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公开(公告)号：CN119437464A
公开(公告)日：2025-02-14
申请号：CN202411434544.9
申请日：2024-10-15
Applicant: 武汉大学
Inventor： 曾晓梅 , 佩列诺维奇·瓦西里·奥列戈维奇 , 杨兵 , 拉希姆伯根·拉希莫夫 , 沙夫卡特·尤尔达舍夫 , 张俊
Abstract: 本发明公开了一种基于高辐照稳定LiNbO3压电涂层的智能传感器及其应用，属于智能传感器及智能感知与控制设备技术领域。本发明在智能传感器的设计中，通过调节磁控溅射镀膜的参数，增加气氛中Ar的气含量，以充分溅射靶材物质，并结合降低O2含量来削弱缺锂相LiNb3O8的形成。由此克服了靶材纯度对沉积的限制，在LiNb3O8物质占比颇高的缺Li铌酸锂靶材中亦能实现高辐照稳定LiNbO3压电涂层的制备，具有靶材适用面广、工艺简捷的优势，降低了该类压电涂层的生产门槛，为智能传感器的生产提供更多选择。奔放智能传感器的综合性能优异，在高辐照环境下具有良好的结构、功能稳定性；作为传感器在智能感知与控制设备等技术领域具有广阔的前景。
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公开(公告)号：CN119947563A
公开(公告)日：2025-05-06
申请号：CN202411433982.3
申请日：2024-12-25
Applicant: 武汉大学
Inventor： 佩列诺维奇·瓦西里·奥列戈维奇 , 曾晓梅 , 杨兵 , 沙夫卡特·尤尔达舍夫 , 拉希姆伯根·拉希莫夫 , 张俊
Abstract: 本发明公开了一种包含Cr掺杂压电涂层的智能传感器及其应用，属于智能传感器及智能感知与控制设备技术领域。本发明通过在智能传感器的生产中，设计制备Cr掺杂元素含量特定、Cr掺杂元素均匀分布的合金靶材，达到制备高性能Cr掺杂压电涂层、传感器的目的。所制智能传感器具有超声信号极强、具有高温稳定、高辐照稳定性的特点；并且智能传感器中用Cr掺杂压电涂层的制备流程适用面广、步骤简捷、可控性佳，降低了智能传感器的生产难度。基于智能传感器优良的电学特性、覆盖各个响应频段的特性，本发明在智能感知与控制设备等领域具有良好的应用前景。
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