一种蒸镀用ITO颗粒的制备方法及由该方法制备的ITO颗粒

    公开(公告)号:CN108002428B

    公开(公告)日:2020-06-09

    申请号:CN201711228577.8

    申请日:2017-11-29

    Abstract: 本发明提供了一种蒸镀用ITO颗粒的制备方法,该方法包括在无压烧结炉中进行如下步骤:(1)将ITO坯体在氧气流动环境中,以10~100℃/h的升温速率加热至180‑240℃,再以10~30℃/h的升温速率加热至400‑600℃,升温结束后保温1~4h;(2)在氧气流动环境中,以100~200℃/h的升温速率加热至1300~1500℃进行无压氧气烧结,烧结时间为1~10h。本发明的制备方法,简化了粉体制备控制条件,有利于单独控制粉体品质,并且简化了成型、脱脂烧结工艺,在国内ITO颗粒制备方法中尚属于首次。本发明还提供了一种ITO颗粒,该ITO颗粒符合真空蒸镀法的技术指标要求,结构均匀,不易开裂。

    热喷涂法制备旋转靶用ITO粉及其生产方法和应用

    公开(公告)号:CN105540647B

    公开(公告)日:2017-04-19

    申请号:CN201510983183.8

    申请日:2015-12-24

    Abstract: 本发明公开了一种热喷涂法制备旋转靶用ITO粉及其生产方法和应用,生产方法包括采用湿化学法制备ITO共沉淀粉、湿磨分散处理并进行喷雾造粒得到造粒粉、将造粒粉脱脂烧结、还原处理得到ITO粉的步骤。该方法制备的ITO粉具备良好的流动性、较好的强度及良好的烧结性能,在使用热喷涂法过程中不易被气流打碎,有利于提高制备过程粉料的成材率,确保热喷涂靶的密度和靶材镀膜质量,适合直接用于热喷涂法制备ITO旋转靶。ITO粉为该生产方法制备得到的ITO粉,应用为将该生产方法制备得到的ITO粉用于热喷涂法制备旋转靶。

    一种管状ITO靶材的制备方法

    公开(公告)号:CN108002815B

    公开(公告)日:2021-02-02

    申请号:CN201711229857.0

    申请日:2017-11-29

    Abstract: 本发明提供了一种管状ITO靶材的制备方法,该方法包括将ITO粉末装入包套容器,经热等静压处理制备ITO管状靶材,该包套容器包括一个内圆筒包套和一个外圆筒包套,内圆筒包套的壁厚是外圆筒包套壁厚的2倍以上,内圆筒包套的壁厚为3~10mm,外圆筒包套的壁厚为1~3mm。本发明的制备方法,可由ITO废靶经机械破碎后经热等静压法一步成型直接制备为管状ITO靶材,相比传统工艺大大缩短了废靶回收生成精铟再利用制成靶材的周期,节约了生产成本,容易实现规模化生产,生产效率高;此外生产过程中不需使用强酸强碱及有机添加剂,减少了环境污染。

    一种二氧化锡浆料的制备方法

    公开(公告)号:CN109594096A

    公开(公告)日:2019-04-09

    申请号:CN201811438790.6

    申请日:2018-11-29

    Abstract: 本发明提供一种纯度高、粒度分布窄的二氧化锡浆料的制备方法,其特征在于采用电解法制备的二氧化锡,在电解过程中加入一种或几种氧化剂及表面活性剂,同时采用电解液循环和超声搅拌方式加强对流,得到松散的电解产物,将电解产物在400~900℃下煅烧后,得到四方体二氧化锡,进行超细磨,得到二氧化锡浆料。本发明工艺简单、环保,制备出的氧化锡浆料纯度高、粒度分布窄。

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