热喷涂法制备旋转靶用ITO粉及其生产方法和应用

    公开(公告)号:CN105540647B

    公开(公告)日:2017-04-19

    申请号:CN201510983183.8

    申请日:2015-12-24

    Abstract: 本发明公开了一种热喷涂法制备旋转靶用ITO粉及其生产方法和应用,生产方法包括采用湿化学法制备ITO共沉淀粉、湿磨分散处理并进行喷雾造粒得到造粒粉、将造粒粉脱脂烧结、还原处理得到ITO粉的步骤。该方法制备的ITO粉具备良好的流动性、较好的强度及良好的烧结性能,在使用热喷涂法过程中不易被气流打碎,有利于提高制备过程粉料的成材率,确保热喷涂靶的密度和靶材镀膜质量,适合直接用于热喷涂法制备ITO旋转靶。ITO粉为该生产方法制备得到的ITO粉,应用为将该生产方法制备得到的ITO粉用于热喷涂法制备旋转靶。

    一种二氧化锡浆料的制备方法

    公开(公告)号:CN109594096A

    公开(公告)日:2019-04-09

    申请号:CN201811438790.6

    申请日:2018-11-29

    Abstract: 本发明提供一种纯度高、粒度分布窄的二氧化锡浆料的制备方法,其特征在于采用电解法制备的二氧化锡,在电解过程中加入一种或几种氧化剂及表面活性剂,同时采用电解液循环和超声搅拌方式加强对流,得到松散的电解产物,将电解产物在400~900℃下煅烧后,得到四方体二氧化锡,进行超细磨,得到二氧化锡浆料。本发明工艺简单、环保,制备出的氧化锡浆料纯度高、粒度分布窄。

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