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公开(公告)号：CN110405961B
公开(公告)日：2022-08-30
申请号：CN201910307466.9
申请日：2019-04-17
Applicant: 株式会社迪思科
Inventor： 植山博光
Abstract: 提供切削装置，能够良好地回收边角料等切削屑。该切削装置具有：切削屑引导壳体(70)，其从对封装基板(P)进行保持的卡盘工作台(11、12)接受切削后流动来的切削水和切削屑；切削屑回收箱(71)，其接受从切削屑引导壳体流入的切削水和切削屑，对切削屑进行回收；以及切削屑流出单元(90)，其配设于切削屑引导壳体内，利用流水使流动来的切削屑向切削屑回收箱流出。切削屑流出单元包含：水帘(91)；以及旋转摆动部(92)，其使来自水帘的流水在切削屑引导壳体中按照在Y轴方向上往复的方式旋转摆动，在形成贮水(W)之后，利用水帘的流水与贮水一起推动切削屑(CD)，从而使切削屑向切削屑回收箱流出。
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公开(公告)号：CN107081855B
公开(公告)日：2020-06-19
申请号：CN201710070775.X
申请日：2017-02-09
Applicant: 株式会社迪思科
Inventor： 植山博光
IPC: B28D5/00 , B28D7/04 , H01L21/683
Abstract: 提供一种卡盘工作台机构，简化密封环的更换作业而缩短维护时间。卡盘工作台机构(50)具有：卡盘工作台(51)，其对被加工物(W)进行吸引保持；旋转部(81)，其具有工作台安装面(82)；圆筒形状的固定轴(71)，其配设于卡盘工作台的旋转中心；以及旋转电动机(94)，其使旋转部在固定轴的周围旋转。在旋转部上以自由装拆的方式安装有覆盖固定轴的上端的环状的密封板(91)，在固定轴的上端形成有供密封环(75)安装的圆环形状的槽(73)。通过在旋转部上安装密封板而对密封板与固定轴的间隙进行密封，从而抑制固定轴内的空气的泄漏，通过将密封板从旋转部拆下，简化了密封环的更换作业。
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公开(公告)号：CN109759375A
公开(公告)日：2019-05-17
申请号：CN201811316455.9
申请日：2018-11-07
Applicant: 株式会社迪思科
Inventor： 植山博光
Abstract: 提供清洗喷嘴，该清洗喷嘴的构造简单、价格低廉、清洗效果优异。清洗喷嘴(40)用于在加工时清洗加工屑，其中，该清洗喷嘴(40)具有：管状配管(42)，其与清洗液提供源(41)连通；两张整流板(43、44)，它们从上下平行地按照规定的长度夹住管状配管的喷射口(42a)侧并将管状配管的前端压扁；以及固定部件(50)，其在管状配管的前端被压扁的状态下将两张整流板固定，向两张整流板之间插入将整流板之间维持为规定的间隔的间隔件(46b)，并调整管状配管的前端的挤缩量。
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公开(公告)号：CN109623633A
公开(公告)日：2019-04-16
申请号：CN201811139916.X
申请日：2018-09-28
Applicant: 株式会社迪思科
IPC: B24B41/00 , B24B41/06 , B28D5/00 , H01L21/301 , H01L21/304 , H01L21/67
Abstract: 提供汽水分离容器，能够实现小型化。本发明的汽水分离容器(20)具有容器主体(21)和流出防止壁(22)，容器主体具有：导入口(211)，其供借助吸引泵(30)而吸引的气体(空气)(9)与液体(水)(8)的混合流体(7)导入；液体蓄留部(212)，其包含液体排出口(213)，该液体排出口形成在比导入口靠下方的位置；以及气体排出口(214)，该气体排出口与吸引源(3b)连接，形成在比液体蓄留部靠上方的位置，该流出防止壁配设在容器主体的内部，防止从导入口(211)导入的混合流体(7)向气体排出口(214)流出，因此不用扩大导入口(211)与气体排出口(214)之间的间隔便能够加长从导入口到气体排出口的路径，能够使容器主体(21)小型化。
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公开(公告)号：CN107081855A
公开(公告)日：2017-08-22
申请号：CN201710070775.X
申请日：2017-02-09
Applicant: 株式会社迪思科
Inventor： 植山博光
IPC: B28D5/00 , B28D7/04 , H01L21/683
Abstract: 提供一种卡盘工作台机构，简化密封环的更换作业而缩短维护时间。卡盘工作台机构(50)具有：卡盘工作台(51)，其对被加工物(W)进行吸引保持；旋转部(81)，其具有工作台安装面(82)；圆筒形状的固定轴(71)，其配设于卡盘工作台的旋转中心；以及旋转电动机(94)，其使旋转部在固定轴的周围旋转。在旋转部上以自由装拆的方式安装有覆盖固定轴的上端的环状的密封板(91)，在固定轴的上端形成有供密封环(75)安装的圆环形状的槽(73)。通过在旋转部上安装密封板而对密封板与固定轴的间隙进行密封，从而抑制固定轴内的空气的泄漏，通过将密封板从旋转部拆下，简化了密封环的更换作业。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105904507A
公开(公告)日：2016-08-31
申请号：CN201610094653.X
申请日：2016-02-19
Applicant: 株式会社迪思科
Abstract: 提供切削装置。缩短切削加工和去毛边所需要的时间。切削装置(1)具有：卡盘工作台(4)，其保持板状工件(W)；切削单元(3)，其利用切削刀具(31)对板状工件进行切削；切削进给单元(15)，其沿X方向对卡盘工作台与切削单元相对地进行切削进给；以及去毛边单元(5)，其去除形成于板状工件的切削槽(G)的毛边。去毛边单元具有对切削刀具通过后的板状工件的上表面喷射高压水的去毛边喷嘴(51)。去毛边喷嘴一边与切削刀具一同相对于卡盘工作台相对移动一边朝向该切削槽喷射高压水。
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公开(公告)号：CN105904029B
公开(公告)日：2019-08-16
申请号：CN201610088193.X
申请日：2016-02-17
Applicant: 株式会社迪思科
Abstract: 本发明提供切削装置，其能够在不使用大容量的压缩机而维持高压的状态下喷射高压水，可通过廉价的结构获得良好的去毛刺效果。切削装置(1)具有：卡盘台(4)，其保持板状工件(W)；θ工作台(14)，其使卡盘台进行旋转；切削单元(3)，其通过切削刀具(31)切削板状工件；切削进给单元(15)，其使卡盘台与切削单元在X方向上相对进行切削进给；以及去毛刺单元(5)，其去除形成于板状工件上的切削槽(G)的毛刺。去毛刺单元具有对板状工件的上表面喷射高压水的去毛刺喷嘴(51)。卡盘台按照每个规定角度进行旋转，且相对于从去毛刺喷嘴喷射的高压水而被切削进给。
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公开(公告)号：CN105382625B
公开(公告)日：2019-04-26
申请号：CN201510507312.6
申请日：2015-08-18
Applicant: 株式会社迪思科
IPC: B23Q11/10
Abstract: 提供凸缘机构以及切削装置，不耗费对位等工夫而向切削刀具供给切削水。通过利用第1凸缘(51)与第2凸缘(52)夹持切削刀具(60)，从而在第1凸缘(51)与第2凸缘(52)之间形成有将切削水供给孔(513)与沿着径向横贯第1夹持面的第1供给槽(515)以及沿着径向横贯第2夹持面的第2供给槽(525)连通的环状的切削水供给室(54)，从多个切削水供给孔(513)供给的切削水被供给到切削水供给室(54)，在因主轴的旋转而产生的离心力的作用下，切削水从第1供给槽(515)以及第2供给槽(525)喷射。
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公开(公告)号：CN104816390B
公开(公告)日：2019-04-19
申请号：CN201510045478.0
申请日：2015-01-29
Applicant: 株式会社迪思科
Inventor： 植山博光
Abstract: 本发明提供刀具罩装置，其能够防止随着与飞散的边角料等的接触而发生不良状况。刀具罩装置(38)配设于主轴壳体(36)，并覆盖装配于主轴的切削刀具(34)，刀具罩装置(38)具备喷嘴模块(56)，喷嘴模块(56)配设于切削液的飞散方向的相反侧，向切削刀具的外周端面喷出切削液，喷嘴模块构成为具备：切削液喷出口(56b)，其向切削刀具的外周端面供给切削液；以及一对辅助切削液喷出口(56d)，它们以夹着切削液喷出口的方式配设，向切削刀具的两侧面喷射切削液。
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公开(公告)号：CN107622971A
公开(公告)日：2018-01-23
申请号：CN201710559661.1
申请日：2017-07-11
Applicant: 株式会社迪思科
Inventor： 植山博光
IPC: H01L21/683
Abstract: 提供卡盘工作台机构，不使用管而将卡盘工作台支承为能够旋转且能够进行吸引，并且缩短维护时间。卡盘工作台机构(50)采用如下的结构，其具有：固定基台(52)，其与外部吸引源(94)连接；以及旋转单元(51)，其以能够相对于固定基台旋转的方式进行配设，以能够相对于固定基台旋转的方式对安装在旋转单元的上部的卡盘工作台(40)进行支承。在旋转单元中设置有：旋转基台(54)，其以能够相对于固定基台旋转的方式进行配设；以及插入部(55)，其装拆自如地固定于旋转基台的旋转中心位置，插入部的卡合端部(72)与固定基台的卡合凹部(73)卡合从而使插入部内的吸引路径(95)与固定基台的连通路径(97)连结，并且利用密封环(84)对卡合端部与卡合凹部的相对面进行密封。
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