一种集成无线无源薄膜智能传感系统及其制备方法和应用

    公开(公告)号:CN118424374A

    公开(公告)日:2024-08-02

    申请号:CN202410392338.X

    申请日:2024-04-02

    Applicant: 武汉大学

    Abstract: 本发明公开了一种集成无线无源薄膜智能传感系统及其制备方法和应用,传感系统包括压电基底、叉指电极、第一反射栅、第二反射栅和质量块;压电基底由下至上包括带有凹槽的衬底和压电层,压电层和衬底形成空腔;叉指电极位于压电基底顶端且环绕空腔设置,叉指电极包括第一插指电极和第二插指电极;第一反射栅和第一插指电极构成谐振型声波传感器;第二反射栅和第二插指电极构成延迟线性型声波传感器,第二反射栅平行于第一反射栅且靠近空腔设置;质量块设置于压电基底顶端且位于空腔上部区域内。本发明能在提高检测灵敏度的同时,通过二维解耦实现力和温度的同时测量。

Patent Agency Ranking