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公开(公告)号：CN103069928A
公开(公告)日：2013-04-24
申请号：CN201180039583.3
申请日：2011-08-12
Applicant: 株式会社爱发科
CPC classification number: H02M3/158 , H01J37/32944 , H05H1/46 , H05H2001/4682
Abstract: 本发明提供一种直流电源装置，其可施加正电压对电弧放电进行消弧，而且在对电弧放电消弧后，在恢复正常工作时可确保抑制再次发生电弧放电。直流电源装置具有向靶施加电力的直流电源部、电弧检测部、串联安装在负输出上的第一开关元件SW1、并联安装在正负两输出间的第二开关元件SW2和施加反向电压的反向电压施加部、以及控制装置4。正常工作时，在通过第二开关元件已停止反向电压施加部对电极施加反向电压的状态下通过第一开关元件对所述电极通电。如果检测到电弧放电，则通过第二开关元件从反向电压施加部向电极通电施加规定时间的反向电压，在该时间经过后通过第一开关元件阻断对电极的通电，之后再次开始对电极的通电。
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公开(公告)号：CN102076878A
公开(公告)日：2011-05-25
申请号：CN200980125503.9
申请日：2009-06-17
Applicant: 株式会社爱发科
CPC classification number: H05H1/46 , C23C14/3464 , C23C14/542 , H01J37/34 , H01J37/3444 , H03H7/38
Abstract: 提供一种电源装置，其可抑制基板充电引发的异常放电，可在大面积基板上形成良好的薄膜。本发明的电源装置(E)配置有：第一放电电路(E1)，其通过以规定频率交替性地使极性反转，对与等离子接触的一对靶(T1)、(T2)外加规定电位；第二放电电路(E2)，其对前述一对电极中未从第一放电电路外加电位的电极与接地间外加规定电位。第二放电电路具有反向电位外加装置(3)，其在极性反转时至少对前述电极的一方外加与输出电位相反的电位。
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公开(公告)号：CN101370958A
公开(公告)日：2009-02-18
申请号：CN200780002208.5
申请日：2007-01-11
Applicant: 株式会社爱发科
CPC classification number: C23C14/352 , H01J37/3408 , H01J37/3444
Abstract: 提供一种采用AC电源的溅射装置，该装置能够不依赖于溅射装置的设置场所与交流电源的设置场所之间的距离，高精度地供电。在真空腔(11)内设置一对靶(41a、41b)和按照规定的频率交替改变极性地给该对靶施加电压的AC电源(E)。该AC电源(E)的结构分为能供电的供电部(6)和振荡部(7)，振荡部(7)具有与从该供电部引出的电力线连接的振荡用开关电路(72)。该振荡部与各靶通过母线(8)连接。
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公开(公告)号：CN102668722B
公开(公告)日：2014-12-17
申请号：CN201080052841.7
申请日：2010-11-12
Applicant: 株式会社爱发科
Abstract: 提供一种电源装置，其在有效限制与喷溅或颗粒的产生直接相关的电弧放电发生时的电流上升的同时，能够防止电弧处理结束时放电电压变得过大。本发明的电源装置E具有：直流电源部（2），其向与等离子体P接触的靶T施加直流电压；以及电弧处理部（3），其在该直流电源部的正负输出（5a、5b）上检测电极处发生的电弧放电，并且能进行该电弧放电的消弧处理。具有输出特性切换电路（6、SW2），通过电弧处理部检测得知电弧放电的发生，所述输出特性切换电路（6、SW2）为使消弧处理开始时给所述电极的输出具有恒流特性，到该消弧处理结束之前给所述电极的输出具有恒压特性，而进行所述输出的切换。
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公开(公告)号：CN102668722A
公开(公告)日：2012-09-12
申请号：CN201080052841.7
申请日：2010-11-12
Applicant: 株式会社爱发科
Abstract: 提供一种电源装置，其在有效限制与喷溅或颗粒的产生直接相关的电弧放电发生时的电流上升的同时，能够防止电弧处理结束时放电电压变得过大。本发明的电源装置E具有：直流电源部（2），其向与等离子体P接触的靶T施加直流电压；以及电弧处理部（3），其在该直流电源部的正负输出（5a、5b）上检测电极处发生的电弧放电，并且能进行该电弧放电的消弧处理。具有输出特性切换电路（6、SW2），通过电弧处理部检测得知电弧放电的发生，所述输出特性切换电路（6、SW2）为使消弧处理开始时给所述电极的输出具有恒流特性，到该消弧处理结束之前给所述电极的输出具有恒压特性，而进行所述输出的切换。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102047548A
公开(公告)日：2011-05-04
申请号：CN200980119323.X
申请日：2009-05-20
Applicant: 株式会社爱发科
IPC: H02M7/48 , C23C14/34 , H02M7/5387
CPC classification number: H02M7/53871 , H01J37/3417 , H01J37/3429 , H01J37/3444 , H02M2001/007
Abstract: 本发明提供一种双极脉冲电源，其按照规定的频率向与等离子体接触的一对电极进行双极脉冲供电，可减轻电桥电路的开关元件的开关损耗，不用高性能开关元件便可实现高耐久性。双极脉冲电源包括：连接于源自直流电力供应源(1)的正和负的直流输出端的、包含开关元件(SW1～SW4)的电桥电路(22)，以及控制电桥电路的各开关元件的开、闭切换的控制装置。在源自直流电力供应源的正和负直流输出间设置输出短路用的开关元件(SW0)，通过该输出短路用开关元件的短路状态而由控制装置来进行电桥电路的各开关元件的切换。
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公开(公告)号：CN102027667B
公开(公告)日：2014-02-12
申请号：CN200980116930.0
申请日：2009-05-20
Applicant: 株式会社爱发科
IPC: H02M7/48 , C23C14/34 , H02M7/5387
CPC classification number: H02M7/53871 , C23C14/352 , H02M7/493
Abstract: 提供一种双极脉冲电源，其可有效限制与飞溅物及微粒的产生直接相关的产生电弧放电时的电流上升，同时可防止颠倒极性时产生过压。所述电源设置有由连接在直流电力供给源1的正负直流输出间的开关元件SW1～SW4构成的电桥电路22，通过控制开关元件的动作以规定的频率向与等离子体接触的一对电极输出双极脉冲状电力。并且设有切换前述输出的输出特性切换电路，以便使最初提供给前述电极的输出具有恒压特性，其后提供给前述电极的输出具有恒流特性。
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公开(公告)号：CN102047548B
公开(公告)日：2013-10-16
申请号：CN200980119323.X
申请日：2009-05-20
Applicant: 株式会社爱发科
IPC: H02M7/5387 , H01J37/34
CPC classification number: H02M7/53871 , H01J37/3417 , H01J37/3429 , H01J37/3444 , H02M2001/007
Abstract: 本发明提供一种双极脉冲电源，其按照规定的频率向与等离子体接触的一对电极进行双极脉冲供电，可减轻电桥电路的开关元件的开关损耗，不用高性能开关元件便可实现高耐久性。双极脉冲电源包括：连接于源自直流电力供应源(1)的正和负的直流输出端的、包含开关元件(SW1～SW4)的电桥电路(22)，以及控制电桥电路的各开关元件的开、闭切换的控制装置。在源自直流电力供应源的正和负直流输出间设置输出短路用的开关元件(SW0)，通过该输出短路用开关元件的短路状态而由控制装置来进行电桥电路的各开关元件的切换。
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公开(公告)号：CN102084024A
公开(公告)日：2011-06-01
申请号：CN200980125400.2
申请日：2009-06-17
Applicant: 株式会社爱发科
IPC: C23C14/34 , H02M7/5387 , H05H1/46
CPC classification number: H05H1/46 , C23C14/3464 , C23C14/542 , H01J37/34 , H01J37/3444 , H03H7/40
Abstract: 提供一种电源装置，其即使在以低频对成对的靶外加脉冲电位时也能轻松地实现在基板表面形成薄膜时的膜厚分布均匀化。本发明的电源装置(E)设置有：第一放电电路(E1)，其以规定的频率对与等离子接触的一对靶(T1)、(T2)交替外加规定的脉冲电位；第二放电电路(E2)，其对前述一对靶中未接收从第一放电电路的输出的靶和接地间外加规定的脉冲电位。
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公开(公告)号：CN101370959A
公开(公告)日：2009-02-18
申请号：CN200780002218.9
申请日：2007-01-11
Applicant: 株式会社爱发科
CPC classification number: C23C14/3464 , C23C14/352 , C23C14/54 , H01J37/3405 , H01J2237/0206 , H01J2237/022
Abstract: 提供一种溅射方法及溅射装置，在使用交流电源溅射成膜时，迅速检测出电弧放电的发生并切断交流电源的输出，可减小电弧放电时的能量并有效防止微粒和溅沫的发生。在真空室内11内设置的一对靶41a、41b上，通过交流电源E以规定的频率交替改变极性地施加电压，将各靶交替切换成为阳极电极、阴极电极，在阳极电极和阴极电极之间产生辉光放电形成等离子体气氛，从而对各靶进行溅射。并检测出向一对靶中输出的电压波形，当判断该输出电压波形的电压降时间比正常辉光放电的时间更短时，切断交流电源的输出。
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