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公开(公告)号:CN119437464A
公开(公告)日:2025-02-14
申请号:CN202411434544.9
申请日:2024-10-15
Applicant: 武汉大学
Inventor: 曾晓梅 , 佩列诺维奇·瓦西里·奥列戈维奇 , 杨兵 , 拉希姆伯根·拉希莫夫 , 沙夫卡特·尤尔达舍夫 , 张俊
Abstract: 本发明公开了一种基于高辐照稳定LiNbO3压电涂层的智能传感器及其应用,属于智能传感器及智能感知与控制设备技术领域。本发明在智能传感器的设计中,通过调节磁控溅射镀膜的参数,增加气氛中Ar的气含量,以充分溅射靶材物质,并结合降低O2含量来削弱缺锂相LiNb3O8的形成。由此克服了靶材纯度对沉积的限制,在LiNb3O8物质占比颇高的缺Li铌酸锂靶材中亦能实现高辐照稳定LiNbO3压电涂层的制备,具有靶材适用面广、工艺简捷的优势,降低了该类压电涂层的生产门槛,为智能传感器的生产提供更多选择。奔放智能传感器的综合性能优异,在高辐照环境下具有良好的结构、功能稳定性;作为传感器在智能感知与控制设备等技术领域具有广阔的前景。
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公开(公告)号:CN115889759B
公开(公告)日:2025-04-11
申请号:CN202211484097.9
申请日:2022-11-24
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本申请公开了金属纳米颗粒镶嵌氧化锌纳米棒阵列的制备方法及其应用。本方案中,通过控制原子、离子流运行速度、轨迹而生长氧化锌纳米棒和镶嵌纳米级金属颗粒,制备织构化选择性太阳能吸收涂层。该方法基于磁控溅射并改变衬底位置,衬底背向原子、离子流方向放置,使得原子、离子流在衬底表面附近运动时速度降低,且为非定向运动,这种原子、离子流控速法,在不锈钢以及Cu、Al、Cr等纯金属衬底表面有效制备出了氧化锌纳米棒形成织构化表面,并镶嵌Ag、Cu、Au、Cr等纳米级金属颗粒,氧化锌纳米棒的织构化表面与金属纳米颗粒共同作用,通过局部表面等离子体共振效应增加了对太阳光的吸收,成功应用于太阳光谱吸收涂层。
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公开(公告)号:CN115889759A
公开(公告)日:2023-04-04
申请号:CN202211484097.9
申请日:2022-11-24
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本申请公开了金属纳米颗粒镶嵌氧化锌纳米棒阵列的制备方法及其应用。本方案中,通过控制原子、离子流运行速度、轨迹而生长氧化锌纳米棒和镶嵌纳米级金属颗粒,制备织构化选择性太阳能吸收涂层。该方法基于磁控溅射并改变衬底位置,衬底背向原子、离子流方向放置,使得原子、离子流在衬底表面附近运动时速度降低,且为非定向运动,这种原子、离子流控速法,在不锈钢以及Cu、Al、Cr等纯金属衬底表面有效制备出了氧化锌纳米棒形成织构化表面,并镶嵌Ag、Cu、Au、Cr等纳米级金属颗粒,氧化锌纳米棒的织构化表面与金属纳米颗粒共同作用,通过局部表面等离子体共振效应增加了对太阳光的吸收,成功应用于太阳光谱吸收涂层。
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公开(公告)号:CN119947563A
公开(公告)日:2025-05-06
申请号:CN202411433982.3
申请日:2024-12-25
Applicant: 武汉大学
Inventor: 佩列诺维奇·瓦西里·奥列戈维奇 , 曾晓梅 , 杨兵 , 沙夫卡特·尤尔达舍夫 , 拉希姆伯根·拉希莫夫 , 张俊
Abstract: 本发明公开了一种包含Cr掺杂压电涂层的智能传感器及其应用,属于智能传感器及智能感知与控制设备技术领域。本发明通过在智能传感器的生产中,设计制备Cr掺杂元素含量特定、Cr掺杂元素均匀分布的合金靶材,达到制备高性能Cr掺杂压电涂层、传感器的目的。所制智能传感器具有超声信号极强、具有高温稳定、高辐照稳定性的特点;并且智能传感器中用Cr掺杂压电涂层的制备流程适用面广、步骤简捷、可控性佳,降低了智能传感器的生产难度。基于智能传感器优良的电学特性、覆盖各个响应频段的特性,本发明在智能感知与控制设备等领域具有良好的应用前景。
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公开(公告)号:CN119698226A
公开(公告)日:2025-03-25
申请号:CN202510045319.4
申请日:2025-01-13
Applicant: 武汉大学
Inventor: 曾晓梅 , 佩列诺维奇·瓦西里·奥列戈维奇 , 杨兵 , 亚历山大·波格雷布尼亚克 , 拉希姆伯根·拉希莫夫
Abstract: 本发明公开了一种耐高温压电薄膜传感器结构及其制备方法和应用,所述传感器结构由下至上包括衬底、压电层、保护层和电极层,所述保护层的材质为高熵合金氧化物;在衬底与压电层之间设置有第一防扩散阻挡层,和/或,压电层与保护层之间还设置有第二防扩散阻挡层;所述第一防扩散阻挡层和第二防扩散阻挡层的材质为高熵合金。本发明的耐高温压电薄膜传感器结构采用了高熵合金构成的防扩散阻挡层,不含氧原子,可以很好阻止压电层中轻量元素轻量元素的扩散和氧化速度;高熵合金氧化物构成的保护层,显著提升了传感器结构的电阻不仅可以防止高电压测试过程中压电层被击穿,提高传感器结构的工作稳定性,还可以提高传感器高温稳定性。
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