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公开(公告)号：CN118127472A
公开(公告)日：2024-06-04
申请号：CN202410209437.X
申请日：2024-02-26
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本发明公开了一种掺杂氮化铝压电薄膜及其制备方法和在传感器中的应用，属于压电材料技术领域。本发明制备方法包括(1)设计AlN基的掺杂镶嵌靶材；(2)预设沉积参数；(3)沉积掺杂AlN薄膜。通过在靶材特定位置设置金属掺杂块，经磁控溅射沉积形成掺杂氮化铝薄膜。该方法的工艺简便、高效，可灵活地调整工艺参数来制备不同类型的掺杂氮化铝薄膜成品。所制掺杂氮化铝压电薄膜具有声波激发与稳定性能优异的优势，能够满足不同场景下的使用需求，具有良好的应用价值。
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公开(公告)号：CN117127145A
公开(公告)日：2023-11-28
申请号：CN202310835859.3
申请日：2023-07-07
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本发明公开了一种高压压铸模具用成分可调AlCrNbSiTiON高熵合金氮氧化物纳米复合涂层及其制备方法，属于薄膜材料技术领域。本发明将高熵合金氮化物的优异机械性能与高熵合金氧化物的特定高温性能、抗氧化性和耐磨性能相结合，制备的涂层不仅具有高熵合金氮化物的优异机械性能，还具有更加优异的抗氧化性、高温稳定性和耐磨性，可以保证高压压铸模具在高温条件下长期稳定工作。本发明充分利用纳米多层复合和梯度复合涂层技术，形成结构和成分渐变，减小涂层和基体之间晶格常数、热膨胀系数的失配度，具有良好的附着力。本发明提供了该涂层的制备方法，具有良好的附着力和较高的沉积速率，提高了涂层的性能和生产效率。
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公开(公告)号：CN113584443B
公开(公告)日：2023-03-21
申请号：CN202110733602.8
申请日：2021-06-30
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本发明涉及涂层材料的技术领域，具体涉及一种耐高温紧固件用AlN/AlScN纳米复合压电涂层及其制备方法，所述AlN/AlScN纳米复合压电涂层采用梯度层结构，由内到外依次包括结合层、支撑层、压电功能层和保护层，其中，结合层为纯金属AlSc层，支撑层为AlSc/AlScN纳米多层膜，压电功能层为AlN/AlScN纳米多层膜，保护层为AlON层。本发明的涂层具有比常规压电涂层更好的硬度、耐磨和韧性；充分利用梯度结构和纳米多层结构，形成结构和成分渐变，涂层和基体应力较低，具有好的附着力；提高了涂层的耐磨性能，同时耐腐蚀性能也大幅度提高；可以在高温时很好的保护压电复合涂层不被氧化，提高其高温稳定性。
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公开(公告)号：CN115642199A
公开(公告)日：2023-01-24
申请号：CN202210882534.6
申请日：2022-07-26
Applicant: 武汉大学
IPC: H01L31/18 , H01L31/0236 , H01L31/0216
Abstract: 本发明公开了一种增强光阱效应的织构表面光谱吸收涂层及其制备方法。该方法通过高温退火与氧化反应，巧妙借用元素扩散，使得衬底中扩散系数较高的元素扩散至衬底表面，在平坦的衬底表面生长出凸起氧化物，形成天然织构表面，以延长扩散过程，改善涂层的光谱吸收性能与高温稳定性。再通过沉积氧化层/氮化层/氮氧化层，作为抗反射层、抗氧化层、元素扩散抑制保护层，进一步提高涂层高温抗氧化性能。所述涂层由织构表面与保护层相结合，同时解决了高温下涂层内原子扩散、表面氧化而导致的结构破坏问题，将高温热稳定性提高至800℃。本发明提供的方法设备门槛低，绿色环保，不产生次生危害，步骤简单、成本低、可控性强、可用于工业化大规模生产。
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公开(公告)号：CN114959581A
公开(公告)日：2022-08-30
申请号：CN202210265585.4
申请日：2022-03-17
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本发明公开了一种太阳光谱吸收涂层的制备方法及涂层，包括：在溅射设备中安装好靶材、衬底以及两者之间的防护屏，将溅射设备的真空度和温度调节到目标值，引入惰性气体，产生等离子体；引入氧气/氮气与惰性气体的混合气流，移除防护屏，在衬底上进行纯合金沉积；随着沉积的进行，靶材逐渐发生靶中毒，继续沉积，在衬底上沉积包括大量合金和少量合金氧化物/氮化物的混合物；随着沉积的持续进行，靶中毒程度加深，在衬底上沉积包括少量合金和大量合金氧化物/氮化物的混合物；最后靶材完全中毒，在衬底上沉积纯合金氧化物/氮化物，获得所需的太阳光谱吸收层。本发明成本低廉，涂层一体成型，具有很大的光谱吸收潜力且热稳定性高、抗氧化性好。
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公开(公告)号：CN108008476B
公开(公告)日：2019-09-10
申请号：CN201711409166.9
申请日：2017-12-22
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本发明公开了一种激光发生器反射板，激光发生器反射板由基底、纯铬层、纯铝层和作为反射层的三氧化二铝薄膜组成四层结构，基底使用铜材料，拥有高导热率，在铜基体上利用物理气相沉积在惰性气体保护气氛下沉积一层纳米厚度的纯铬薄膜，以增加反射层与铜基底的界面结合强度，再在纯铬薄膜上用物理气相沉积法沉积一层微米厚度的纯铝薄膜，最后通过反应蒸镀法、多弧离子束氧化或阳极氧化等方法在纯铝薄膜表面制备用于反射激光的三氧化二铝薄膜。本发明激光发生器反射板热稳定性强、光学性能优异，激光反射率能够达80～95％；其最薄弱界面结合力高于500MPa，使用寿命达到2～4年。
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公开(公告)号：CN116256078B
公开(公告)日：2025-05-13
申请号：CN202310149550.9
申请日：2023-02-21
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本申请公开了铌酸锂薄膜温度传感器、测温方法及温度测量设备。该温度传感器的超声压电材料为铌酸锂压电涂层，通过涂层的表面断面形貌、晶粒形状尺寸、晶体结构、超声波形态中至少一者表征待测温度。为实现铌酸锂薄膜温度传感器的实时测温，本申请还提供了温度测量设备，包括依次电连接的加热区域、薄膜超声波温度传感器、脉冲发射‑接收器、控制器、计算机终端设备。本技术方案提供了宽温域范围内稳定工作的的监测设备和薄膜温度传感器，实时监测温度，实现温度变化的提前预警，避免重要设备的结构性损坏。
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公开(公告)号：CN118111582B
公开(公告)日：2025-05-06
申请号：CN202410209440.1
申请日：2024-02-26
Applicant: 武汉大学
IPC: G01K11/22 , G01K7/00 , G01K7/34 , G01K7/16 , G01N23/2251 , C23C14/35 , C23C14/06 , C23C14/14 , C22C30/00
Abstract: 本发明公开了一种负温度传感器、制备方法以及检测装置，所述传感器由下至上依次包括基材、传感层、结合层和电极层；其中，所述电极层的材料包括导电金属、高熵合金、高熵合金氮化物中的一种。本发明的传感器适用于液体、气体类的待测介质。本发明采用的电极材料为高熵合金，高熵合金具备热力学上的高熵效应、动力学上的迟缓扩散效应，相比常规的三元、四元氮化物、氧化物涂层，更具抗高温、耐氧化特性。此外，基于高熵合金的多元素特性，相比于传统银电极而言，极大提高了传感器的声波传输性能，超声信号、压电常数。
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公开(公告)号：CN115889759B
公开(公告)日：2025-04-11
申请号：CN202211484097.9
申请日：2022-11-24
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本申请公开了金属纳米颗粒镶嵌氧化锌纳米棒阵列的制备方法及其应用。本方案中，通过控制原子、离子流运行速度、轨迹而生长氧化锌纳米棒和镶嵌纳米级金属颗粒，制备织构化选择性太阳能吸收涂层。该方法基于磁控溅射并改变衬底位置，衬底背向原子、离子流方向放置，使得原子、离子流在衬底表面附近运动时速度降低，且为非定向运动，这种原子、离子流控速法，在不锈钢以及Cu、Al、Cr等纯金属衬底表面有效制备出了氧化锌纳米棒形成织构化表面，并镶嵌Ag、Cu、Au、Cr等纳米级金属颗粒，氧化锌纳米棒的织构化表面与金属纳米颗粒共同作用，通过局部表面等离子体共振效应增加了对太阳光的吸收，成功应用于太阳光谱吸收涂层。
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公开(公告)号：CN115184453B
公开(公告)日：2025-03-18
申请号：CN202210624331.7
申请日：2022-06-02
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本发明公开了一种LiNbO3/LiTaO3压电涂层传感器及制备方法，该LiNbO3/LiTaO3纳米复合压电涂层采用梯度多层结构，由内到外依次包括结合层、高温扩散阻挡层、压电功能层、保护层、过渡层和电极层，其中，结合层为纯金属Cr，高温扩散阻挡层为AlN，压电功能层为LiNbO3/LiTaO3纳米多层膜，保护层为Cr，过渡层为Ag/Cr，电极层为Ag。本发明的涂层具有比常规压电涂层更好的压电性能、耐高温、耐腐蚀、抗辐照；充分利用梯度结构和纳米多层结构，形成渐变成分，降低涂层和基体应力，附着力优异；该结构可以满足薄膜高温稳定性和低应力的需要，满足长寿命高可靠运行的需求。
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