公开(公告)号：CN103247561A

公开(公告)日：2013-08-14

申请号：CN201310142807.4

申请日：2008-08-22

Applicant: 株式会社IHI

Inventor： 平田贤辅 ,  和田芳幸 ,  田中刈入 ,  村山晋

IPC: H01L21/677

CPC classification number: H01L21/67706 ,  H01L21/6776

Abstract: 本发明的输送系统设置于地板面上来输送对象物。上述输送系统具备：外壳，构成为具有可操作地封闭的第一开口、和可操作地封闭的第二开口，设置于上述地板面上，若封闭上述第一开口和上述第二开口，则在内部包围密闭空间；输送装置，构成为设置于上述外壳内，并从上述第一开口朝向上述第二开口输送上述对象物；以及送风装置，设置于上述外壳内，净化上述密闭空间内的空气，并供给被净化了的空气。

公开(公告)号：CN103717804A

公开(公告)日：2014-04-09

申请号：CN201280037755.8

申请日：2012-10-11

Applicant: 株式会社IHI

Inventor： 村山晋

IPC: E01B11/60 ,  E01B11/42 ,  B61B13/06

CPC classification number: E01B11/42 ,  E01B11/56

Abstract: 一种轨道中继装置（2A，2B，2C），其设置于以一定的间隔平行地配置的一对轨条（112）和在该一对轨条（112）的延长线上以相同的间隔平行地配置的另一对轨条（112）之间的接缝（110），并具备：自如接头（52）；一对伸缩机构（11，71）；以及连结臂（41），各伸缩机构（11，71）具备沿轨道长度方向配置于接缝（110）的多个接缝轨条（12，12a，12b，12c）和可使该接缝轨条（12，12a，12b，12c）沿上述轨道长度方向滑动地支撑该接缝轨条（12，12a，12b，12c）的框架（31），连结臂（41）可沿接缝轨条的行驶面摆动地安装于框架（31），并连结一对伸缩机构（11，71）的各框架（31），自如接头（52）配置于伸缩机构（11，71）的两端，并连结各轨条（112a、112c）和伸缩机构（11，71）。

公开(公告)号：CN101512748B

公开(公告)日：2013-02-06

申请号：CN200780033198.1

申请日：2007-02-15

Applicant: 株式会社IHI

Inventor： 平田贤辅 ,  水野智夫 ,  村山晋

IPC: H01L21/677 ,  B65G47/53 ,  B65G49/06 ,  B65G49/07

CPC classification number: H01L21/67715 ,  B65G49/064 ,  B65G49/067 ,  B65G2249/02

Abstract: 一种基板运送装置，具有：主输送器，单张运送基板；分支输送器，从上述主输送器水平地分支；基板交接部，一边使上述基板水平地转动以维持上述基板的相对于行进方向的朝向，一边将上述基板从上述主输送器交接至上述分支输送器或者从上述分支输送器交接至上述主输送器。

公开(公告)号：CN101796625A

公开(公告)日：2010-08-04

申请号：CN200880105255.7

申请日：2008-08-22

Applicant: 株式会社IHI

Inventor： 平田贤辅 ,  和田芳幸 ,  田中刈入 ,  村山晋

IPC: H01L21/677 ,  B65G49/07 ,  B65G51/03

CPC classification number: H01L21/67706 ,  H01L21/6776

Abstract: 本发明的输送系统设置于地板面上来输送对象物。上述输送系统具备：外壳，构成为具有可操作地封闭的第一开口、和可操作地封闭的第二开口，设置于上述地板面上，若封闭上述第一开口和上述第二开口，则在内部包围密闭空间；输送装置，构成为设置于上述外壳内，并从上述第一开口朝向上述第二开口输送上述对象物；以及送风装置，设置于上述外壳内，净化上述密闭空间内的空气，并供给被净化了的空气。

公开(公告)号：CN103842233A

公开(公告)日：2014-06-04

申请号：CN201280047274.5

申请日：2012-11-01

Applicant: 株式会社IHI

Inventor： 村山晋

IPC: B61B13/00 ,  B61F5/38

CPC classification number: B61B13/00 ,  B64F1/368

Abstract: 台车搬运系统（1）具备：具备导轨（104、105）的行驶轨道（101）；以及台车（10）。引导轮（33i、35o）将导轨（104、105）夹住，并规定台车（10）的行进方向。升降机构（34i、34o）与台车（10）的行进方向对应地使引导轮（33ii、35oo）升降，将引导轮（33i、35o）夹住导轨（104、105），或者从导轨（104、105）远离。

公开(公告)号：CN102311060A

公开(公告)日：2012-01-11

申请号：CN201110176318.1

申请日：2011-06-28

Applicant: 株式会社IHI

Inventor： 村山晋

IPC: B66D3/18 ,  B66F7/00 ,  B66F7/28

Abstract: 本发明是一种升降装置，具备：具有沿铅垂方向延伸的导轨的一对立柱、配置于所述一对立柱间而升降的升降台；安装于所述升降台而能够滚动地卡合于所述各立柱的对应的导轨的导向机构以及对所述升降台提供升降驱动力的升降驱动机构。所述升降台具备台座模块和一对侧模块，所述各导向机构是直动导件，该直动导件经由球面轴承而连结于所述各侧模块。

公开(公告)号：CN101850883A

公开(公告)日：2010-10-06

申请号：CN201010145538.3

申请日：2010-03-29

Applicant: 株式会社IHI

Inventor： 石桥希远 ,  村山晋 ,  和田芳幸 ,  大野俊孝

IPC: B65G1/00 ,  B65G49/00 ,  B61B13/00

Abstract: 本发明提供一种行进车系统。行进车系统具备实施基板的保管或规定的处理的基板处理装置、使基板在收容在基板盒(1)中的状态下沿上下方向升降的升降部(10)、将基板盒(1)朝向基板处理装置水平移动的水平移动部(8a、8b)、将基板盒(1)沿着朝向基板处理装置设置的轨道输送的无人行进台车(AG)、和在轨道(L)的上方保持并保管基板盒(1)的基板盒保管部(BF1)。

公开(公告)号：CN101511709A

公开(公告)日：2009-08-19

申请号：CN200680056004.5

申请日：2006-10-03

Applicant: 株式会社IHI

Inventor： 平田贤辅 ,  村山晋 ,  都国焕 ,  田中刈入 ,  上田涉

IPC: B65G1/00 ,  B07C5/36

CPC classification number: B07C5/36

Abstract: 在将未分类盒(3)中收纳的多个基板(W)分类到分类目标盒(5)的基板分类系统(1)中，具有：将基板(W)收纳在任意位置的缓冲工作台(7)；在各盒(3)、(5)、缓冲工作台(7)两两之间按片输送基板(W)的装载装置(11)。

公开(公告)号：CN101850883B

公开(公告)日：2012-12-05

申请号：CN201010145538.3

申请日：2010-03-29

Applicant: 株式会社IHI

Inventor： 石桥希远 ,  村山晋 ,  和田芳幸 ,  大野俊孝

IPC: B65G1/00 ,  B65G49/00 ,  B61B13/00

Abstract: 本发明提供一种行进车系统。行进车系统具备实施基板的保管或规定的处理的基板处理装置、使基板在收容在基板盒(1)中的状态下沿上下方向升降的升降部(10)、将基板盒(1)朝向基板处理装置水平移动的水平移动部(8a、8b)、将基板盒(1)沿着朝向基板处理装置设置的轨道输送的无人行进台车(AG)、和在轨道(L)的上方保持并保管基板盒(1)的基板盒保管部(BF1)。

公开(公告)号：CN101920849A

公开(公告)日：2010-12-22

申请号：CN200910258217.1

申请日：2006-11-13

Applicant: 株式会社IHI

Inventor： 村山晋 ,  都国焕 ,  田中刈入 ,  滨田幸三 ,  平田贤辅

IPC: B65G51/03 ,  B65G49/06

Abstract: 本发明公开了用于利用流体来使具有平面状下面的对象物(W)浮起的浮起装置以及利用了上述浮起装置的输送装置。浮起装置，具备：具备平面状上面的基部(7)；以及为了在上述上面具有开口部(11)而形成于上述基部(7)上、且为了在上述开口部(11)所包围的上述上面区域和上述对象物的上述下面之间产生以均匀压力流动上述流体的空间(A)而配置的用于喷出上述流体的喷出孔。