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公开(公告)号：CN1542748A
公开(公告)日：2004-11-03
申请号：CN200410031305.5
申请日：2004-03-26
Applicant: 株式会社瑞萨科技
CPC classification number: H01L43/12 , G11C11/16 , H01L27/228 , Y10T29/49041 , Y10T29/49048
Abstract: 为了减小TMR元件和与其连接的导体的位置配合公差，通过采用使用了用来在平面上的负X方向侧使TMR元件1和金属片5的侧面对齐的X方向边界掩膜S11的光刻技术，对TMR元件1和金属片5整形。X方向边界掩膜S11具有直线上的边界，该边界与Y方向平行，且配置成与TMR元件1和金属片5中任何一个在平面上交叉。而且，在正X方向侧利用该边界将TMR元件1和金属片5覆盖。
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公开(公告)号：CN1267899C
公开(公告)日：2006-08-02
申请号：CN200410031305.5
申请日：2004-03-26
Applicant: 株式会社瑞萨科技
CPC classification number: H01L43/12 , G11C11/16 , H01L27/228 , Y10T29/49041 , Y10T29/49048
Abstract: 为了减小TMR元件和与其连接的导体的位置配合公差，通过采用使用了用来在平面上的负X方向侧使TMR元件1和金属片5的侧面对齐的X方向边界掩膜S11的光刻技术，对TMR元件1和金属片5整形。X方向边界掩膜S11具有直线形的边界，该边界与Y方向平行，且配置成与TMR元件1和金属片5中任何一个在平面上交叉。而且，在正X方向侧利用该边界将TMR元件1和金属片5覆盖。
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公开(公告)号：CN1866361A
公开(公告)日：2006-11-22
申请号：CN200610091302.X
申请日：2004-03-26
Applicant: 株式会社瑞萨科技
IPC: G11B5/84
CPC classification number: H01L43/12 , G11C11/16 , H01L27/228 , Y10T29/49041 , Y10T29/49048
Abstract: 为了减小TMR元件和与其连接的导体的位置配合公差，通过采用使用了用来在平面上的负X方向侧使TMR元件1和金属片5的侧面对齐的X方向边界掩膜S11的光刻技术，对TMR元件1和金属片5整形。X方向边界掩膜S11具有直线形的边界，该边界与Y方向平行，且配置成与TMR元件1和金属片5中任何一个在平面上交叉。而且，在正X方向侧利用该边界将TMR元件1和金属片5覆盖。
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