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公开(公告)号：CN108956432B
公开(公告)日：2020-08-07
申请号：CN201810908836.X
申请日：2018-08-10
Applicant: 武汉大学
IPC: G01N15/14
Abstract: 本发明提出了一种基于结构光的流式高速超分辨成像装置及方法。本发明装置包括：飞秒脉冲激光器、耦合器、第一光电探测器、任意波形发生器、第一泵浦激光器、第一波分复用器、色散补偿光纤、第二波分复用器、第二泵浦激光器、光电调制器、环形器、准直器、衍射光栅、第一平凸透镜、第二平凸透镜、显微物镜、观测对象、第二光电探测器、高速示波器、数据处理单元。本发明通过装置对飞秒脉冲的光谱进行编码产生具有多种相位的脉冲，光谱编码脉冲通过衍射得到线性一维色散脉冲的结构光聚焦于观测对象上，观测对象的信息编码至线性一维色散脉冲中被光电探测器和高速示波器连续探测和采集，并在数据处理单元中获得高质量图像。
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公开(公告)号：CN109100304A
公开(公告)日：2018-12-28
申请号：CN201810909737.3
申请日：2018-08-10
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本发明提出了一种基于时域拉伸的单像素高速超分辨成像装置及方法。本发明装置包括：飞秒脉冲激光器、耦合器、第一光电探测器、任意波形发生器、掺饵光纤放大器、单模光纤、光电调制器、第一准直器、第一柱面透镜、第一虚拟成像相位阵列、第一衍射光栅、第一平凸透镜、第二平凸透镜、第一显微物镜、观测对象、第二显微物镜、第三平凸透镜、第四平凸透镜、第二衍射光栅、第二虚拟成像相位阵列、第二柱面透镜、第二准直器、第二光电探测器、高速示波器、数据处理单元。本发明方法通过时域拉伸技术实现的光谱编码和光学元件特定的空间位置设计，产生预定义的二维结构照明图案，并通过光电探测器的单像素检测和数据处理单元实现图像的连续获取。
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公开(公告)号：CN107452607A
公开(公告)日：2017-12-08
申请号：CN201710653557.9
申请日：2017-08-02
Applicant: 武汉大学
IPC: H01L21/302 , B23K26/352 , B23K101/40
Abstract: 本发明公开了一种晶圆激光研磨系统及方法，系统包括高频激光发生器、机器手臂、3D成像模块、晶圆、操作平台；晶圆固定在操作平台上，由3D成像模块获得晶圆表面形貌特征并建立3D模型，计算晶圆表面需要去除的材料部位坐标；高频激光发生器安装在机器手臂上，机器手臂根据计算的材料部位坐标移动，使高频激光发生器对准材料的坐标位置；高频激光发生器发生高频激光束照射材料。采用的高频激光束直径为亚微米，极小的加工区域可达到纳米级的加工分辨率，实现纳米级分辨率的点加工研磨工艺，提高了晶圆研磨加工工艺的精度。
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公开(公告)号：CN107433397A
公开(公告)日：2017-12-05
申请号：CN201710652982.6
申请日：2017-08-02
Applicant: 武汉大学
IPC: B23K26/38 , B23K26/70 , H01L21/304 , B23K101/40
CPC classification number: B23K26/38 , B23K26/70 , B23K26/702 , B23K2101/40 , H01L21/304
Abstract: 本发明公开了一种射流辅助激光等离子体的晶圆切割装置及方法，装置包括飞秒激光器、射流辅助系统、CCD影像系统、聚焦透镜组、分光透镜、旋转装置、光闸、三倍频装置、加工平台及控制系统；控制系统通过控制飞秒激光器产生激光，激光经分光透镜后分成两束，分别通过光闸或依次通过光闸、三倍频装置后射入聚焦透镜组；晶圆片固定安装在加工平台上，CCD影像系统用于获取晶圆片(13)的位置、状态信息并反馈回控制系统，控制系统通过控制加工平台的运动将晶圆片移动到预定位置；控制系统通过控制旋转装置，调整射流辅助系统喷射的射流方向到聚焦透镜组的激光聚焦点，使射流辅助系统喷射的射流和聚焦透镜组的激光入射到晶圆片加工的初始位置。
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公开(公告)号：CN106650889A
公开(公告)日：2017-05-10
申请号：CN201611028738.4
申请日：2016-11-22
Applicant: 武汉大学
IPC: G06K19/077
CPC classification number: G06K19/0772 , G06K19/07718 , G06K19/07749
Abstract: 本发明公开了一种集成磁复合膜的近场通信标签及其制备方法，磁复合膜由磁性纳米颗粒和聚合物组成，采用印刷工艺集成至NFC标签线圈天线的中间位置。与没有增加磁复合膜的NFC标签相比，集成有磁复合膜的NFC标签天线的电感值L、品质因数Q都有显著提升，尤其是，NFC阅读器与NFC标签之间的通讯距离大幅提高。此外，集成有磁复合膜的近场通信标签仍具有重量轻、厚度薄且柔性的特点，特别适用于可穿戴电子。本发明提供的近场通信标签具有集成工艺简单、成本低、电磁性能优越等优点，在近场通信领域有广泛应用价值。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103762522B
公开(公告)日：2016-03-02
申请号：CN201410061215.4
申请日：2014-02-24
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本发明公开了一种高压线路巡检机器人的找线装置及自主找线控制方法，包括：奇偶臂伸缩机构、奇偶臂夹紧机构、奇偶臂激光传感器、奇偶臂行走轮、奇偶臂手眼摄像头、导线、奇偶臂压紧机构、奇偶臂回转机构、巡检机器人控制箱、图像处理控制器、机械运动控制器和奇偶臂；视觉找线装置能够采集到导线与压紧机构的视频图像，并计算出导线与压紧机构中心线在所成图像中的截距和倾角值。通过机械运动处理器控制奇臂和偶臂回转机构的转动使截距和倾角的值趋近于0，再通过激光传感器的返回值的变化来判断离线臂找线是否准确。本视觉找线装置及视觉找线控制方法可以使离线臂快速的找准导线，并能保证巡检机器人落线过程中的安全。
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公开(公告)号：CN105353432A
公开(公告)日：2016-02-24
申请号：CN201510798981.3
申请日：2015-11-18
Applicant: 武汉大学
IPC: G02B5/00
CPC classification number: G02F1/25 , B33Y10/00 , B33Y80/00 , B82Y20/00 , B82Y40/00 , C23C16/50 , C23C26/00 , C25D3/46 , C25D7/006 , C25D11/045 , C25D17/00 , G02F1/0121 , G02F1/23 , G02F2202/16 , G02F2202/36 , G02F2203/10 , G02F2203/18 , G02B5/008
Abstract: 本发明公开了一种实时动态等离激元调控变色的机械变色龙，其外表面覆盖有等离激元器件；所述等离激元器件是将等离激元颜色的可调性与电沉积引起的结构可变性相结合，用电化学方法将银沉积到金纳米圆顶颗粒上，同时又可将银从金纳米颗粒上剥离，形成金核-银壳纳米圆顶结构；所述等离激元器件通过控制电路、传感器使得机械变色龙行走到相应背景颜色的时候，自身就自动变成相应的颜色，始终与彩色背景保持相同的颜色。本发明可以捕获和模拟环境的整个彩色图案，然后驱动所述色变换过程中各个单元加以处理，充分将机械变色龙融合到环境当中，这使得该项技术很容易被接受。
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公开(公告)号：CN107339084B
公开(公告)日：2020-03-10
申请号：CN201710652920.5
申请日：2017-08-02
Applicant: 武汉大学
IPC: E21B43/00
Abstract: 本发明公开了一种可控且可活动的双激光束开采页岩气装置及方法，装置主要包括双激光头、地面控制系统、信号采集和提取系统、高精度数据预处理系统等组成。所使用的双激光头产生可控的双激光束，其中激光束1为连续激光，用于对页岩进行预热；激光束2为脉冲激光，用来使页岩产生本来局部裂纹并去除页岩；在激光头上安装有机器人关节活动机构，使得激光束1和激光束2可以在空间进行一定角度的转动，可以使激光头到达更远的位置进行破岩。同时，在激光头上安装有高精密电磁油气检测传感器和天然气水合物检测传感器，分别用来检测在破岩过程中可能会遇到的油气田和可燃冰，避免因激光破岩而导致的爆炸的发生，从而实现更安全的开采。
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公开(公告)号：CN107339084A
公开(公告)日：2017-11-10
申请号：CN201710652920.5
申请日：2017-08-02
Applicant: 武汉大学
IPC: E21B43/00
Abstract: 本发明公开了一种可控且可活动的双激光束开采页岩气装置及方法，装置主要包括双激光头、地面控制系统、信号采集和提取系统、高精度数据预处理系统等组成。所使用的双激光头产生可控的双激光束，其中激光束1为连续激光，用于对页岩进行预热；激光束2为脉冲激光，用来使页岩产生本来局部裂纹并去除页岩；在激光头上安装有机器人关节活动机构，使得激光束1和激光束2可以在空间进行一定角度的转动，可以使激光头到达更远的位置进行破岩。同时，在激光头上安装有高精密电磁油气检测传感器和天然气水合物检测传感器，分别用来检测在破岩过程中可能会遇到的油气田和可燃冰，避免因激光破岩而导致的爆炸的发生，从而实现更安全的开采。
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公开(公告)号：CN107253100A
公开(公告)日：2017-10-17
申请号：CN201710652981.1
申请日：2017-08-02
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本发明公开了一种利用磁场及激光对晶圆进行研磨的系统及方法，系统包括飞秒激光发生器、机器手臂、3D成像模块、晶圆、操作平台、磁场发生器、研磨液腔；研磨液腔固定设置在操作平台上，晶圆固定设置在研磨液腔内，研磨液腔内填充有研磨液；飞秒激光发生器和磁场发生器均固定设置在机器手臂上；3D成像模块用于获取晶圆表面形貌特征并建立3D模型，计算需要去除的表面材料部位坐标。本发明提供的一种利用磁场控制研磨液中磁性纳米颗粒对晶圆进行面研磨后使用飞秒激光对晶圆进行点研磨的方法，同时具有效率高、精度高的特点。
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