公开(公告)号：CN102203658A

公开(公告)日：2011-09-28

申请号：CN200980142928.0

申请日：2009-10-27

Applicant: 皮克斯特罗尼克斯公司

Inventor： T·J·布罗斯尼汉 ,  M·B·安迪生

IPC: G02B26/08

CPC classification number: G02B26/00 ,  G02B26/02 ,  G02B26/0841 ,  G09G3/2022 ,  G09G3/3406 ,  G09G3/3433 ,  G09G2300/08 ,  G09G2310/0235 ,  G09G2320/0633

Abstract: 本发明在不同的方面涉及用于MEMS致动的显示器的系统和方法，这些显示器能够在高速和低电压下进行驱动用于改进图像质量并且降低功耗。

公开(公告)号：CN102203658B

公开(公告)日：2013-12-25

申请号：CN200980142928.0

申请日：2009-10-27

Applicant: 皮克斯特罗尼克斯公司

Inventor： T·J·布罗斯尼汉 ,  M·B·安迪生

IPC: G02B26/08

CPC classification number: G02B26/00 ,  G02B26/02 ,  G02B26/0841 ,  G09G3/2022 ,  G09G3/3406 ,  G09G3/3433 ,  G09G2300/08 ,  G09G2310/0235 ,  G09G2320/0633

Abstract: 本发明在不同的方面涉及用于MEMS致动的显示器的系统和方法，这些显示器能够在高速和低电压下进行驱动用于改进图像质量并且降低功耗。

公开(公告)号：CN101999091A

公开(公告)日：2011-03-30

申请号：CN200980112764.7

申请日：2009-02-12

Applicant: 皮克斯特罗尼克斯公司

Inventor： J·L·斯泰恩 ,  T·J·布罗斯尼汉 ,  J·H·吴 ,  M·B·安迪生 ,  R·S·佩恩 ,  J·J·菲乔 ,  N·W·哈古德四世

IPC: G02B26/08

CPC classification number: G02B26/02 ,  G09G3/3413 ,  G09G3/3433 ,  G09G2300/08

Abstract: 本发明涉及一种空间光调制器，该空间光调制器包括具有一个表面的一个基片以及被连接到该基片上的一个调制组件，该调制组件包括一个调制元件和一个顺性梁。该调制组件被构形为用来限制不然就会由该顺性梁内的固有应力引发的该顺性梁朝向一个对置表面的弯曲。本发明还涉及一种制造空间光调制器的方法，该方法包括以下步骤：形成并释放一个调制组件，该调制组件具有一个调制元件以及一个顺性梁，该顺性梁在一个释放前的位置中形成以便具有一种想要达到的固有应力状态。作为该顺性梁中这种应力状态的一个结果，当释放该顺性梁时，该顺性梁弯曲进入一个休止位置，该休止位置不同于该释放前的位置，其中该休止位置是部分基于该想要达到的固有应力状态。