请日:2014-05-29

    Abstract: 本发明公开了一种无损检测复合膜表面功能层厚度的方法,包括如下步骤:将样品放置于样品室;将不同能量的正电子分别入射至薄膜发生湮没并分别搜集湮没产生的伽马射线能谱;根据伽马能谱计算正电子湮没参数;根据正电子湮没参数与入射正电子能量的关系,可拟合计算薄膜厚度。本发明运用正电子湮没手段,根据不同能量的正电子在薄膜不同深度湮没所得到的参数,可定量分析复合膜表面层的厚度,此方法可不破坏样品,属于无损检测。

    一种适用于刻蚀机零部件的Y2O3-BZO复合涂层的制备方法

    公开(公告)号:CN119663213A

    公开(公告)日:2025-03-21

    申请号:CN202510183071.8

    申请日:2025-02-19

    Abstract: 本发明提供一种适用于刻蚀机零部件的Y2O3‑BZO复合涂层的制备方法,包括以下步骤:S1、取衬底进行清洗,吹干,UV光清洗机二次清洁;S2、将步骤S1中衬底置于磁控溅射镀膜机内,边抽真空边加热,达到本底真空后通入氩气,对Y2O3和BZO靶材进行预溅射;S3、预溅射完成后打开挡板,调节腔体气压,正式溅射开始,正式溅射采用交替溅射形式分别对Y2O3和BZO靶材进行溅射形成堆叠复合涂层,溅射完毕后取出衬底;S4、将步骤S3中的衬底进行真空退火,自然降温,即得Y2O3‑BZO堆叠复合涂层。改复合涂层采取交替溅射形式形成堆叠复合涂层,具备良好的耐刻蚀性能,能大幅提高刻蚀机的使用寿命,减少对晶圆造成的污染。

    一种MPCVD金刚石片制备钻头齿的方法

    公开(公告)号:CN106083128A

    公开(公告)日:2016-11-09

    申请号:CN201610628552.6

    申请日:2016-08-03

    Abstract: 本发明涉及金刚石应用钻头领域。一种MPCVD金刚石片制备钻头齿的方法,其特征在于包括如下步骤:第一步,调节好MPCVD装置沉积工艺参数,沉积一段时间后得到MPCVD金刚石片;第二步,测量硬质合金的焊接端圆柱体直径和高度;第三步,将沉积所得的MPCVD金刚石片的直径和厚度加工到要求尺寸;第四步,在MPCVD金刚石片的正中心位置切开圆孔;第五步,MPCVD金刚石片的圆孔内壁面和硬质合金的焊接端圆柱体上分别涂上焊料,然后将MPCVD金刚石片通过其圆孔套在硬质合金的焊接端圆柱体上,施加压力使MPCVD金刚石片、焊料和硬质合金充分接触,得到试样;第六步,对填充好焊料的试样进行焊接过程,最终得到MPCVD金刚石片钻头齿。该方法显著提高了钻头的使用寿命以及稳定性。

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