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公开(公告)号:CN104111224B
公开(公告)日:2016-11-30
申请号:CN201410154981.5
申请日:2014-04-17
Applicant: 横河电机株式会社
IPC: G01N21/01 , G01N21/3559
Abstract: 本发明公开了一种半导体光源单元和一种物体测量装置,根据本发明一个实施例的半导体光源单元包括但不限于:光源封装件;半导体发光元件;第一散热器;以及第一绝缘机壳。所述光源封装件具有第一表面和与该第一表面相对的第二表面。所述半导体发光元件包括在所述光源封装件内,被布置为邻近该光源封装的第一表面,并且被配置为发射光。所述第一散热器在所述光源封装件的外部,被布置为邻近该光源封装的第一表面,并且被配置为经由该光源封装件的第一表面接收由所述半导体发光元件产生的热量。所述第一绝缘机壳具有第一入口和第一出口并且包覆所述光源封装件和所述第一散热器,以防止所述光源封装和所述第一散热器暴露于外部空气。
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公开(公告)号:CN104246477B
公开(公告)日:2017-04-12
申请号:CN201380017444.X
申请日:2013-03-28
Applicant: 横河电机株式会社
IPC: G01N21/3559
Abstract: 一种物质特性测定装置,其将不同波长的光向被测定物质照射,并基于向被测定物质照射后的各个波长的光的相对强度,对被测定物质的特性进行测定,在物质特性测定装置中,即使不是光谱的半值宽度极窄的光也能够进行高精度的测定。物质特性测定装置的特征在于,具备:光源照射部,其将n个不同波长的光向被测定物质照射;检测部,其对向被测定物质照射后的各个波长的光的强度进行检测;以及运算处理部,其利用由行以及列分别小于或等于n阶的矩阵表示的校正系数,对检测出的各个波长中的至少一部分波长的光的强度进行校正,并基于校正后的各个波长的光的相对强度,计算表示被测定物质的特性的指标值。
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公开(公告)号:CN104111224A
公开(公告)日:2014-10-22
申请号:CN201410154981.5
申请日:2014-04-17
Applicant: 横河电机株式会社
IPC: G01N21/01 , G01N21/3559
Abstract: 本发明公开了一种半导体光源单元和一种物体测量装置,根据本发明一个实施例的半导体光源单元包括但不限于:光源封装件;半导体发光元件;第一散热器;以及第一绝缘机壳。所述光源封装件具有第一表面和与该第一表面相对的第二表面。所述半导体发光元件包括在所述光源封装件内,被布置为邻近该光源封装的第一表面,并且被配置为发射光。所述第一散热器在所述光源封装件的外部,被布置为邻近该光源封装的第一表面,并且被配置为经由该光源封装件的第一表面接收由所述半导体发光元件产生的热量。所述第一绝缘机壳具有第一入口和第一出口并且包覆所述光源封装件和所述第一散热器,以防止所述光源封装和所述第一散热器暴露于外部空气。
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公开(公告)号:CN109506570B
公开(公告)日:2020-11-10
申请号:CN201811056644.7
申请日:2018-09-11
Applicant: 横河电机株式会社
Abstract: 位移传感器具有将线状的光线射出的线状光源、光束分离器、线传感器和成像透镜。所述线状光源相对于所述成像透镜的光轴的垂线具有规定角度的倾斜度而配置。所述成像透镜在与所述线状光源共轭的位置使所述线状光源的像相对于所述成像透镜的光轴的垂线具有规定角度的倾斜度而形成。所述光束分离器配置于所述线状光源和所述成像透镜之间。所述线传感器经由所述成像透镜和所述光束分离器,在与通过所述成像透镜形成的像共轭的位置,配置为所述成像透镜的光轴相对于由所述光束分离器反射出的光轴的垂线具有所述规定角度的倾斜度。
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公开(公告)号:CN104246477A
公开(公告)日:2014-12-24
申请号:CN201380017444.X
申请日:2013-03-28
Applicant: 横河电机株式会社
IPC: G01N21/3559
CPC classification number: G01N21/3559 , G01N21/59 , G01N21/86 , G01N2021/3148 , G01N2021/3174 , G01N2021/3181 , G01N2021/8663 , G01N2201/0627
Abstract: 一种物质特性测定装置,其将不同波长的光向被测定物质照射,并基于向被测定物质照射后的各个波长的光的相对强度,对被测定物质的特性进行测定,在物质特性测定装置中,即使不是光谱的半值宽度极窄的光也能够进行高精度的测定。物质特性测定装置的特征在于,具备:光源照射部,其将n个不同波长的光向被测定物质照射;检测部,其对向被测定物质照射后的各个波长的光的强度进行检测;以及运算处理部,其利用由行以及列分别小于或等于n阶的矩阵表示的校正系数,对检测出的各个波长中的至少一部分波长的光的强度进行校正,并基于校正后的各个波长的光的相对强度,计算表示被测定物质的特性的指标值。
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公开(公告)号:CN103673888A
公开(公告)日:2014-03-26
申请号:CN201310375884.4
申请日:2013-08-26
Applicant: 横河电机株式会社
Abstract: 本发明提供一种光学式位移计,其具有:光源,其照射包含多个波长的第1光;物镜,其将光源照射的第1光向样品照射,以使得多个波长中的每个,在光轴上的不同位置合焦;分离部,其对来自样品的反射光中通过物镜的第2光进行分离,而射出第3光;光学元件,其射出使分离部射出的第3光产生色差及像散而得到的第4光;多个检测部,其对光学元件射出的第4光进行检测;以及运算部,其基于多个检测部检测出的第4光,对从基准面起的样品的高度进行运算。
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公开(公告)号:CN102564304A
公开(公告)日:2012-07-11
申请号:CN201110303350.1
申请日:2011-09-30
Applicant: 横河电机株式会社
CPC classification number: G01N21/8903 , H04N5/225 , H04N7/18
Abstract: 本发明提供一种形成于薄片上的图案的位置及形状测定装置,其实现对位置及形状进行测定时的校正的简化。具有:薄片,其形成有图案;照相机保持机构,其与该薄片的输送方向正交而配置;照相机,其配置为可以沿该照相机保持机构的长度方向移动;以及图像处理计算机,其对由该照相机拍摄的图像进行处理,在校正时,基于上述涂敷图案和校正用基准体的拍摄图像,进行校正。
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公开(公告)号:CN109211828A
公开(公告)日:2019-01-15
申请号:CN201810723276.0
申请日:2018-07-04
Applicant: 横河电机株式会社
IPC: G01N21/3563 , G01N21/359
Abstract: 本发明提供一种测定装置。测定装置基于透过了检查对象物后的电磁波的检测结果来测定所述检查对象物的特性。所述测定装置具备:照射部,对所述检查对象物照射电磁波;聚光部,具有将透过了所述检查对象物后的电磁波中的、相对于与所述检查对象物对置的入射端的入射角为规定的入射角以内的电磁波朝聚光面引导的反射面;以及检测部,检测被引导至所述聚光面后的电磁波。
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公开(公告)号:CN103727880B
公开(公告)日:2017-09-08
申请号:CN201310478380.5
申请日:2013-10-14
Applicant: 横河电机株式会社
CPC classification number: G01B11/14 , G01B11/026 , G01B11/0608 , G01B2210/50 , G01J3/0205 , G01J3/0208 , G01J3/021 , G01J3/0216 , G01J3/027 , G01J3/0291 , G01J3/10 , G01J3/18 , G01J3/2803 , G01J3/42 , G01J3/50
Abstract: 本发明公开了光谱特性测量设备、颜色测量设备、平面测量对象质量监控设备、位移测量方法、光谱特性测量方法和颜色测量方法。位移传感器包括:光源单元,其被构造为将具有不同的多个波长的光以倾斜的方向施加于平面测量对象的测量区域;分光镜,其被构造为测量被测量区域反射的光的光谱分布;特征量提取模块,其被构造为提取光谱分布的特征量;以及位移计算模块,其被构造为基于所提取的特征量以及预先获取的位移与特征量之间的关系来计算测量区域的位移。
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公开(公告)号:CN102288108A
公开(公告)日:2011-12-21
申请号:CN201110118529.X
申请日:2011-05-09
Applicant: 横河电机株式会社
IPC: G01B11/00
CPC classification number: G01B11/028
Abstract: 本发明实现一种位置测定系统,其不会受到随品种而改变的涂敷模式的影响,可以准确地测定边缘或关注部位的位置偏移。其使用照相机,测定所输送的片状物体的预先确定的关注部位的位置,其特征在于,具有:第1照相机单元,其设置在所述片状物体的一侧边缘的大致上方,具备使片状物体的像成像的拍摄元件,对片状物体的所述关注部位进行拍摄;第2照相机单元,其设置在片状物体的另一侧边缘的大致上方,具备使片状物体的像成像的拍摄元件,对片状物体的所述关注部位进行拍摄;以及测定单元,其针对由各拍摄元件成像的所述片状物体的像,基于关注部位的位置相对于预先确定的基准位置的变动,判定送料线高度是否变动,测定边缘的位置偏移。
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