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公开(公告)号：CN115479760A
公开(公告)日：2022-12-16
申请号：CN202210652121.9
申请日：2022-06-10
Applicant: 株式会社迪思科
Abstract: 提供测量治具、动作精度测量系统和动作精度测量方法。短时间高精度地测量直线移动机构的动作精度。动作精度测量方法测量具有支承工作台、作业单元以及直线移动机构的装置中的直线移动机构的动作精度，将具有平面状的底面、与底面对置且平行的平行面和经由直线状的边界线而与平行面连接且相对于平行面倾斜的倾斜面的测量治具载置于支承工作台，调整测量治具的朝向以使边界线与进给方向平行，并调整测量治具和白光干涉仪的位置以便利用白光干涉仪同时观测平行面和倾斜面，使支承工作台和作业单元在进给方向上相对地直线移动并利用白光干涉仪观测平行面和倾斜面从而观测干涉条纹的变化，并根据观测到的干涉条纹的变化推算直线移动机构的动作精度。
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公开(公告)号：CN115206813A
公开(公告)日：2022-10-18
申请号：CN202210330287.9
申请日：2022-03-31
Applicant: 株式会社迪思科
Abstract: 本发明提供树脂包覆方法和树脂包覆装置，使提供至基板的正面的液态树脂整体适当地硬化而在基板的正面上包覆树脂。该树脂包覆方法在基板的一个面上包覆树脂，其中，该树脂包覆方法具有如下的步骤：液态树脂提供步骤，将通过照射紫外线而硬化的液态树脂提供至该基板的一个面上；按压步骤，利用覆盖膜将提供至该基板的该一个面的该液态树脂覆盖，隔着该覆盖膜而利用平坦的按压面将该液态树脂推展；第1紫外线照射步骤，对推展开的该液态树脂照射紫外线；第2紫外线照射步骤，在该第1紫外线照射步骤之前或之后，沿着该基板的外周对该液态树脂局部地照射紫外线；以及切断步骤，利用切割器沿着该基板的该外周将该覆盖膜和该液态树脂切断。
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公开(公告)号：CN116603705A
公开(公告)日：2023-08-18
申请号：CN202310097243.0
申请日：2023-02-08
Applicant: 株式会社迪思科
Inventor： 小田敦
Abstract: 本发明提供包覆方法，从涂布之后并且铺展之前的液态树脂去除气泡。该包覆方法利用固态的树脂覆盖晶片的正面侧，其中，该包覆方法具有如下的步骤：保持步骤，利用保持工作台对晶片的位于正面的相反侧的背面侧进行保持；涂布步骤，在保持步骤之后，在晶片的正面侧或板状物上涂布液态树脂；加热步骤，在涂布步骤之后，对液态树脂进行加热；以及按压步骤，在加热步骤之后，按压板状物和晶片中的至少任意一方而借助液态树脂将板状物和晶片贴合，通过加热步骤使液态树脂所包含的气泡破裂。
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