公开(公告)号：CN101511709A

公开(公告)日：2009-08-19

申请号：CN200680056004.5

申请日：2006-10-03

Applicant: 株式会社IHI

Inventor： 平田贤辅 ,  村山晋 ,  都国焕 ,  田中刈入 ,  上田涉

IPC: B65G1/00 ,  B07C5/36

CPC classification number: B07C5/36

Abstract: 在将未分类盒(3)中收纳的多个基板(W)分类到分类目标盒(5)的基板分类系统(1)中，具有：将基板(W)收纳在任意位置的缓冲工作台(7)；在各盒(3)、(5)、缓冲工作台(7)两两之间按片输送基板(W)的装载装置(11)。

公开(公告)号：CN101511709B

公开(公告)日：2013-03-20

申请号：CN200680056004.5

申请日：2006-10-03

Applicant: 株式会社IHI

Inventor： 平田贤辅 ,  村山晋 ,  都国焕 ,  田中刈入 ,  上田涉

IPC: B65G1/00 ,  B07C5/36

CPC classification number: B07C5/36

Abstract: 在将未分类盒(3)中收纳的多个基板(W)分类到分类目标盒(5)的基板分类系统(1)中，具有：将基板(W)收纳在任意位置的缓冲工作台(7)；在各盒(3)、(5)、缓冲工作台(7)两两之间按片输送基板(W)的装载装置(11)。

公开(公告)号：CN1966371B

公开(公告)日：2012-08-15

申请号：CN200610147051.2

申请日：2006-11-13

Applicant: 株式会社IHI

Inventor： 村山晋 ,  都国焕 ,  田中刈入 ,  滨田幸三 ,  平田贤辅

IPC: B65G51/03 ,  B65G49/06

Abstract: 本发明公开了用于利用流体来使具有平面状下面的对象物(W)浮起的浮起装置以及利用了上述浮起装置的输送装置。浮起装置，具备：具备平面状上面的基部(7)；以及为了在上述上面具有开口部(11)而形成于上述基部(7)上、且为了在上述开口部(11)所包围的上述上面区域和上述对象物的上述下面之间产生以均匀压力流动上述流体的空间(A)而配置的用于喷出上述流体的喷出孔。

公开(公告)号：CN101920849A

公开(公告)日：2010-12-22

申请号：CN200910258217.1

申请日：2006-11-13

Applicant: 株式会社IHI

Inventor： 村山晋 ,  都国焕 ,  田中刈入 ,  滨田幸三 ,  平田贤辅

IPC: B65G51/03 ,  B65G49/06

Abstract: 本发明公开了用于利用流体来使具有平面状下面的对象物(W)浮起的浮起装置以及利用了上述浮起装置的输送装置。浮起装置，具备：具备平面状上面的基部(7)；以及为了在上述上面具有开口部(11)而形成于上述基部(7)上、且为了在上述开口部(11)所包围的上述上面区域和上述对象物的上述下面之间产生以均匀压力流动上述流体的空间(A)而配置的用于喷出上述流体的喷出孔。