晶片及评价其载体浓度的方法

    公开(公告)号:CN100338752C

    公开(公告)日:2007-09-19

    申请号:CN02150242.0

    申请日:2002-11-06

    Inventor: 泽田滋 岩崎孝

    CPC classification number: G01R31/2648 G01R31/2831 H01L22/14

    Abstract: 本发明涉及一种在含In复合半导体晶片中非侵入性评价载体浓度的方法,该方法能够在半导体器件应用中利用评价的晶片本身。利用C/V技术,在包括含In复合半导体表面层的晶片中评价载体浓度的方法,其特征在于,通过在晶片表面接触液体电极,不利用光蚀刻的情况下,利用超过10V的外加电压来非侵入性的评价载体浓度。

    外延晶片及元件
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1750276A

    公开(公告)日:2006-03-22

    申请号:CN200510103639.3

    申请日:2005-09-06

    Inventor: 泽田滋 岩崎孝

    Abstract: 一种外延晶片,具备基板(3)、缓冲层(9)、受光层(11)、窗层(13)。缓冲层(9)形成于基板(3)上。受光层(11)形成于缓冲层(9)上。受光层(11)由具有比构成基板(3)的材料的晶格常数更大的晶格常数的外延膜构成。窗层(13)形成于受光层(11)上,由被与受光层(11)接触地配置的1层或多层构成。构成窗层(13)的层当中的与受光层(11)接触的层的晶格常数比受光层(11)的晶格常数及缓冲层(9)的晶格常数当中的任意一个较大的晶格常数更小。窗层(13)的厚度在0.2μm以上、2.0μm以下。由此,本发明提供能够实现特性的改善的外延晶片及元件。

    晶片及评价其载体浓度的方法

    公开(公告)号:CN1420539A

    公开(公告)日:2003-05-28

    申请号:CN02150242.0

    申请日:2002-11-06

    Inventor: 泽田滋 岩崎孝

    CPC classification number: G01R31/2648 G01R31/2831 H01L22/14

    Abstract: 本发明涉及一种在含In复合半导体晶片中非侵入性评价载体浓度的方法,该方法能够在半导体器件应用中利用评价的晶片本身。利用C/V技术,在包括含In复合半导体表面层的晶片中评价载体浓度的方法,其特征在于,通过在晶片表面接触液体电极,不利用光蚀刻的情况下,利用超过10V的外加电压来非侵入性的评价载体浓度。

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