公开(公告)号：CN102959681B

公开(公告)日：2015-09-16

申请号：CN201180030323.X

申请日：2011-06-22

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 林卓郎 ,  曽我部浩二 ,  松本浩一 ,  桥本征典 ,  中村久三 ,  萩原宗源 ,  内田宽人 ,  森胜彦 ,  清水康男 ,  坂元盛昭

IPC: C23C16/44 ,  H01L31/18

CPC classification number: B08B7/00 ,  C23C16/24 ,  C23C16/4405 ,  C23C16/4412 ,  C23C16/50 ,  C23C16/545 ,  H01L31/1876 ,  Y02E10/50 ,  Y02P70/521

Abstract: 本申请公开了一种成膜装置及成膜装置的维护方法。在成膜室的两侧的侧面下部分别设置有各两处、总计四处点火部。点火部在对可燃性的副生成物点火时通电。在成膜室的侧面上形成有用于测定成膜室内的压力的第一检测部。在成膜室的侧面下部形成有第二检测部。在成膜室的上部形成有测定成膜室内的空间温度的第三检测部。

公开(公告)号：CN102959681A

公开(公告)日：2013-03-06

申请号：CN201180030323.X

申请日：2011-06-22

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 林卓郎 ,  曽我部浩二 ,  松本浩一 ,  桥本征典 ,  中村久三 ,  萩原宗源 ,  内田宽人 ,  森胜彦 ,  清水康男 ,  坂元盛昭

IPC: H01L21/205 ,  C23C16/44 ,  H01L31/04

CPC classification number: B08B7/00 ,  C23C16/24 ,  C23C16/4405 ,  C23C16/4412 ,  C23C16/50 ,  C23C16/545 ,  H01L31/1876 ,  Y02E10/50 ,  Y02P70/521

Abstract: 本申请公开了一种成膜装置及成膜装置的维护方法。在成膜室的两侧的侧面下部分别设置有各两处、总计四处点火部。点火部在对可燃性的副生成物点火时通电。在成膜室的侧面上形成有用于测定成膜室内的压力的第一检测部。在成膜室的侧面下部形成有第二检测部。在成膜室的上部形成有测定成膜室内的空间温度的第三检测部。