显示装置和显示装置的制造方法

    公开(公告)号:CN102841444A

    公开(公告)日:2012-12-26

    申请号:CN201210211366.4

    申请日:2012-06-21

    Abstract: 本发明提供一种显示装置和显示装置的制造方法,其不需要专用装置、不会使制造吞吐量降低而除去端子上的钝化膜。本发明的显示装置,包括在基板上以矩阵状配置的具有开关元件和用开关元件驱动的MEMS快门的多个像素,和在基板上配置的与外部端子连接的多个端子。MEMS快门包括:具有开口部的快门、与快门连接的第一弹簧、与第一弹簧连接的第一锚定部、第二弹簧、和与第二弹簧连接的第二锚定部,在快门、第一弹簧、第二弹簧、第一锚定部和第二锚定部的表面中的与基板的表面垂直的方向上的面具有绝缘膜,在多个端子的表面、以及快门、第一弹簧、第二弹簧、第一锚定部和第二锚定部的表面中的相对于基板的表面为平行方向且与基板相对的一侧的相反侧的面,不存在该绝缘膜。

    带有应力梁的机械式光调制器

    公开(公告)号:CN101999091A

    公开(公告)日:2011-03-30

    申请号:CN200980112764.7

    申请日:2009-02-12

    CPC classification number: G02B26/02 G09G3/3413 G09G3/3433 G09G2300/08

    Abstract: 本发明涉及一种空间光调制器,该空间光调制器包括具有一个表面的一个基片以及被连接到该基片上的一个调制组件,该调制组件包括一个调制元件和一个顺性梁。该调制组件被构形为用来限制不然就会由该顺性梁内的固有应力引发的该顺性梁朝向一个对置表面的弯曲。本发明还涉及一种制造空间光调制器的方法,该方法包括以下步骤:形成并释放一个调制组件,该调制组件具有一个调制元件以及一个顺性梁,该顺性梁在一个释放前的位置中形成以便具有一种想要达到的固有应力状态。作为该顺性梁中这种应力状态的一个结果,当释放该顺性梁时,该顺性梁弯曲进入一个休止位置,该休止位置不同于该释放前的位置,其中该休止位置是部分基于该想要达到的固有应力状态。

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