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公开(公告)号：CN101920849A
公开(公告)日：2010-12-22
申请号：CN200910258217.1
申请日：2006-11-13
Applicant: 株式会社IHI
Abstract: 本发明公开了用于利用流体来使具有平面状下面的对象物(W)浮起的浮起装置以及利用了上述浮起装置的输送装置。浮起装置，具备：具备平面状上面的基部(7)；以及为了在上述上面具有开口部(11)而形成于上述基部(7)上、且为了在上述开口部(11)所包围的上述上面区域和上述对象物的上述下面之间产生以均匀压力流动上述流体的空间(A)而配置的用于喷出上述流体的喷出孔。
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公开(公告)号：CN101743185A
公开(公告)日：2010-06-16
申请号：CN200880024656.X
申请日：2008-06-09
Applicant: 株式会社IHI
IPC: B65G49/06 , B65G51/03 , B65G49/07 , H01L21/677
CPC classification number: B65G49/065 , B65G47/53 , B65G51/03 , B65G2249/02 , H01L21/67784
Abstract: 直部中的多个浮起单元(17、29)的排列状态为交错排列，角部中的大部分浮起单元(45)的单元中心和多个假想的第1平行线(VP)与多个假想的第2平行线(VCP)的交点一致，多个假想的第1平行线(VP)平行于将第1传送方向(D1)和第2传送方向(D2)的交角二等分的假想二等分线(V)，且沿着垂直于假想二等分线(V)的方向等间隔设定；多个假想的第2平行线(VCP)平行于与假想二等分线(V)垂直的假想垂直线(VC)，且沿着假想的二等分线(V)的长度方向等间隔设定。
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公开(公告)号：CN101643152B
公开(公告)日：2013-06-26
申请号：CN200910164107.9
申请日：2009-08-04
Applicant: 株式会社IHI
CPC classification number: H01L21/67784 , B65G49/065 , B65G2249/02
Abstract: 本发明提供一种浮起运送装置(1)，在充分确保浮起性能的同时运送大型化的基板(W)的情况下，能够高效地确保基板(W)的平坦度，能够避免基板(W)的端部和浮起单元(37)等之间的干涉。在浮起运送装置(1)中，将基板W向运送方向运送的运送单元(11)设置在支承框(3)上，并且多个浮起单元(37)沿着运送方向以及运送宽度方向设置在支承框(3)上。各浮起单元(37)具有：在上表面形成有喷出空气的喷嘴(41)的浮起单元主体(39)；设置在浮起单元主体(39)的下表面中央的、内部与浮起单元主体的内部连通的浮起单元脚(43)。在此，浮起单元脚的运送方向的最大外形尺寸比浮起单元主体的运送方向的最大外形尺寸小。
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公开(公告)号：CN101715422B
公开(公告)日：2013-03-27
申请号：CN200880021740.6
申请日：2008-05-09
Applicant: 株式会社IHI
CPC classification number: B65G49/065 , B65G51/03 , B65G2249/02
Abstract: 本发明公开一种通过流体使具有下表面的对象物悬浮，然后对其进行输送的悬浮输送装置。悬浮输送装置具有悬浮装置、流体供给装置以及输送装置，所述悬浮装置具有基部以及喷出孔，所述基部具有平面状的上表面，所述喷出孔为了在所述上表面具有开口部而形成于所述基部上，由内周以及外周划分出来，所述内周至少在所述上表面附近朝向所述开口部包围的区域的内部倾斜，所述外周具有与所述内周平行的面以及与所述上表面相邻且不与所述内周平行的边缘面，在所述区域和所述对象物的所述下表面之间形成使所述流体产生均匀压力的空间，所述流体供给装置对所述流体施加压力，来向所述喷出孔供给所述流体，所述输送装置用于输送所述对象物。
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公开(公告)号：CN101796625A
公开(公告)日：2010-08-04
申请号：CN200880105255.7
申请日：2008-08-22
Applicant: 株式会社IHI
IPC: H01L21/677 , B65G49/07 , B65G51/03
CPC classification number: H01L21/67706 , H01L21/6776
Abstract: 本发明的输送系统设置于地板面上来输送对象物。上述输送系统具备：外壳，构成为具有可操作地封闭的第一开口、和可操作地封闭的第二开口，设置于上述地板面上，若封闭上述第一开口和上述第二开口，则在内部包围密闭空间；输送装置，构成为设置于上述外壳内，并从上述第一开口朝向上述第二开口输送上述对象物；以及送风装置，设置于上述外壳内，净化上述密闭空间内的空气，并供给被净化了的空气。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101711219B
公开(公告)日：2013-02-13
申请号：CN200880021799.5
申请日：2008-06-03
Applicant: 株式会社IHI
IPC: B65G51/03 , B65G13/04 , B65G49/06 , H01L21/677
CPC classification number: B65G49/065 , B65G2249/02 , H01L21/67784
Abstract: 本发明公开一种浮起传送系统，通过受压的流体来使具有下面的对象物浮起，且将该对象物从第一端朝向第二端传送，所述浮起传送系统具有：浮起装置，配置成从所述第一端朝向所述第二端隔着间隔形成列，且分别具有：基部，用于分割所述流体通过的小室，岛部件，具有呈平面状的上面、和包含与所述上面邻接且朝向所述上面的中心倾斜的斜面的侧面，且配置成可覆盖所述小室，外壁部件，用于围住所述岛部件，且具有与所述岛部件的所述侧面相对的内面、与所述上面对齐成在单一平面上的顶上面、配置在与所述第一端相对的端且选自由后退到与所述顶上面相比为下方的阶段面及可与所述对象物接触且可旋转的辊所构成的组中的一个，并且，所述侧面和所述内面通过与所述小室连通来分割用于喷出所述流体的喷出孔；传送装置，用于传送所述对象物。
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公开(公告)号：CN101711218B
公开(公告)日：2012-04-11
申请号：CN200880021789.1
申请日：2008-05-09
Applicant: 株式会社IHI
Inventor： 田中刈入
CPC classification number: B65G49/065 , B65G37/00 , B65G51/03 , B65G2249/02
Abstract: 本发明提供一种悬浮输送装置，通过流体使具有下表面的对象物悬浮并输送该对象物，所述悬浮输送装置具有：悬浮装置，具有：基部，用于划分出所述流体通过的小室，配置成能够覆盖所述小室的岛部件，该岛部件能够移动且具有外表面和呈平面状的上表面，用于围住所述岛部件的外壁部件，该外壁部件具有与所述岛部件的外表面相对的内表面，由所述岛部件的外表面和所述外壁部件的内表面划分出的喷出孔，该喷出孔配置成能够在所述上表面和所述对象物的所述下表面之间生成使所述流体产生均匀压力的空间，所述喷出孔至少在所述上表面附近朝向所述区域的内部倾斜，并与所述小室连通从而喷出所述流体，位于所述喷出孔中的多个突起，所述突起由受到所述流体的压力的所述岛部件所按压并与所述喷出孔的内表面抵接，从而使所述喷出孔的宽度均匀；流体供给装置，对所述流体施压，从而向所述小室供给所述流体；输送装置，用于输送所述对象物。
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公开(公告)号：CN101711218A
公开(公告)日：2010-05-19
申请号：CN200880021789.1
申请日：2008-05-09
Applicant: 株式会社IHI
Inventor： 田中刈入
CPC classification number: B65G49/065 , B65G37/00 , B65G51/03 , B65G2249/02
Abstract: 本发明提供一种悬浮输送装置，通过流体使具有下表面的对象物悬浮并输送该对象物，所述悬浮输送装置具有：悬浮装置，具有：基部，用于划分出所述流体通过的小室，配置成能够覆盖所述小室的岛部件，该岛部件能够移动且具有外表面和呈平面状的上表面，用于围住所述岛部件的外壁部件，该外壁部件具有与所述岛部件的外表面相对的内表面，由所述岛部件的外表面和所述外壁部件的内表面划分出的喷出孔，该喷出孔配置成能够在所述上表面和所述对象物的所述下表面之间生成使所述流体产生均匀压力的空间，所述喷出孔至少在所述上表面附近朝向所述区域的内部倾斜，并与所述小室连通从而喷出所述流体，位于所述喷出孔中的多个突起，所述突起由受到所述流体的压力的所述岛部件所按压并与所述喷出孔的内表面抵接，从而使所述喷出孔的宽度均匀；流体供给装置，对所述流体施压，从而向所述小室供给所述流体；输送装置，用于输送所述对象物。
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公开(公告)号：CN103247561A
公开(公告)日：2013-08-14
申请号：CN201310142807.4
申请日：2008-08-22
Applicant: 株式会社IHI
IPC: H01L21/677
CPC classification number: H01L21/67706 , H01L21/6776
Abstract: 本发明的输送系统设置于地板面上来输送对象物。上述输送系统具备：外壳，构成为具有可操作地封闭的第一开口、和可操作地封闭的第二开口，设置于上述地板面上，若封闭上述第一开口和上述第二开口，则在内部包围密闭空间；输送装置，构成为设置于上述外壳内，并从上述第一开口朝向上述第二开口输送上述对象物；以及送风装置，设置于上述外壳内，净化上述密闭空间内的空气，并供给被净化了的空气。
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