公开(公告)号：CN109417371A

公开(公告)日：2019-03-01

申请号：CN201780038832.4

申请日：2017-06-22

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 绀野彰

IPC: H03H9/145 ,  H03H9/25

Abstract: 本发明提供一种能够减小由瑞利波等弹性波的高阶模造成的杂散的弹性波装置。弹性波装置(1)在作为元件基板的压电基板(2)上设置有IDT电极(3)以及绝缘膜(6)。在IDT电极(3)的交叉区域上，在将弹性波传播方向一端设为第一端部(3a)并将另一端设为第二端部(3b)的情况下，随着从第一端部(3a)以及第二端部(3b)朝向弹性波传播方向中央，绝缘膜(6)的厚度变薄或变厚。

公开(公告)号：CN114966107A

公开(公告)日：2022-08-30

申请号：CN202210158612.8

申请日：2022-02-21

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 绀野彰

IPC: G01P15/08 ,  G01P15/125

Abstract: 本发明涉及微机电系统(MEMS)，并且更具体地涉及用于将MEMS部件锚定在MEMS装置内的锚定结构。该装置的转子部件和定子部件的锚定点布置成使得锚定点沿着共同轴线布置并且与共同轴线交叠。

公开(公告)号：CN112230018A

公开(公告)日：2021-01-15

申请号：CN202010573949.6

申请日：2020-06-22

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 绀野彰 ,  加藤良隆 ,  维莱-佩卡·吕特克宁

IPC: G01P15/125 ,  G01P15/18

Abstract: 本发明涉及电容式微机械加速度计，并且特别地涉及具有可移动的转子的加速度传感器，当加速度计以垂直于基板平面的加速度分量进行移动时，所述可移动的转子可以旋转离开基板平面。电容式微机械加速度计包括附加的阻尼弹簧以减少转子在基板平面中的不需要的移动，从而减小由转子在基板平面中的运动引起的寄生电容。阻尼弹簧相对于加速度计的其他部件竖直地凹入，以使阻尼弹簧对转子离开基板平面的运动的影响最小化。

公开(公告)号：CN112230018B

公开(公告)日：2022-10-11

申请号：CN202010573949.6

申请日：2020-06-22

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 绀野彰 ,  加藤良隆 ,  维莱-佩卡·吕特克宁

IPC: G01P15/125 ,  G01P15/18

Abstract: 本发明涉及电容式微机械加速度计，并且特别地涉及具有可移动的转子的加速度传感器，当加速度计以垂直于基板平面的加速度分量进行移动时，所述可移动的转子可以旋转离开基板平面。电容式微机械加速度计包括附加的阻尼弹簧以减少转子在基板平面中的不需要的移动，从而减小由转子在基板平面中的运动引起的寄生电容。阻尼弹簧相对于加速度计的其他部件竖直地凹入，以使阻尼弹簧对转子离开基板平面的运动的影响最小化。

公开(公告)号：CN109417371B

公开(公告)日：2022-03-25

申请号：CN201780038832.4

申请日：2017-06-22

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 绀野彰

IPC: H03H9/145 ,  H03H9/25

Abstract: 本发明提供一种能够减小由瑞利波等弹性波的高阶模造成的杂散的弹性波装置。弹性波装置(1)在作为元件基板的压电基板(2)上设置有IDT电极(3)以及绝缘膜(6)。在IDT电极(3)的交叉区域上，在将弹性波传播方向一端设为第一端部(3a)并将另一端设为第二端部(3b)的情况下，随着从第一端部(3a)以及第二端部(3b)朝向弹性波传播方向中央，绝缘膜(6)的厚度变薄或变厚。