公开(公告)号：CN102598293B

公开(公告)日：2014-12-17

申请号：CN201080050150.3

申请日：2010-08-30

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 山本良明 ,  池田均 ,  大西芳纪 ,  玉川孝一

IPC: H01L31/04 ,  B23K26/00 ,  B23K26/36

CPC classification number: B23K26/36 ,  B23K26/40 ,  B23K2103/172 ,  H01L31/046 ,  H01L31/0463 ,  H01L31/18 ,  Y02E10/50

Abstract: 本发明提供一种可以防止分流及裂纹的产生的、包括激光除边工序的太阳能电池制造方法及用于该方法的制造装置。通过从透明基板(2)侧向层叠体(1)照射第一激光(L1)，除去第一激光(L1)所照射的第一区域(A1)内的光电转换层(4)及里侧电极层(5)，其中，层叠体(1)包括在透明基板(2)上顺次形成的透明电极层(3)、光电转换层(4)及里侧电极层(5)；并且，通过在区域(A1)内以与区域(A1)分离的方式照射具有与第一激光(L1)不同的特性的第二激光(L2)，除去第二激光(L2)所照射的包含在第一区域(A1)内的第二区域(A2)上的透明电极层(3)。

公开(公告)号：CN102598293A

公开(公告)日：2012-07-18

申请号：CN201080050150.3

申请日：2010-08-30

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 山本良明 ,  池田均 ,  大西芳纪 ,  玉川孝一

IPC: H01L31/04 ,  B23K26/00 ,  B23K26/36

CPC classification number: B23K26/36 ,  B23K26/40 ,  B23K2103/172 ,  H01L31/046 ,  H01L31/0463 ,  H01L31/18 ,  Y02E10/50

Abstract: 本发明提供一种可以防止分流及裂纹的产生的、包括激光除边工序的太阳能电池制造方法及用于该方法的制造装置。通过从透明基板(2)侧向层叠体(1)照射第一激光(L1)，除去第一激光(L1)所照射的第一区域(A1)内的光电转换层(4)及里侧电极层(5)，其中，层叠体(1)包括在透明基板(2)上顺次形成的透明电极层(3)、光电转换层(4)及里侧电极层(5)；并且，通过在区域(A1)内以与区域(A1)分离的方式照射具有与第一激光(L1)不同的特性的第二激光(L2)，除去第二激光(L2)所照射的包含在第一区域(A1)内的第二区域(A2)上的透明电极层(3)。