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公开(公告)号:CN104703933A
公开(公告)日:2015-06-10
申请号:CN201380052561.X
申请日:2013-10-04
Applicant: 株式会社IHI
Inventor: 山田淳一
IPC: C03B33/09 , B23K26/146 , B23K26/38 , B23K26/402
CPC classification number: C03B33/03 , B23K26/0846 , B23K26/146 , B23K26/38 , B23K26/40 , B23K26/703 , B23K2101/18 , B23K2103/50 , C03B33/033 , C03B33/091
Abstract: 本发明为一种切割装置(1),其具备:使板状的被加工部件(W)浮起的加工台(2);在前述被加工部件上照射激光的激光照射部(3);在前述被加工部件上喷射冷却剂的冷却剂喷射部(4);使前述被加工部件相对前述激光照射部和前述冷却剂喷射部在预先设定的方向上相对移动的移动机构(5);该切割装置从前述激光照射部向设定于前述被加工部件上的加热区域(18)照射激光而加热前述加热区域,并通过前述移动机构使前述被加工部件在预先设定的方向上相对移动,从前述冷却剂喷射部向设定于加热后的前述加热区域上的冷却区域(24)喷射冷却剂而冷却前述冷却区域。在该切割装置(1)中,在前述加工台的前述被加工部件相对移动的移动方向上的前述被加工部件的前方,设置有飞溅部件(22),其受到来自前述冷却剂喷射部的冷却剂的喷射并使前述冷却剂飞溅。
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公开(公告)号:CN103619528A
公开(公告)日:2014-03-05
申请号:CN201280031417.3
申请日:2012-06-25
Applicant: 株式会社IHI
IPC: B23K26/38 , B23K26/14 , B23K26/402 , B23K26/70 , C03B33/033 , C03B33/09
CPC classification number: C03B33/091 , B23K26/127 , B23K26/146 , B23K26/147 , B23K26/1476 , B23K26/40 , B23K2103/50 , C03B33/03
Abstract: 切断如玻璃一样的脆性构件的装置具备:构成为使激光通过第一空间照射上述构件上的第一区域的激光振荡器;构成为向与上述第一区域不同的第二区域喷射冷却介质的冷却喷嘴;挡板,其配置为相对于上述构件具有空隙且设置成不包围上述第一空间的状态,以使来自上述第二区域的飞沫以及雾沫的流动从上述第一空间偏离的方式定向;以及构成为向上述空隙喷射气体的气体喷嘴。
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公开(公告)号:CN106029317A
公开(公告)日:2016-10-12
申请号:CN201580009533.9
申请日:2015-05-26
Applicant: 株式会社IHI
Inventor: 山田淳一
Abstract: 本发明提供一种沿着切断既定线(L)切断脆性材料基板(W)的脆性材料基板(W)的切断装置(20),其具备:加工台(3),配置脆性材料基板(W);始端龟裂形成部(21),其在脆性材料基板(W)的切断既定线(L)上的使脆性材料基板(W)移动时的移动方向的前端部形成始端龟裂(41)作为初始龟裂;终端龟裂形成部(22),其在脆性材料基板(W)的切断既定线(L)上的使脆性材料基板(W)移动时的移动方向的后端部形成终端龟裂(42)作为初始龟裂;激光照射部(23),将激光(C)照射于脆性材料基板(W)上;冷却剂喷射部(24),将冷却剂(R)喷射于脆性材料基板(W)上;及移动手段(25),使脆性材料基板(W)相对于激光照射部(23)及冷却剂喷射部(24)朝预先设定的方向移动。
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公开(公告)号:CN104768888A
公开(公告)日:2015-07-08
申请号:CN201380059924.2
申请日:2013-11-18
Applicant: 株式会社IHI
IPC: C03B33/09 , B23K26/38 , B23K26/402 , B23K26/70
CPC classification number: C03B33/091 , B23K26/0006 , B23K26/083 , B23K26/14 , B23K26/38 , B23K26/40 , B23K26/57 , B23K37/0235 , B23K37/0408 , B23K2101/18 , B23K2103/50 , B23K2103/54 , C03B33/03 , Y10T225/10 , Y10T225/12 , Y10T225/304
Abstract: 该工件切断方法为在工件的厚度方向上切断作用有压缩应力的强化层(L1)层叠于非强化层(L2)的表面的工件的工件切断方法,包括:在与厚度方向垂直的方向上连续地加热强化层的表面,向强化层和非强化层传递热的工序;对加热后的工件表面喷射冷却介质,在非强化层中的与强化层的边界部分,使非强化层的破坏应力σ以上的热应力产生的工序。根据该工件切断方法,能够迅速切断工件,并且抑制切断部分的品质的劣化。
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公开(公告)号:CN103619528B
公开(公告)日:2015-09-09
申请号:CN201280031417.3
申请日:2012-06-25
Applicant: 株式会社IHI
IPC: B23K26/38 , B23K26/14 , B23K26/402 , B23K26/70 , C03B33/033 , C03B33/09
CPC classification number: C03B33/091 , B23K26/127 , B23K26/146 , B23K26/147 , B23K26/1476 , B23K26/40 , B23K2103/50 , C03B33/03
Abstract: 切断如玻璃一样的脆性构件的装置具备:构成为使激光通过第一空间照射上述构件上的第一区域的激光振荡器;构成为向与上述第一区域不同的第二区域喷射冷却介质的冷却喷嘴;挡板,其配置为相对于上述构件具有空隙且设置成不包围上述第一空间的状态,以使来自上述第二区域的飞沫以及雾沫的流动从上述第一空间偏离的方式定向;以及构成为向上述空隙喷射气体的气体喷嘴。
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