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公开(公告)号：CN102177270B
公开(公告)日：2013-09-04
申请号：CN200980140206.1
申请日：2009-11-12
Applicant: 株式会社爱发科
CPC classification number: H01L21/67225 , C23C14/042 , C23C14/50 , C23C14/56 , H01L21/67005 , H01L27/3211 , H01L51/001 , H01L51/56
Abstract: 本发明提供小型，处理能力高的有机薄膜蒸镀装置。在真空槽（11）的内部，设置可成为水平姿势与竖立姿势的第一、第二基板配置装置（13a、13b），在成为竖立姿势时，使保持于各个基板配置装置（13a、13b）的基板与第一、第二有机蒸气放出装置（21a、21b）面对。在一方的基板配置装置（13a、13b）为水平姿势时，由直线对准用销（15）与移载用销（16）抬起掩模与基板，与未成膜的基板进行交换并进行对位。在一台的有机薄膜蒸镀装置（10）能够同时处理二枚的基板。
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公开(公告)号：CN101663614B
公开(公告)日：2011-07-27
申请号：CN200880013121.2
申请日：2008-04-02
Applicant: 株式会社爱发科
IPC: G02F1/1339 , B05D1/26 , B05D3/00
CPC classification number: G02F1/13392 , G02F1/13394
Abstract: 本发明提供不产生条纹的衬垫料的配置技术。通过计算机(8)使随机数产生，按产生的每一个使其与喷出对象物(10)的喷出位置(11)一对一地对应，在计算机(8)内部的存储装置(9)中存储。基于存储的随机数，按喷出位置(11)的每一个求取系数值，将系数值乘以按各喷嘴孔(N1～Nn)的每一个设定的电压值，对按各喷出位置(11)的每一个求取的个别电压值进行计算。以与喷出位置(11)对应的个别电压值对喷出头(4)内的压电元件施加电压，当从喷出头(4)内设置的多个喷嘴孔(N1～Nn)喷出包含衬垫料的喷出液时，在喷出对象物(10)上配置按照随机数的个数的衬垫料。
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公开(公告)号：CN102177270A
公开(公告)日：2011-09-07
申请号：CN200980140206.1
申请日：2009-11-12
Applicant: 株式会社爱发科
CPC classification number: H01L21/67225 , C23C14/042 , C23C14/50 , C23C14/56 , H01L21/67005 , H01L27/3211 , H01L51/001 , H01L51/56
Abstract: 提供小型，处理能力高的有机薄膜蒸镀装置。在真空槽（11）的内部，设置可成为水平姿势与竖立姿势的第一、第二基板配置装置（13a、13b），在成为竖立姿势时，使保持于各个基板配置装置（13a、13b）的基板与第一、第二有机蒸气放出装置（21a、21b）面对。在一方的基板配置装置（13a、13b）为水平姿势时，由直线对准用销（15）与移载用销（16）抬起掩模与基板，与未成膜的基板进行交换并进行对位。在一台的有机薄膜蒸镀装置（10）能够同时处理二枚的基板。
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公开(公告)号：CN101663614A
公开(公告)日：2010-03-03
申请号：CN200880013121.2
申请日：2008-04-02
Applicant: 株式会社爱发科
IPC: G02F1/1339 , B05D1/26 , B05D3/00
CPC classification number: G02F1/13392 , G02F1/13394
Abstract: 本发明提供不产生条纹的衬垫料的配置技术。通过计算机(8)使随机数产生，按产生的每一个使其与喷出对象物(10)的喷出位置(11)一对一地对应，在计算机(8)内部的存储装置(9)中存储。基于存储的随机数，按喷出位置(11)的每一个求取系数值，将系数值乘以按各喷嘴孔(N 1 ～N n )的每一个设定的电压值，对按各喷出位置(11)的每一个求取的个别电压值进行计算。以与喷出位置(11)对应的个别电压值对喷出头(4)内的压电元件施加电压，当从喷出头(4)内设置的多个喷嘴孔(N 1 ～N n )喷出包含衬垫料的喷出液时，在喷出对象物(10)上配置按照随机数的个数的衬垫料。
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